公开(公告)号：CN104246965B

公开(公告)日：2016-04-27

申请号：CN201380020619.2

申请日：2013-04-11

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 大南祐介 ,  河西晋佐 ,  大泷智久 ,  安岛雅彦 ,  伊东祐博

IPC: H01J37/18 ,  H01J37/09 ,  H01J37/16

CPC classification number: H01J37/261 ,  H01J37/09 ,  H01J37/10 ,  H01J37/147 ,  H01J37/16 ,  H01J37/18 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/0245 ,  H01J2237/043 ,  H01J2237/063 ,  H01J2237/10 ,  H01J2237/162 ,  H01J2237/164 ,  H01J2237/2003 ,  H01J2237/2448 ,  H01J2237/2602 ,  H01J2237/2605

Abstract: 带电粒子束装置(1)具备带电粒子光学镜筒(10)、搭载带电粒子光学镜筒(10)的支承壳体(20)、以及插入到支承壳体(20)的内部的内插壳体(30)，第一光圈构件(15)配设在物镜的磁场的中心附近，第二光圈构件(31)配设为从外侧封堵设置于内插壳体(30)的上表面的开口部。并且，利用检测器(16)检测在一次带电粒子束(12)向配置于第二光圈构件(31)的下表面侧的试料(60)照射时放出的二次带电粒子。

公开(公告)号：CN104246965A

公开(公告)日：2014-12-24

申请号：CN201380020619.2

申请日：2013-04-11

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 大南祐介 ,  河西晋佐 ,  大泷智久 ,  安岛雅彦 ,  伊东祐博

IPC: H01J37/18 ,  H01J37/09 ,  H01J37/16

CPC classification number: H01J37/261 ,  H01J37/09 ,  H01J37/10 ,  H01J37/147 ,  H01J37/16 ,  H01J37/18 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/0245 ,  H01J2237/043 ,  H01J2237/063 ,  H01J2237/10 ,  H01J2237/162 ,  H01J2237/164 ,  H01J2237/2003 ,  H01J2237/2448 ,  H01J2237/2602 ,  H01J2237/2605

Abstract: 带电粒子束装置(1)具备带电粒子光学镜筒(10)、搭载带电粒子光学镜筒(10)的支承壳体(20)、以及插入到支承壳体(20)的内部的内插壳体(30)，第一光圈构件(15)配设在物镜的磁场的中心附近，第二光圈构件(31)配设为从外侧封堵设置于内插壳体(30)的上表面的开口部。并且，利用检测器(16)检测在一次带电粒子束(12)向配置于第二光圈构件(31)的下表面侧的试料(60)照射时放出的二次带电粒子。

公开(公告)号：CN104094373A

公开(公告)日：2014-10-08

申请号：CN201380008021.1

申请日：2013-02-15

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 大南祐介 ,  大岛卓 ,  伊藤博之 ,  佐藤贡 ,  伊东祐博

IPC: H01J37/18 ,  H01J37/16

CPC classification number: H01J37/28 ,  H01J37/09 ,  H01J37/16 ,  H01J37/18 ,  H01J2237/0451 ,  H01J2237/06341 ,  H01J2237/10 ,  H01J2237/1405 ,  H01J2237/164 ,  H01J2237/2608 ,  H01J2237/2801

Abstract: 本发明提供能简单地装拆隔膜(101)且能将试样(6)配置于真空下和高压下的带电粒子线装置(111)。该带电粒子线装置(111)具有：对带电粒子源(110)和电子光学系统(1、2、7)进行保持的镜筒(3)；与镜筒(3)连结的第一框体(4)；向第一框体(4)的内侧凹陷的第二框体(100)；将镜筒(3)内的空间和第一框体(4)内的空间隔离且供带电粒子线透过的第一隔膜(10)；将第二框体(100)的凹部(100a)内的空间和第二框体(100)的凹部(100a)外的空间隔离且供带电粒子线透过的第二隔膜(101)；与收纳带电粒子源(110)的第三框体(22)连结的管(23)，第一隔膜(10)安装于管(23)，管(23)和第三框体(22)能沿光轴(30)的方向相对于镜筒(3)装拆。由第一框体(4)和第二框体(100)包围的空间(105)被减压，对配置于凹部(100a)中的试样(6)照射带电粒子线。

公开(公告)号：CN104094373B

公开(公告)日：2016-08-17

申请号：CN201380008021.1

申请日：2013-02-15

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 大南祐介 ,  大岛卓 ,  伊藤博之 ,  佐藤贡 ,  伊东祐博

IPC: H01J37/18 ,  H01J37/16

CPC classification number: H01J37/28 ,  H01J37/09 ,  H01J37/16 ,  H01J37/18 ,  H01J2237/0451 ,  H01J2237/06341 ,  H01J2237/10 ,  H01J2237/1405 ,  H01J2237/164 ,  H01J2237/2608 ,  H01J2237/2801

Abstract: 本发明提供能简单地装拆隔膜(101)且能将试样(6)配置于真空下和高压下的带电粒子线装置(111)。该带电粒子线装置(111)具有：对带电粒子源(110)和电子光学系统(1、2、7)进行保持的镜筒(3)；与镜筒(3)连结的第一框体(4)；向第一框体(4)的内侧凹陷的第二框体(100)；将镜筒(3)内的空间和第一框体(4)内的空间隔离且供带电粒子线透过的第一隔膜(10)；将第二框体(100)的凹部(100a)内的空间和第二框体(100)的凹部(100a)外的空间隔离且供带电粒子线透过的第二隔膜(101)；与收纳带电粒子源(110)的第三框体(22)连结的管(23)，第一隔膜(10)安装于管(23)，管(23)和第三框体(22)能沿光轴(30)的方向相对于镜筒(3)装拆。由第一框体(4)和第二框体(100)包围的空间(105)被减压，对配置于凹部(100a)中的试样(6)照射带电粒子线。

公开(公告)号：CN105247650A

公开(公告)日：2016-01-13

申请号：CN201480030121.9

申请日：2014-03-12

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 大南佑介 ,  坂诘卓 ,  伊东佑博

IPC: H01J37/244 ,  G01N23/04 ,  G01N23/225 ,  H01J37/20 ,  H01J37/22 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/22 ,  G01N23/046 ,  G01N2223/3307 ,  G01N2223/418 ,  H01J37/10 ,  H01J37/20 ,  H01J37/222 ,  H01J37/244 ,  H01J37/26 ,  H01J37/261 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/047 ,  H01J2237/10 ,  H01J2237/221 ,  H01J2237/226 ,  H01J2237/2443 ,  H01J2237/2445 ,  H01J2237/24578 ,  H01J2237/2611 ,  H01J2237/2802

Abstract: 本发明的特征为，在透射型电子显微镜中，对决定一次带电粒子束(900)和试样之间的相互关系的矢量参数(θ、E、I)进行控制，取得与多个不同的矢量参数对应的试样的透射带电粒子图像；在检测从试样透射的透射电子或前方散射电子的检测器(500)上直接或经由预定的部件来配置试样。这样即使在使用了焦点深度比光学显微镜大的电子显微镜的情况下，也能够正确地确定试样内部的结构物的三维位置和密度，能够容易地实施针对试样相同的场所的光学显微镜观察和使用了电子显微镜的三维内部结构观察。

公开(公告)号：CN102067272A

公开(公告)日：2011-05-18

申请号：CN200980122616.3

申请日：2009-04-15

Applicant: 迈普尔平版印刷IP有限公司

Inventor： 简·J·维兰德 ,  亚历山大·H·V·范维恩

IPC: H01J37/317

CPC classification number: H01J37/3177 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  H01J37/3007 ,  H01J2237/0492 ,  H01J2237/10 ,  H01J2237/15

Abstract: 本发明涉及一种使用多个子束(21)对目标(11)进行曝光的带电粒子多子束系统，该系统包含带电粒子源(1)、孔径阵列(4)、子束操纵器、子束阻断器(6)以及投影透镜系统的阵列。该带电粒子源(1)配置成产生带电粒子波束(20)。该孔径阵列(4)配置成从产生的波束定义分离的子束(21)。该子束操纵器配置成将多组子束汇聚向每一组的公共汇聚点。该子束阻断器(6)配置成可控地阻断子束组中的子束。最后，该投影透镜系统的阵列(10)配置成将子束组的未被阻断的子束投射到目标(11)的表面。该子束操纵器还将每个子束组汇聚向对应于投影透镜系统之一的点。

公开(公告)号：CN105849854B

公开(公告)日：2018-02-13

申请号：CN201480070999.5

申请日：2014-12-22

Applicant: 迈普尔平版印刷IP有限公司

Inventor： P·I·谢弗斯

IPC: H01J37/317 ,  H01J37/244

CPC classification number: H01J37/22 ,  H01J37/20 ,  H01J37/244 ,  H01J37/3177 ,  H01J2237/10 ,  H01J2237/202 ,  H01J2237/2443 ,  H01J2237/24507

Abstract: 本发明涉及一种用于将图案转移到目标上的带电粒子光刻系统，所述系统包括：目标定位设备，该目标定位设备包括具有用于支托目标的第一侧的目标支托架；带电粒子光学单元，该带电粒子光学单元用于生成带电粒子束、调制所述带电粒子束、并且将所述带电粒子束引向目标支托架的第一侧；以及传感器组装件，该传感器组装件包括：转换器元件，所述转换器元件用于将撞击在所述转换器元件上的带电粒子转换成光，其中转换器元件被布置在所述目标定位设备上；光传感器，所述光传感器用于检测光，其中光传感器被布置在离所述目标定位设备的一距离处；以及光学透镜，所述光学透镜被布置在转换器元件和光传感器之间以用于将源自所述转换器元件的光引向所述传感器。

公开(公告)号：CN104952679A

公开(公告)日：2015-09-30

申请号：CN201510132049.7

申请日：2015-03-25

Applicant: FEI公司

Inventor： P.波托塞克 ,  C.S.库伊曼 ,  H.N.斯林格兰德 ,  G.N.A.范维恩 ,  F.博霍贝 ,  J.S.发伯 ,  A.A.S.斯鲁特曼

IPC: H01J37/244 ,  H01J37/30 ,  G01N23/22 ,  G01N21/63

CPC classification number: H01J37/261 ,  G01N21/6458 ,  G01N23/225 ,  G01N2223/418 ,  G01N2223/427 ,  G02B21/0016 ,  H01J37/06 ,  H01J37/1472 ,  H01J37/222 ,  H01J37/244 ,  H01J37/265 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/063 ,  H01J2237/10 ,  H01J2237/226 ,  H01J2237/2446 ,  H01J2237/2447 ,  H01J2237/2448 ,  H01J2237/24507 ,  H01J2237/2602

Abstract: 用多个射束和多个检测器对样本成像。一种用于用大量聚焦射束来检查或处理样本的多射束装置，该装置被装配成在样本上扫描大量的N个射束，该装置装配有用于检测在所述样本被大量射束照射时由样本发射的二次辐射的大量的M个检测器，检测器中的每个能够输出表示由检测器检测的二次辐射的强度的检测器信号，在工作中，每个检测器信号包括由多个射束引起的信息，由一个射束引起的信息因此遍布多个检测器，该装置装配有可编程控制器，其用于使用加权因数来将大量的检测器信号处理成大量输出信号，使得每个输出信号表示由单个射束引起的信息，其特征在于加权因数是取决于射束相对于检测器的扫描位置以及样本与检测器之间的距离的动态加权因数。

公开(公告)号：CN104272426A

公开(公告)日：2015-01-07

申请号：CN201380021994.9

申请日：2013-03-25

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 小柏刚 ,  佐藤贡 ,  今野充

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/04 ,  H01J37/244 ,  H01J37/295

CPC classification number: H01J37/222 ,  H01J37/21 ,  H01J37/263 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/10 ,  H01J2237/24475 ,  H01J2237/24507 ,  H01J2237/2802 ,  H01J2237/2804 ,  H01J2237/2805 ,  H01J2237/2826 ,  H01J37/09 ,  H01J37/244 ,  H01J2237/24455 ,  H01J2237/24465

Abstract: 在现有技术中，通用的扫描电子显微镜中，可设定的最大加速电压低，因此在通常的高分辨率观察条件下可观察的晶体薄膜样本仅限于晶格面间隔大的样本。因此，没有高精度地进行倍率校正的手段。作为解决手段，本发明的特征在于，具备：电子源，其产生电子束；偏转器，其执行偏转，以便利用所述电子束在所述样本上进行扫描；物镜，其使所述电子束会聚在所述样本上；检测器，其检测透过了所述样本的散射电子以及非散射电子；和光圈，其配置在所述样本与所述检测器之间，对所述散射电子以及所述非散射电子的检测角进行控制；所述电子束以规定的开角入射至样本，以比在所述样本上电子束直径成为最小的第一开角大的第二开角来获取晶格像。

公开(公告)号：CN103854942A

公开(公告)日：2014-06-11

申请号：CN201310498939.0

申请日：2013-10-22

Applicant: 斯伊恩股份有限公司

Inventor： 椛泽光昭 ,  渡边一浩 ,  安藤一志 ,  稻田耕二 ,  山田达也

IPC: H01J37/317

CPC classification number: H01J37/32412 ,  H01J37/3007 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/057 ,  H01J2237/10

Abstract: 本发明提供一种离子注入装置，确保相对于离子注入装置的作业性且抑制设置面积。本发明的离子注入装置具备对由离子源生成的离子束进行加速的多个单元、及对扫描束进行调整而注入到晶片中的多个单元，该离子注入装置通过将对扫描束进行调整的多个单元的长度构成为与对离子源及离子束进行加速的多个单元大致相同的长度的长直线部，构成具有相对置的长直线部的水平U字状的折回型射束线。