陶瓷布线基板及其制造方法

    公开(公告)号:CN108695293B

    公开(公告)日:2021-11-09

    申请号:CN201810270182.2

    申请日:2018-03-29

    Inventor: 山本宏明

    Abstract: 本发明提供一种陶瓷布线基板及其制造方法,所述陶瓷布线基板的贯通孔的开口端没有施加负荷的凸部,可以抑制由凸部带来的不良情况。陶瓷布线基板(1)在以氧化铝为主要成分的陶瓷基板(3)的内部具有包含钨的第1金属层(15)与包含钼的第2金属层(17)。另外,第1金属层(15)与第2金属层(17)以俯视时至少一部分重叠的方式进行配置,而且,满足下述式(1)。因而,陶瓷布线基板(1)的贯通孔(5)的开口端(K1)成为进入贯通孔(5)侧的形状,没有如以往那样向外侧突出的突起状的凸部。|(MG2/WG1)×100|≤200··(1)(其中,对于距离T1、T2,将从中心开始的一个方向设为正、将另一个方向设为负)。

    陶瓷布线基板及其制造方法

    公开(公告)号:CN108695293A

    公开(公告)日:2018-10-23

    申请号:CN201810270182.2

    申请日:2018-03-29

    Inventor: 山本宏明

    CPC classification number: H01L23/49827 H01L21/486

    Abstract: 本发明提供一种陶瓷布线基板及其制造方法,所述陶瓷布线基板的贯通孔的开口端没有施加负荷的凸部,可以抑制由凸部带来的不良情况。陶瓷布线基板(1)在以氧化铝为主要成分的陶瓷基板(3)的内部具有包含钨的第1金属层(15)与包含钼的第2金属层(17)。另外,第1金属层(15)与第2金属层(17)以俯视时至少一部分重叠的方式进行配置,而且,满足下述式(1)。因而,陶瓷布线基板(1)的贯通孔(5)的开口端(K1)成为进入贯通孔(5)侧的形状,没有如以往那样向外侧突出的突起状的凸部。|(MG2/WG1)×100|≤200··(1)(其中,对于距离T1、T2,将从中心开始的一个方向设为正、将另一个方向设为负)。

    多连片布线基板及其制造方法

    公开(公告)号:CN103120034B

    公开(公告)日:2016-08-03

    申请号:CN201180046378.X

    申请日:2011-09-30

    Abstract: 提供多连片布线基板及其制造方法,在分割时或在分割之前,难以从分割槽附近发生碎裂、裂纹或断裂并且具有高可靠性。多连片布线基板(1)通过层叠多层陶瓷层(s1)、(s2)形成并且具有正面(2)和背面(3)。多连片布线基板(1)包括:产品区域(4a),其中以矩阵形式排列在平面图中具有矩形形状并且包括空腔(5)的多个布线基板部分(4);沿着产品区域(4a)的外周定位的边缘部分(6);以及沿着布线基板部分(4)和(4)之间的分界及布线基板部分(4)和边缘部分(6)之间的分界在正面(2)和背面(3)中的至少一个面形成的分割槽(8)和(9)。在与延伸方向正交的截面中,分割槽(8)和(9)的最深部分(8b)具有圆弧形状,且各分割槽(8)和(9)均包括位于最深部分(8b)和槽入口(8c)之间的中间部分(8a)。最深部分(8b)的宽度(w2)大于槽入口(8c)的宽度(w3),并且中间部分(8a)的宽度(w1)等于或小于槽入口(8c)的宽度(w3)。

    多图案化布线基板及其制造方法

    公开(公告)号:CN103120034A

    公开(公告)日:2013-05-22

    申请号:CN201180046378.X

    申请日:2011-09-30

    Abstract: 提供多图案化布线基板及其制造方法,在分割时或在分割之前,难以从分割槽附近发生碎裂、裂纹或断裂并且具有高可靠性。多图案化布线基板(1)通过层叠多层陶瓷层(s1)、(s2)形成并且具有正面(2)和背面(3)。多图案化布线基板(1)包括:产品区域(4a),其中以矩阵形式排列在平面图中具有矩形形状并且包括空腔(5)的多个布线基板部分(4);沿着产品区域(4a)的外周定位的边缘部分(6);以及沿着布线基板部分(4)和(4)之间的分界及布线基板部分(4)和边缘部分(6)之间的分界在正面(2)和背面(3)中的至少一个面形成的分割槽(8)和(9)。在与延伸方向正交的截面中,分割槽(8)和(9)的最深部分(8b)具有圆弧形状,且各分割槽(8)和(9)均包括位于最深部分(8b)和槽入口(8c)之间的中间部分(8a)。最深部分(8b)的宽度(w2)大于槽入口(8c)的宽度(w3),并且中间部分(8a)的宽度(w1)等于或小于槽入口(8c)的宽度(w3)。

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