半导体装置的制造方法及半导体装置

    公开(公告)号:CN119452472A

    公开(公告)日:2025-02-14

    申请号:CN202480002385.7

    申请日:2024-05-29

    Abstract: 作为半导体装置的制造方法的一例,公开一种以将桥管芯(20)的连接端子朝上的状态(面朝上)搭载于再配线层等支撑体的方法。在该方法中,其特征为,在桥管芯的背面形成黏合层之前,形成树脂层(23)以使桥管芯(20)的半导体基板(21)上的多个端子电极(22)被热固性树脂膜(例如DAF)或热固性黏合剂覆盖。各桥管芯(20)通过夹头真空吸附经固化的树脂层(23)的整个表面,搭载于配线层(12)等支撑体,制作半导体装置。根据该方法,由于在通过夹头(C)吸附桥管芯(20)时能够吸附表面(23a)的整体,因此与避开端子电极仅在外缘吸附的方法相比,能够抑制桥管芯挠曲。此外,能够抑制拾取芯片时的芯片破裂和通过加热压接搭载时的空隙产生。

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