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公开(公告)号：CN104412193B
公开(公告)日：2017-03-08
申请号：CN201380033768.2
申请日：2013-04-12
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/20 , G02B21/06 , G02B21/26 , G05B19/402 , G05D3/12 , H01J37/28 , H01J37/292 , H01J2237/20221 , H01J2237/20264
Abstract: 本发明的目的为提供一种除了能够实现高精度的定位，还具有高速度稳定性的载物台装置以及具备了该载物台装置的光学式显微镜或扫描电子显微镜等试样观察装置。本发明的载物台装置以及试样观察装置为了将使用表示按照每个预定时间的指令电压值的标准波形数据驱动载物台机构时的变位或速度的第一时刻变化响应和载物台机构的速度成为恒定时的变位或速度的第二时刻变化响应之间的差设为零，而修正标准波形数据的指令电压值或指令电压值的输出定时，作为对载物台机构的驱动部输出的驱动波形数据。
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公开(公告)号：CN104412193A
公开(公告)日：2015-03-11
申请号：CN201380033768.2
申请日：2013-04-12
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/20 , G02B21/06 , G02B21/26 , G05B19/402 , G05D3/12 , H01J37/28 , H01J37/292 , H01J2237/20221 , H01J2237/20264
Abstract: 本发明的目的为提供一种除了能够实现高精度的定位，还具有高速度稳定性的载物台装置以及具备了该载物台装置的光学式显微镜或扫描电子显微镜等试样观察装置。本发明的载物台装置以及试样观察装置为了将使用表示按照每个预定时间的指令电压值的标准波形数据驱动载物台机构时的变位或速度的第一时刻变化响应和载物台机构的速度成为恒定时的变位或速度的第二时刻变化响应之间的差设为零，而修正标准波形数据的指令电压值或指令电压值的输出定时，作为对载物台机构的驱动部输出的驱动波形数据。
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公开(公告)号：CN103608890B
公开(公告)日：2015-01-28
申请号：CN201280028423.3
申请日：2012-06-06
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/20 , H01J2237/20214 , H01J2237/20242 , H01J2237/20285 , H01J2237/20292 , H01J2237/28
Abstract: 在本发明的台装置中，在试样或试样支架或旋转桌上设置能够测定位置和方向的标记，依照预定的动作模式进行台的旋转并进移动，测定这时的标记的位置和方向，根据其结果确定旋转桌的旋转中心位置，并且求出修正旋转误差的旋转角修正量和修正旋转中心位置的位置变动的并进修正量，生成对旋转角的修正量表，从修正量表中取得与输入的旋转角指令值或实际旋转角对应的修正量，修正所输入的旋转/并进指令值或检测出的旋转角/并进位置，控制台装置。
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公开(公告)号：CN103608890A
公开(公告)日：2014-02-26
申请号：CN201280028423.3
申请日：2012-06-06
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/20 , H01J2237/20214 , H01J2237/20242 , H01J2237/20285 , H01J2237/20292 , H01J2237/28
Abstract: 在本发明的台装置中，在试样或试样支架或旋转桌上设置能够测定位置和方向的标记，依照预定的动作模式进行台的旋转并进移动，测定这时的标记的位置和方向，根据其结果确定旋转桌的旋转中心位置，并且求出修正旋转误差的旋转角修正量和修正旋转中心位置的位置变动的并进修正量，生成对旋转角的修正量表，从修正量表中取得与输入的旋转角指令值或实际旋转角对应的修正量，修正所输入的旋转/并进指令值或检测出的旋转角/并进位置，控制台装置。
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