公开(公告)号：CN105280464A

公开(公告)日：2016-01-27

申请号：CN201510581543.1

申请日：2015-06-08

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： I·米勒 ,  N·本格塞 ,  C·里德塞尔 ,  T·凯门 ,  J·雅各比 ,  A·托马 ,  M·多林 ,  D·蔡德勒 ,  J·基纳斯特 ,  G·本纳

IPC: H01J37/256 ,  H01J37/08 ,  H01J37/28 ,  H05H7/10 ,  H01J49/02

CPC classification number: H01J37/21 ,  H01J37/10 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/0435 ,  H01J2237/0492 ,  H01J2237/28 ,  H01J2237/31764 ,  H01J2237/31774

Abstract: 一种操作多波束粒子光学单元的方法，包括：(1)提供粒子光学部件的效应的第一设定，其中粒子光学成像可通过至少两个参数来表征；(2)确定矩阵A；使得以下适用：，其中且，其中，表示在所述第一设定的情况下的部件的效应的改变，表示在所述第一设定的情况下的参数的改变；(3)确定矩阵S，使得以下适用：S·A＝DA，其中DA是对角矩阵；(4)限定表征期望的成像的参数的值；(5)提供所述部件的效应的第二设定，使得所述粒子光学成像由具有限定值的参数表征，其中所述第二设定所需的效应根据以下来确定：，其中且，其中，表示在所述第二设定的情况下部件的效应，并且表示所述参数的限定值。

公开(公告)号：CN105280464B

公开(公告)日：2019-06-14

申请号：CN201510581543.1

申请日：2015-06-08

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： I·米勒 ,  N·本格塞 ,  C·里德塞尔 ,  T·凯门 ,  J·雅各比 ,  A·托马 ,  M·多林 ,  D·蔡德勒 ,  J·基纳斯特 ,  G·本纳

IPC: H01J37/256 ,  H01J37/08 ,  H01J37/28 ,  H05H7/10 ,  H01J49/02

CPC classification number: H01J37/21 ,  H01J37/10 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/0435 ,  H01J2237/0492 ,  H01J2237/28 ,  H01J2237/31764 ,  H01J2237/31774

Abstract: 一种操作多波束粒子光学单元的方法，包括：(1)提供粒子光学部件的效应的第一设定，其中粒子光学成像可通过至少两个参数来表征；(2)确定矩阵A；使得以下适用：，其中且，其中，表示在所述第一设定的情况下的部件的效应的改变，表示在所述第一设定的情况下的参数的改变；(3)确定矩阵S，使得以下适用：S·A＝DA，其中DA是对角矩阵；(4)限定表征期望的成像的参数的值；(5)提供所述部件的效应的第二设定，使得所述粒子光学成像由具有限定值的参数表征，其中所述第二设定所需的效应根据以下来确定：，其中且，其中，表示在所述第二设定的情况下部件的效应，并且表示所述参数的限定值。

公开(公告)号：CN105206491B

公开(公告)日：2018-11-06

申请号：CN201510495691.1

申请日：2015-05-29

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： D·蔡德勒 ,  T·凯门 ,  C·里德塞尔 ,  R·伦克

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/09 ,  H01J37/10 ,  H01J37/317 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00

Abstract: 一种粒子束系统，包括粒子源；具有下游形成粒子束的多个开口(353)的第一多孔板(351)；具有由粒子束穿透的多个开口(361)的第二多孔板(359)；具有由还穿透第一和第二多孔板的开口的全部粒子穿透的开口(365)的孔板(363)；具有由粒子束穿透的多个开口(357)并且具有针对束分别提供偶极场或四极场的多个场发生器(372)的第三多孔板(355)；以及将电势馈送至多孔板和孔板的控制器(369)，从而第二多孔板中的第二开口分别作为透镜作用在粒子束(3)上并将可调节激励馈送至场发生器。

公开(公告)号：CN105206491A

公开(公告)日：2015-12-30

申请号：CN201510495691.1

申请日：2015-05-29

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： D·蔡德勒 ,  T·凯门 ,  C·里德塞尔 ,  R·伦克

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/09 ,  H01J37/10 ,  H01J37/317 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00

CPC classification number: H01J37/10 ,  H01J37/09 ,  H01J37/12 ,  H01J37/24 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/0453 ,  H01J2237/1202

Abstract: 一种粒子束系统，包括粒子源；具有下游形成粒子束的多个开口(353)的第一多孔板(351)；具有由粒子束穿透的多个开口(361)的第二多孔板(359)；具有由还穿透第一和第二多孔板的开口的全部粒子穿透的开口(365)的孔板(363)；具有由粒子束穿透的多个开口(357)并且具有针对束分别提供偶极场或四极场的多个场发生器(372)的第三多孔板(355)；以及将电势馈送至多孔板和孔板的控制器(369)，从而第二多孔板中的第二开口分别作为透镜作用在粒子束(3)上并将可调节激励馈送至场发生器。