公开(公告)号：CN103765549A

公开(公告)日：2014-04-30

申请号：CN201280040592.9

申请日：2012-05-23

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 中野朝则 ,  浦野琴子 ,  伊藤博之

IPC: H01J37/153 ,  H01J37/244

CPC classification number: G21K1/00 ,  H01J37/153 ,  H01J37/244 ,  H01J37/26 ,  H01J2237/2446 ,  H01J2237/2826

Abstract: 为了提供一种能容易地取得对带电粒子束装置的象差进行修正的象差修正器的表格数据的多极测定装置，在具备光学系统(10)、被插入象差修正器(6)的空间、和位置检测器(7)的多极测定装置中，对于在多个点进行的一次带电粒子束向象差修正器(6)的入射位置以及角度和在位置检测器(7)上的照射位置与多极的关系，通过在激励了多极场的状态以及不激励的状态下进行测定，由此提取出激励了多极场的状态包含的多极成分。

公开(公告)号：CN104094373B

公开(公告)日：2016-08-17

申请号：CN201380008021.1

申请日：2013-02-15

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 大南祐介 ,  大岛卓 ,  伊藤博之 ,  佐藤贡 ,  伊东祐博

IPC: H01J37/18 ,  H01J37/16

CPC classification number: H01J37/28 ,  H01J37/09 ,  H01J37/16 ,  H01J37/18 ,  H01J2237/0451 ,  H01J2237/06341 ,  H01J2237/10 ,  H01J2237/1405 ,  H01J2237/164 ,  H01J2237/2608 ,  H01J2237/2801

Abstract: 本发明提供能简单地装拆隔膜(101)且能将试样(6)配置于真空下和高压下的带电粒子线装置(111)。该带电粒子线装置(111)具有：对带电粒子源(110)和电子光学系统(1、2、7)进行保持的镜筒(3)；与镜筒(3)连结的第一框体(4)；向第一框体(4)的内侧凹陷的第二框体(100)；将镜筒(3)内的空间和第一框体(4)内的空间隔离且供带电粒子线透过的第一隔膜(10)；将第二框体(100)的凹部(100a)内的空间和第二框体(100)的凹部(100a)外的空间隔离且供带电粒子线透过的第二隔膜(101)；与收纳带电粒子源(110)的第三框体(22)连结的管(23)，第一隔膜(10)安装于管(23)，管(23)和第三框体(22)能沿光轴(30)的方向相对于镜筒(3)装拆。由第一框体(4)和第二框体(100)包围的空间(105)被减压，对配置于凹部(100a)中的试样(6)照射带电粒子线。

公开(公告)号：CN103765549B

公开(公告)日：2016-02-24

申请号：CN201280040592.9

申请日：2012-05-23

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 中野朝则 ,  浦野琴子 ,  伊藤博之

IPC: H01J37/153 ,  H01J37/244

CPC classification number: G21K1/00 ,  H01J37/153 ,  H01J37/244 ,  H01J37/26 ,  H01J2237/2446 ,  H01J2237/2826

Abstract: 为了提供一种能容易地取得对带电粒子束装置的象差进行修正的象差修正器的表格数据的多极测定装置，在具备光学系统(10)、被插入象差修正器(6)的空间、和位置检测器(7)的多极测定装置中，对于在多个点进行的一次带电粒子束向象差修正器(6)的入射位置以及角度和在位置检测器(7)上的照射位置与多极的关系，通过在激励了多极场的状态以及不激励的状态下进行测定，由此提取出激励了多极场的状态包含的多极成分。

公开(公告)号：CN104094373A

公开(公告)日：2014-10-08

申请号：CN201380008021.1

申请日：2013-02-15

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 大南祐介 ,  大岛卓 ,  伊藤博之 ,  佐藤贡 ,  伊东祐博

IPC: H01J37/18 ,  H01J37/16

CPC classification number: H01J37/28 ,  H01J37/09 ,  H01J37/16 ,  H01J37/18 ,  H01J2237/0451 ,  H01J2237/06341 ,  H01J2237/10 ,  H01J2237/1405 ,  H01J2237/164 ,  H01J2237/2608 ,  H01J2237/2801

Abstract: 本发明提供能简单地装拆隔膜(101)且能将试样(6)配置于真空下和高压下的带电粒子线装置(111)。该带电粒子线装置(111)具有：对带电粒子源(110)和电子光学系统(1、2、7)进行保持的镜筒(3)；与镜筒(3)连结的第一框体(4)；向第一框体(4)的内侧凹陷的第二框体(100)；将镜筒(3)内的空间和第一框体(4)内的空间隔离且供带电粒子线透过的第一隔膜(10)；将第二框体(100)的凹部(100a)内的空间和第二框体(100)的凹部(100a)外的空间隔离且供带电粒子线透过的第二隔膜(101)；与收纳带电粒子源(110)的第三框体(22)连结的管(23)，第一隔膜(10)安装于管(23)，管(23)和第三框体(22)能沿光轴(30)的方向相对于镜筒(3)装拆。由第一框体(4)和第二框体(100)包围的空间(105)被减压，对配置于凹部(100a)中的试样(6)照射带电粒子线。