半导体装置制造方法以及半导体装置

    公开(公告)号:CN104716150A

    公开(公告)日:2015-06-17

    申请号:CN201410730271.2

    申请日:2014-12-04

    Abstract: 本发明涉及半导体装置制造方法以及半导体装置,其目的在于减小从分离像素的深沟道中拉出形成的门极所造成的高低不平。本发明的半导体装置制造方法包含以下工序:沟道形成工序,在排列多个光电转换元件的半导体电路板上位于相邻光电转换元件之间的位置上,沿着与该半导体电路板垂直的方向,形成沟道;第一导电体材料层形成工序,在沟道内壁上形成氧化膜后,将第一导电体材料填入该沟道,形成贯穿该沟道和该沟道上部的第一导电体材料层;第一导电体形成工序,去除第一导电体材料层中除被填入沟道的第一导电体部分以外的第一导电体材料层部分,形成第一导电体;以及,上部门极形成工序,在第一导电体上部,通过与该第一导电体导通,形成上部门极。

    半导体装置制造方法以及半导体装置

    公开(公告)号:CN104716150B

    公开(公告)日:2017-12-15

    申请号:CN201410730271.2

    申请日:2014-12-04

    Abstract: 本发明涉及半导体装置制造方法以及半导体装置,其目的在于减小从分离像素的深沟道中拉出形成的门极所造成的高低不平。本发明的半导体装置制造方法包含以下工序:沟道形成工序,在排列多个光电转换元件的半导体电路板上位于相邻光电转换元件之间的位置上,沿着与该半导体电路板垂直的方向,形成沟道;第一导电体材料层形成工序,在沟道内壁上形成氧化膜后,将第一导电体材料填入该沟道,形成贯穿该沟道和该沟道上部的第一导电体材料层;第一导电体形成工序,去除第一导电体材料层中除被填入沟道的第一导电体部分以外的第一导电体材料层部分,形成第一导电体;以及,上部门极形成工序,在第一导电体上部,通过与该第一导电体导通,形成上部门极。

    感测电路及其运行方法和光电转换阵列

    公开(公告)号:CN103281056A

    公开(公告)日:2013-09-04

    申请号:CN201310121289.8

    申请日:2013-01-21

    CPC classification number: H04N5/378 H01L27/144

    Abstract: 一种感测电路包括:包含反向输入部,非反向输入部和输出部的差分放大电路,连接在反向输入部与输出部之间的电容器,以及包含源极、漏极和栅极的场效应晶体管。源极和漏极其中之一连接到反向输入部,并且源极和漏极中的另外一个连接到输出部。对非反向输入部提供参考电势,并且具有增加的开关功能的光电转换单元的输出部连接到反向输入部。当光电转换单元的输出控制电势从关断状态电势变到开通状态电势时,该单元输出电荷或电流。在该单元的输出控制电势变到开通状态电势之前,将使场效应晶体管关断的电势提供给栅极,该光电转换单元的输出控制电势变到开通状态电势,并且因此感测电路开始感测,并且,该单元的输出控制电势变到关断状态电势,并且此后对感测电路的稳定的输出电势进行采样和扫描。可以消除并且因此降低叠加在感测电路输出电势上的开关噪声。

    网表生成方法及电路仿真方法

    公开(公告)号:CN102136014A

    公开(公告)日:2011-07-27

    申请号:CN201110023506.0

    申请日:2011-01-17

    CPC classification number: G06F17/5036

    Abstract: 本发明涉及网表生成方法及电路仿真方法。公开了网表生成方法,基于布局数据生成网表;应力图数据指示硅芯片上的应力分布,应力是由于硅芯片的封装所生成的;并且标准曲线数据指示应力和器件的特性变化之间的关系。该网表生成方法包括如下步骤:从布局数据读取数据项目;从应力图数据中读取器件的位置处的应力的值;从对应于器件的标准曲线数据中读取器件的特性变化,该特性变化对应于应力的值;以及基于特性变化校正器件的特性。

Patent Agency Ranking