公开(公告)号：CN112563105A

公开(公告)日：2021-03-26

申请号：CN201911411272.X

申请日：2019-12-31

Applicant: 中微半导体设备(上海)股份有限公司

Inventor： 连增迪 ,  魏强 ,  陈琦 ,  左涛涛 ,  吴狄 ,  王善文

IPC: H01J37/244 ,  H01J37/32 ,  G01F1/00 ,  G01F1/34 ,  G01K13/00 ,  G01L9/12

Abstract: 本发明提供一种等离子体处理装置中实现气体流量验证的系统及方法，在气盒中安装有集成流量验证系统；在对质量流量控制器的校准或验证时，气体不经过反应腔体，而是通过集成流量验证系统的罐体，从而简化容积和温度的测算，并且不受反应腔体温度、刻蚀工艺、材料吸附性等不稳定因素的影响，提高重复度和稳定性，节约时间。集成流量验证系统包含多个不同容积的罐体时，可以相应地为不同流量大小的MFC进行校准和验证，结果更为准确。

公开(公告)号：CN112563105B

公开(公告)日：2023-11-03

申请号：CN201911411272.X

申请日：2019-12-31

Applicant: 中微半导体设备(上海)股份有限公司

Inventor： 连增迪 ,  魏强 ,  陈琦 ,  左涛涛 ,  吴狄 ,  王善文

IPC: H01J37/244 ,  H01J37/32 ,  G01F1/00 ,  G01F1/34 ,  G01K13/00 ,  G01L9/12

Abstract: 本发明提供一种等离子体处理装置中实现气体流量验证的系统及方法，在气盒中安装有集成流量验证系统；在对质量流量控制器的校准或验证时，气体不经过反应腔体，而是通过集成流量验证系统的罐体，从而简化容积和温度的测算，并且不受反应腔体温度、刻蚀工艺、材料吸附性等不稳定因素的影响，提高重复度和稳定性，节约时间。集成流量验证系统包含多个不同容积的罐体时，可以相应地为不同流量大小的MFC进行校准和验证，结果更为准确。