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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107428616B
公开(公告)日：2020-10-23
申请号：CN201680007587.6
申请日：2016-02-19
Applicant: 捷客斯金属株式会社
Abstract: 一种IGZO烧结体，其为包含铟(In)、镓(Ga)、锌(Zn)、氧(O)和不可避免的杂质的氧化物烧结体，其特征在于，挠曲强度为50MPa以上，体电阻为100mΩcm以下。本发明的课题在于提供一种在通过DC溅射进行成膜时能够减少靶破裂和粉粒产生、并且能够形成良好的薄膜的溅射靶。
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公开(公告)号：CN107428617B
公开(公告)日：2020-11-03
申请号：CN201680016776.X
申请日：2016-02-19
Applicant: 捷客斯金属株式会社
Abstract: 一种IGZO烧结体，其为包含铟(In)、镓(Ga)、锌(Zn)、氧(O)和不可避免的杂质的氧化物烧结体，其特征在于，所述烧结体中存在的裂纹的平均长度为3μm以上且15μm以下。本发明的课题在于提供一种溅射靶，所述溅射靶在通过DC溅射进行成膜时能够减少靶破裂、粉粒产生，能够形成良好的薄膜。
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公开(公告)号：CN107428617A
公开(公告)日：2017-12-01
申请号：CN201680016776.X
申请日：2016-02-19
Applicant: 捷客斯金属株式会社
Abstract: 一种IGZO烧结体，其为包含铟(In)、镓(Ga)、锌(Zn)、氧(O)和不可避免的杂质的氧化物烧结体，其特征在于，所述烧结体中存在的裂纹的平均长度为3μm以上且15μm以下。本发明的课题在于提供一种溅射靶，所述溅射靶在通过DC溅射进行成膜时能够减少靶破裂、粉粒产生，能够形成良好的薄膜。
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公开(公告)号：CN107428616A
公开(公告)日：2017-12-01
申请号：CN201680007587.6
申请日：2016-02-19
Applicant: 捷客斯金属株式会社
Abstract: 一种IGZO烧结体，其为包含铟(In)、镓(Ga)、锌(Zn)、氧(O)和不可避免的杂质的氧化物烧结体，其特征在于，挠曲强度为50MPa以上，体电阻为100mΩcm以下。本发明的课题在于提供一种在通过DC溅射进行成膜时能够减少靶破裂和粉粒产生、并且能够形成良好的薄膜的溅射靶。
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公开(公告)号：CN107709270A
公开(公告)日：2018-02-16
申请号：CN201680038373.5
申请日：2016-11-18
Applicant: 捷客斯金属株式会社
Abstract: 一种氧化物烧结体，其为实质上包含铟、锡、镁和氧，以Sn/(In+Sn+Mg)的原子数比为5％～15％的比例含有锡，以Mg/(In+Sn+Mg)的原子数比为0.1％～2.0％的比例含有镁，剩余部分包含铟和氧的烧结体，其特征在于，所述烧结体的表面粗糙度Ra为0.3μm～0.5μm时的挠曲强度为140MPa以上。本发明的课题在于提供可以减少成膜时靶破裂、粉粒产生，并且可以形成非晶稳定性、耐久性优良的薄膜的溅射靶用氧化物烧结体。
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