半导体装置制造方法以及半导体装置

    公开(公告)号:CN104716150B

    公开(公告)日:2017-12-15

    申请号:CN201410730271.2

    申请日:2014-12-04

    Abstract: 本发明涉及半导体装置制造方法以及半导体装置,其目的在于减小从分离像素的深沟道中拉出形成的门极所造成的高低不平。本发明的半导体装置制造方法包含以下工序:沟道形成工序,在排列多个光电转换元件的半导体电路板上位于相邻光电转换元件之间的位置上,沿着与该半导体电路板垂直的方向,形成沟道;第一导电体材料层形成工序,在沟道内壁上形成氧化膜后,将第一导电体材料填入该沟道,形成贯穿该沟道和该沟道上部的第一导电体材料层;第一导电体形成工序,去除第一导电体材料层中除被填入沟道的第一导电体部分以外的第一导电体材料层部分,形成第一导电体;以及,上部门极形成工序,在第一导电体上部,通过与该第一导电体导通,形成上部门极。

    感测电路及其运行方法和光电转换阵列

    公开(公告)号:CN103281056A

    公开(公告)日:2013-09-04

    申请号:CN201310121289.8

    申请日:2013-01-21

    CPC classification number: H04N5/378 H01L27/144

    Abstract: 一种感测电路包括:包含反向输入部,非反向输入部和输出部的差分放大电路,连接在反向输入部与输出部之间的电容器,以及包含源极、漏极和栅极的场效应晶体管。源极和漏极其中之一连接到反向输入部,并且源极和漏极中的另外一个连接到输出部。对非反向输入部提供参考电势,并且具有增加的开关功能的光电转换单元的输出部连接到反向输入部。当光电转换单元的输出控制电势从关断状态电势变到开通状态电势时,该单元输出电荷或电流。在该单元的输出控制电势变到开通状态电势之前,将使场效应晶体管关断的电势提供给栅极,该光电转换单元的输出控制电势变到开通状态电势,并且因此感测电路开始感测,并且,该单元的输出控制电势变到关断状态电势,并且此后对感测电路的稳定的输出电势进行采样和扫描。可以消除并且因此降低叠加在感测电路输出电势上的开关噪声。

    感测电路及其运行方法和光电转换阵列

    公开(公告)号:CN103281056B

    公开(公告)日:2016-06-01

    申请号:CN201310121289.8

    申请日:2013-01-21

    CPC classification number: H04N5/378 H01L27/144

    Abstract: 一种感测电路包括:包含反向输入部,非反向输入部和输出部的差分放大电路,连接在反向输入部与输出部之间的电容器,以及包含源极、漏极和栅极的场效应晶体管。源极和漏极其中之一连接到反向输入部,并且源极和漏极中的另外一个连接到输出部。对非反向输入部提供参考电势,并且具有增加的开关功能的光电转换单元的输出部连接到反向输入部。当光电转换单元的输出控制电势从关断状态电势变到开通状态电势时,该单元输出电荷或电流。在该单元的输出控制电势变到开通状态电势之前,将使场效应晶体管关断的电势提供给栅极,该光电转换单元的输出控制电势变到开通状态电势,并且因此感测电路开始感测,并且,该单元的输出控制电势变到关断状态电势,并且此后对感测电路的稳定的输出电势进行采样和扫描。可以消除并且因此降低叠加在感测电路输出电势上的开关噪声。

    红外传感器装置
    10.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103308177B

    公开(公告)日:2015-11-25

    申请号:CN201310165407.5

    申请日:2013-03-13

    CPC classification number: G01J5/02 G01J1/4228 G01J1/46 G01J5/0025 G01J5/10

    Abstract: 一种红外传感器装置包括:多个红外传感器,提供在其中红外接收区域在一个平面内被径向划分的多个分割区域中;检测器,基于红外传感器的输出检测每个分割区域的红外接收区域中存在或者不存在物体的移动;和确定器,在红外接收区域的分割区域的队列中,基于在其中检测到物体的移动的分割区域的布置模式,确定该物体是否在距离红外传感器预定距离范围的检测区域中。

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