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公开(公告)号:CN119452472A
公开(公告)日:2025-02-14
申请号:CN202480002385.7
申请日:2024-05-29
Applicant: 株式会社力森诺科
Abstract: 作为半导体装置的制造方法的一例,公开一种以将桥管芯(20)的连接端子朝上的状态(面朝上)搭载于再配线层等支撑体的方法。在该方法中,其特征为,在桥管芯的背面形成黏合层之前,形成树脂层(23)以使桥管芯(20)的半导体基板(21)上的多个端子电极(22)被热固性树脂膜(例如DAF)或热固性黏合剂覆盖。各桥管芯(20)通过夹头真空吸附经固化的树脂层(23)的整个表面,搭载于配线层(12)等支撑体,制作半导体装置。根据该方法,由于在通过夹头(C)吸附桥管芯(20)时能够吸附表面(23a)的整体,因此与避开端子电极仅在外缘吸附的方法相比,能够抑制桥管芯挠曲。此外,能够抑制拾取芯片时的芯片破裂和通过加热压接搭载时的空隙产生。
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公开(公告)号:CN119096353A
公开(公告)日:2024-12-06
申请号:CN202380036145.4
申请日:2023-08-31
Applicant: 株式会社力森诺科
Abstract: 公开一种制造半导体封装件的方法,其包括:准备中间结构体的步骤,所述中间结构体具有:基材,具有第一主面及其背面侧的第二主面;及再配线层,设置于第一主面上,且具有绝缘树脂层及配线,所述中间结构体中,基材具有包含从第一主面贯穿至第二主面的贯穿部的树脂部,配线层形成有具有贯穿部露出的底面的沟槽;及形成多个配线结构体的步骤,所述多个配线结构体具有沿着沟槽切断贯穿部从而被分割的基材。
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公开(公告)号:CN119096354A
公开(公告)日:2024-12-06
申请号:CN202380036147.3
申请日:2023-08-31
Applicant: 株式会社力森诺科
Abstract: 公开一种制造InFO‑L等半导体封装件的方法,其包括:准备中间结构体的步骤,所述中间结构体具有:基材,具有第一主面及其背面侧的第二主面;及再配线层,设置于第一主面上,且具有绝缘树脂层及配线,所述中间结构体中,基材具有包含从第一主面贯穿至第二主面的贯穿部的树脂部,再配线层形成有具有贯穿部露出的底面的沟槽;及形成多个配线结构体的步骤,所述多个配线结构体具有沿着沟槽切断贯穿部从而被分割的基材。
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公开(公告)号:CN119073008A
公开(公告)日:2024-12-03
申请号:CN202280095323.6
申请日:2022-09-02
Applicant: 株式会社力森诺科
Abstract: 公开一种制造电子零件的方法,其包括:准备中间结构体的步骤,所述中间结构体具有:基材,具有第一主面及其背面侧的第二主面;及配线层,设置于第一主面上,且具有绝缘树脂层及配线,所述中间结构体中,基材具有包含从第一主面贯穿至第二主面的贯穿部的树脂部,配线层形成有具有贯穿部露出的底面的沟槽;及形成多个配线结构体的步骤,所述多个配线结构体具有沿着沟槽切断贯穿部从而被分割的基材。
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公开(公告)号:CN119096352A
公开(公告)日:2024-12-06
申请号:CN202380036144.X
申请日:2023-08-30
Applicant: 株式会社力森诺科
IPC: H01L23/12 , H01L21/301 , H01L25/04 , H01L25/18 , H10B80/00
Abstract: 在本发明的半导体装置的制造方法中,首先准备结构体(200),该结构体(200)具有形成有用于将表面分割成多个设置区域(65)的多个沟槽部(61)的中介层(60)、以及配置于各设置区域(65)上的半导体元件(202a、202b)。半导体元件(202a)为处理器,半导体元件(202b)为存储器。在该结构体(200)中,密封半导体元件(202a、202b)以使密封材料(8)插入各沟槽部(61)。然后,研磨中介层(60)的背面,以使插入各沟槽部(61)的密封材料(8)露出。之后,沿着沟槽部(61)切断密封材料(8)而使其单片化,从而获取多个半导体装置(201)。根据该方法,单片化时仅切断密封材料(8),因此能够省略刀片变更而提高制造效率。
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公开(公告)号:CN119096355A
公开(公告)日:2024-12-06
申请号:CN202380036148.8
申请日:2023-08-31
Applicant: 株式会社力森诺科
Abstract: 公开一种制造CoWoS‑L等半导体封装件的方法,其包括:准备中间结构体的步骤,所述中间结构体具有:基材,具有第一主面及其背面侧的第二主面;及再配线层,设置于第一主面上且具有绝缘树脂层及配线,所述中间结构体中,基材具有包含从第一主面贯穿至第二主面的贯穿部的树脂部,再配线层形成有具有贯穿部露出的底面的沟槽;及形成多个配线结构体的步骤,所述多个配线结构体具有沿着沟槽切断贯穿部从而被分割的基材。
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