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公开(公告)号：CN110678575B
公开(公告)日：2021-08-31
申请号：CN201880035302.9
申请日：2018-02-19
Applicant: 株式会社爱发科
Abstract: 本发明所解决的技术问题为使水蒸气分压稳定，使透明导电膜的膜质更稳定。一种成膜装置，具有第1真空室、气体供给源、成膜源以及控制装置。在上述第1真空室中，维持减压状态、能够送入送出保持基板的载体。上述气体供给源能够对上述第1真空室供给水蒸气气体。上述成膜源配置在上述第1真空室，能够产生形成在上述基板的透明导电膜的材料。上述控制装置在上述透明导电膜形成在上述基板时，将上述第1真空室的水蒸气分压控制在第1分压以上且比上述第1分压高的第2分压以下的范围。
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公开(公告)号：CN101675492A
公开(公告)日：2010-03-17
申请号：CN200880015042.5
申请日：2008-05-30
Applicant: 株式会社爱发科
CPC classification number: H01J9/261 , H01J11/12 , H01J11/48 , H01J2329/867 , Y10T156/10
Abstract: 一种具有第一基板和第二基板的密封面板的制造方法，具有使不含有用于糊化的黏合剂的密封材熔化的熔化工序；向所述第二基板的表面涂敷熔化的所述密封材的涂敷工序；通过涂敷于所述第二基板的表面的所述密封材粘结所述第一基板和所述第二基板的密封工序。
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公开(公告)号：CN114981470A
公开(公告)日：2022-08-30
申请号：CN202180009850.6
申请日：2021-03-22
Applicant: 株式会社爱发科
IPC: C23C14/35 , C23C14/34 , H01L21/285 , H01L21/363
Abstract: 本发明的课题在于实现膜厚分布的均匀化。在成膜方法中，使用至少3个以上的多个旋转靶对基板进行溅射成膜，旋转靶具有中心轴和靶面，并在内部具备能够绕中心轴旋转的磁铁。多个旋转靶配置为中心轴相互平行并且中心轴与基板平行。一边对多个旋转靶通电一边使多个旋转靶各自的磁铁绕中心轴在具有到基板最近的A点的圆弧上移动，一边对基板进行溅射成膜，多个旋转靶内的至少配置在两端的一对旋转靶的磁铁在圆弧上在比A点更远离基板的中心的区域进行成膜的时间比在比A点更靠近基板的中心的区域进行成膜的时间短。
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公开(公告)号：CN108300975A
公开(公告)日：2018-07-20
申请号：CN201711472810.7
申请日：2017-12-29
Applicant: 株式会社爱发科
Abstract: 技术问题：提供一种能够抑制微粒的产生并容易进行基板装卸的基板保持器。解决手段：本发明的一个方式的基板保持器用于纵式基板输送装置，能够以立起姿势保持基板，所述基板保持器具备框体、和吸附部。上述框体具有在上述基板的厚度方向上与上述基板的周缘部相对的相对面。上述吸附部设置在上述相对面，且构成为能够静电吸附上述基板的周缘部的至少一部分。
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公开(公告)号：CN101675492B
公开(公告)日：2011-12-21
申请号：CN200880015042.5
申请日：2008-05-30
Applicant: 株式会社爱发科
CPC classification number: H01J9/261 , H01J11/12 , H01J11/48 , H01J2329/867 , Y10T156/10
Abstract: 一种具有第一基板和第二基板的密封面板的制造方法，具有使不含有用于糊化的黏合剂的密封材熔化的熔化工序；向所述第二基板的表面涂敷熔化的所述密封材的涂敷工序；通过涂敷于所述第二基板的表面的所述密封材粘结所述第一基板和所述第二基板的密封工序。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116057200B
公开(公告)日：2024-09-10
申请号：CN202180058390.6
申请日：2021-06-11
Applicant: 株式会社爱发科
Abstract: 本发明提供一种旋转式阴极单元的驱动块，其无需实施防水加工就可对内管内部件进行电力供给。具有绕轴线旋转驱动靶(Tg)的第1驱动装置(92)的旋转式阴极单元(Rc)用驱动块(DB)具有中空管(4)，所述中空管(4)具有从内管(3)向轴线方向延伸的直线部；第1内筒体(5)，其外套在中空管的直线部上，限定与内管内的冷媒循环通道(Fp2)连通的第1通道(Fp3)；第2内筒体(6)，其外套在第1内筒体上，限定与靶和内管之间的冷媒循环通道(Fp1)连通的第2通道(Fp4)；以及外筒体(7)，其经轴承(Br2)外嵌在第2内筒体上，与靶的轴线方向一端连结，传递来自驱动装置的动力；还具有隔绝装置(Sv1～Sv3)，其在内管一端连结中空管的状态下使彼此连通的内管和中空管的内部空间与真空气氛隔绝。
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公开(公告)号：CN116057199B
公开(公告)日：2024-09-03
申请号：CN202180058339.5
申请日：2021-07-15
Applicant: 株式会社爱发科
IPC: C23C14/34
Abstract: 本发明提供一种旋转式阴极单元的驱动块，其不但具有容易进行磁盒对驱动块的组装和分解的结构，而且无需对配置在靶的内侧的部件例如实施特殊的防水处理就可进行供电。旋转式阴极单元(Rc)用的驱动块(DB)设置在旋转式阴极单元的靶的X轴线方向前端，并支撑靶，所述旋转式阴极单元具有：配置在真空气氛中的筒状的靶(Tg)；以及插入该靶内的内筒体(35)；所述驱动块具备向设置在内筒体内的部件供电的供电装置，具备中空管(4)，其具有配置在内筒体的轴线方向的延长线上的直线部(62)，供电装置具备机械分离的：与所述部件连接的受电部(811)；以及与电源电路连接的供电部(931)，受电部和供电部以彼此相对的状态配置在内筒体的轴线方向的前端部和直线部的轴线方向的后端部。
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公开(公告)号：CN116057200A
公开(公告)日：2023-05-02
申请号：CN202180058390.6
申请日：2021-06-11
Applicant: 株式会社爱发科
IPC: C23C14/34
Abstract: 本发明提供一种旋转式阴极单元的驱动块，其无需实施防水加工就可对内管内部件进行电力供给。具有绕轴线旋转驱动靶(Tg)的第1驱动装置(92)的旋转式阴极单元(Rc)用驱动块(DB)具有中空管(4)，所述中空管(4)具有从内管(3)向轴线方向延伸的直线部；第1内筒体(5)，其外套在中空管的直线部上，限定与内管内的冷媒循环通道(Fp2)连通的第1通道(Fp3)；第2内筒体(6)，其外套在第1内筒体上，限定与靶和内管之间的冷媒循环通道(Fp1)连通的第2通道(Fp4)；以及外筒体(7)，其经轴承(Br2)外嵌在第2内筒体上，与靶的轴线方向一端连结，传递来自驱动装置的动力；还具有隔绝装置(Sv1～Sv3)，其在内管一端连结中空管的状态下使彼此连通的内管和中空管的内部空间与真空气氛隔绝。
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公开(公告)号：CN116057199A
公开(公告)日：2023-05-02
申请号：CN202180058339.5
申请日：2021-07-15
Applicant: 株式会社爱发科
IPC: C23C14/34
Abstract: 本发明提供一种旋转式阴极单元的驱动块，其不但具有容易进行磁盒对驱动块的组装和分解的结构，而且无需对配置在靶的内侧的部件例如实施特殊的防水处理就可进行供电。旋转式阴极单元(Rc)用的驱动块(DB)设置在旋转式阴极单元的靶的X轴线方向前端，并支撑靶，所述旋转式阴极单元具有：配置在真空气氛中的筒状的靶(Tg)；以及插入该靶内的内筒体(35)；所述驱动块具备向设置在内筒体内的部件供电的供电装置，具备中空管(4)，其具有配置在内筒体的轴线方向的延长线上的直线部(62)，供电装置具备机械分离的：与所述部件连接的受电部(811)；以及与电源电路连接的供电部(931)，受电部和供电部以彼此相对的状态配置在内筒体的轴线方向的前端部和直线部的轴线方向的后端部。
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公开(公告)号：CN110678575A
公开(公告)日：2020-01-10
申请号：CN201880035302.9
申请日：2018-02-19
Applicant: 株式会社爱发科
Abstract: 本发明所解决的技术问题为使水蒸气分压稳定，使透明导电膜的膜质更稳定。一种成膜装置，具有第1真空室、气体供给源、成膜源以及控制装置。在上述第1真空室中，维持减压状态、能够送入送出保持基板的载体。上述气体供给源能够对上述第1真空室供给水蒸气气体。上述成膜源配置在上述第1真空室，能够产生形成在上述基板的透明导电膜的材料。上述控制装置在上述透明导电膜形成在上述基板时，将上述第1真空室的水蒸气分压控制在第1分压以上且比上述第1分压高的第2分压以下的范围。
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