公开(公告)号：JP5609663B2

公开(公告)日：2014-10-22

申请号：JP2011007760

申请日：2011-01-18

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 喬宏 三森 ,  喬宏 三森 ,  木下　健 ,  健 木下 ,  博利 伊勢 ,  博利 伊勢

IPC: H01L21/027 ,  G03F1/24

CPC classification number: C23C14/50 ,  G03F1/24 ,  H01L21/67748 ,  H01L21/6831 ,  H01L21/68728 ,  Y10S269/90 ,  Y10S269/903

公开(公告)号：JP5578167B2

公开(公告)日：2014-08-27

申请号：JP2011501619

申请日：2010-02-24

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 喬宏 三森 ,  康臣 岩橋 ,  章夫 小池

IPC: C03B20/00 ,  C03B8/04 ,  G03F1/24 ,  H01L21/027

CPC classification number: C03B19/1423 ,  C03B2201/42 ,  C03B2207/06 ,  C03B2207/20 ,  C03C3/06 ,  C03C2201/42 ,  C03C2203/44

公开(公告)号：JP5287271B2

公开(公告)日：2013-09-11

申请号：JP2009004506

申请日：2009-01-13

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 喬宏 三森 ,  康臣 岩橋 ,  章夫 小池

IPC: C03B23/20 ,  C03B11/00 ,  C03B20/00 ,  C03B32/00 ,  C03C3/06 ,  C03C3/076 ,  H01L21/027

公开(公告)号：JPWO2010098352A1

公开(公告)日：2012-09-06

申请号：JP2011501619

申请日：2010-02-24

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 喬宏 三森 ,  喬宏 三森 ,  康臣 岩橋 ,  康臣 岩橋 ,  小池　章夫 ,  章夫 小池

IPC: C03B20/00 ,  C03B8/04 ,  G03F1/22 ,  H01L21/027

CPC classification number: C03B19/1423 ,  C03B2201/42 ,  C03B2207/06 ,  C03B2207/20 ,  C03C3/06 ,  C03C2201/42 ,  C03C2203/44

Abstract: 本発明は、金属ドーパント前駆体と、SiO2前駆体と、をバーナーの火炎中で加水分解してガラス微粒子を生成し、生成したガラス微粒子を基材に堆積、成長させて多孔質石英ガラス体を製造する方法であって、前記バーナーが少なくとも二つのノズルを有しており、(A)金属ドーパント前駆体ガス、(B)SiO2前駆体ガス、(C)H2およびO2のうち一方のガス、および、(D)希ガス、N2、CO2、ハロゲン化水素およびH2Oからなる群から選択される1種類以上のガス、を含有し、前記(D)のガスの割合が5〜70mol%である混合ガスと、(E)上記(C)のH2およびO2のうち他方のガスと、をバーナーの互いに異なるノズルに供給する、多孔質石英ガラス体の製造方法に関する。

公开(公告)号：JP5391923B2

公开(公告)日：2014-01-15

申请号：JP2009189862

申请日：2009-08-19

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 喬宏 三森 ,  康臣 岩橋 ,  章夫 小池

IPC: C03B8/04 ,  C03B20/00 ,  G03F1/22 ,  G03F1/24 ,  H01L21/027

CPC classification number: C03B19/1423 ,  C03B2201/42

公开(公告)号：JPWO2011068064A1

公开(公告)日：2013-04-18

申请号：JP2011544241

申请日：2010-11-24

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 小池　章夫 ,  章夫 小池 ,  喬宏 三森 ,  喬宏 三森 ,  朝敬 小川 ,  朝敬 小川

IPC: C03C3/06 ,  C03B20/00 ,  G03F1/22 ,  H01L21/027

CPC classification number: C03C3/06 ,  C03B19/1453 ,  C03B2201/10 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/23 ,  C03B2201/28 ,  C03B2201/42 ,  C03B2201/50 ,  C03C2201/10 ,  C03C2201/20 ,  C03C2201/28 ,  C03C2201/42

Abstract: 本発明は、TiO2を5〜10質量%含有し、B2O3、P2O5およびSのうち、少なくとも一つを合計含有量で50質量ppb〜5質量%含有する、TiO2を含有するシリカガラスに関する。

公开(公告)号：JPWO2010131662A1

公开(公告)日：2012-11-01

申请号：JP2011513350

申请日：2010-05-11

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 小池　章夫 ,  章夫 小池 ,  喬宏 三森 ,  喬宏 三森 ,  康臣 岩橋 ,  康臣 岩橋 ,  朝敬 小川 ,  朝敬 小川

IPC: C03B25/02 ,  C03B20/00 ,  C03C3/06 ,  G02B1/00 ,  G03F1/24

CPC classification number: C03B19/1453 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  C03B32/00 ,  C03B2201/42 ,  C03C3/06 ,  C03C4/0085 ,  C03C2201/42 ,  C03C2203/52 ,  G03F1/24

Abstract: 本発明は、透明ガラス化後のTiO2−SiO2ガラス体の徐冷点をT1(℃)とするとき、透明ガラス化後のガラス体をT1−90(℃)からT1−220(℃)までの温度域に120時間以上保持する工程を含む、TiO2−SiO2ガラス体の製造方法に関する。

公开(公告)号：JP5560776B2

公开(公告)日：2014-07-30

申请号：JP2010046462

申请日：2010-03-03

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 喬宏 三森 ,  健 木下 ,  博利 伊勢 ,  英介 手島

IPC: H01L21/027 ,  G03F1/22 ,  G03F1/24 ,  G03F1/40

公开(公告)号：JP5533395B2

公开(公告)日：2014-06-25

申请号：JP2010167302

申请日：2010-07-26

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 喬宏 三森 ,  博利 伊勢 ,  和伸 前重 ,  和幸 林

IPC: H01L21/027 ,  G03F1/24

公开(公告)号：JP5488283B2

公开(公告)日：2014-05-14

申请号：JP2010159516

申请日：2010-07-14

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 喬宏 三森 ,  康臣 岩橋 ,  章夫 小池 ,  正寛 川岸

IPC: C03B20/00 ,  G03F1/22 ,  G03F1/24 ,  H01L21/027