公开(公告)号：CN118559600A

公开(公告)日：2024-08-30

申请号：CN202410215725.6

申请日：2024-02-27

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 梶田真二 ,  平安名常仁 ,  梶川敬之 ,  上里昌充

IPC: B24B37/10 ,  B24B7/22 ,  B24B37/04 ,  B24B37/34 ,  B24B55/06

Abstract: 本发明提供一种基板处理装置以及基板处理方法。基板处理装置具备：预处理单元，该预处理单元对研磨前的基板的背面进行亲水化处理；以及研磨单元，该研磨单元研磨由预处理单元对背面进行了亲水化处理后的基板的表面。

公开(公告)号：CN300961323D

公开(公告)日：2009-07-15

申请号：CN200830118814.0

申请日：2008-04-25

Applicant: 株式会社荏原制作所

Designer： 野村季和 ,  平安名常仁

Abstract: 俯视图与仰视图对称、左视图逆时针旋转90度与仰视图相同、右视图顺时针旋转90度