基板的制造方法
    5.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101908491B

    公开(公告)日:2012-10-17

    申请号:CN201010174856.2

    申请日:2010-04-29

    Inventor: 片冈祐治

    CPC classification number: H01L2224/48091 H01L2924/00014

    Abstract: 在基板层的主面的围堰材料的内侧填充树脂并使其固化而形成密封用的树脂层的基板的制造方法中,使围堰材料不会对后续的工序等造成不良影响。通过围堰材料形成工序,沿基板层(2)的主面的外周部配置由能从基板层(2)和树脂层(7)除去的材料形成的围堰材料(6),通过树脂层形成工序,在基板层(2)的主面的靠围堰材料(6)内侧的区域内以围堰材料(6)的高度以下的厚度填充树脂,使其固化,从而形成密封用的树脂层(7)。然后,在形成树脂层(7)后,通过围堰材料除去工序除去围堰材料(6),使围堰材料(6)不会对后续的切割工序造成不良影响。

    基板的制造方法
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101908491A

    公开(公告)日:2010-12-08

    申请号:CN201010174856.2

    申请日:2010-04-29

    Inventor: 片冈祐治

    CPC classification number: H01L2224/48091 H01L2924/00014

    Abstract: 在基板层的主面的围堰材料的内侧填充树脂并使其固化而形成密封用的树脂层的基板的制造方法中,使围堰材料不会对后续的工序等造成不良影响。通过围堰材料形成工序,沿基板层(2)的主面的外周部配置由能从基板层(2)和树脂层(7)除去的材料形成的围堰材料(6),通过树脂层形成工序,在基板层(2)的主面的靠围堰材料(6)内侧的区域内以围堰材料(6)的高度以下的厚度填充树脂,使其固化,从而形成密封用的树脂层(7)。然后,在形成树脂层(7)后,通过围堰材料除去工序除去围堰材料(6),使围堰材料(6)不会对后续的切割工序造成不良影响。

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