公开(公告)号：CN112916506B

公开(公告)日：2022-04-26

申请号：CN201911241881.5

申请日：2019-12-06

Applicant: 中微半导体设备(上海)股份有限公司

Inventor： 杨春松 ,  范德宏 ,  周旭升 ,  陈煌琳

IPC: B08B5/02 ,  B08B15/04 ,  H01J37/32

Abstract: 本申请提供一种涡轮泵清洗装置及清洗方法、真空处理装置，所述涡轮泵清洗装置包括隔绝装置、通气管路和吸尘装置，通过对涡轮泵设置外部清洗设备，与涡轮泵进行连接，采用隔绝装置将涡轮泵与其所在工艺腔体之间进行气体隔绝，使得涡轮泵内形成封闭腔体，然后通过通气管路为封闭腔体通入气体，气体在涡轮泵内流动，对涡轮泵内部实施清扫，然后通过吸尘装置将清扫后的气体吸走，完成对涡轮泵的清洗。由于所述涡轮泵清洗装置使用时，仅需要与涡轮泵进行连接即可，从而能够在一定时间段内对涡轮泵进行清洗，无需通过拆卸涡轮泵实施清洗，而当清洗一段时间后，再采用拆卸方式进行涡轮泵的清洗，从而避免了多次拆卸，造成的人力、成本的浪费。

公开(公告)号：CN112916506A

公开(公告)日：2021-06-08

申请号：CN201911241881.5

申请日：2019-12-06

Applicant: 中微半导体设备(上海)股份有限公司

Inventor： 杨春松 ,  范德宏 ,  周旭升 ,  陈煌琳

IPC: B08B5/02 ,  B08B15/04 ,  H01J37/32

Abstract: 本申请提供一种涡轮泵清洗装置及清洗方法、真空处理装置，所述涡轮泵清洗装置包括隔绝装置、通气管路和吸尘装置，通过对涡轮泵设置外部清洗设备，与涡轮泵进行连接，采用隔绝装置将涡轮泵与其所在工艺腔体之间进行气体隔绝，使得涡轮泵内形成封闭腔体，然后通过通气管路为封闭腔体通入气体，气体在涡轮泵内流动，对涡轮泵内部实施清扫，然后通过吸尘装置将清扫后的气体吸走，完成对涡轮泵的清洗。由于所述涡轮泵清洗装置使用时，仅需要与涡轮泵进行连接即可，从而能够在一定时间段内对涡轮泵进行清洗，无需通过拆卸涡轮泵实施清洗，而当清洗一段时间后，再采用拆卸方式进行涡轮泵的清洗，从而避免了多次拆卸，造成的人力、成本的浪费。