公开(公告)号：CN100380599C

公开(公告)日：2008-04-09

申请号：CN03801220.0

申请日：2003-04-09

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 若林聪 ,  户川哲二 ,  小菅隆一 ,  阿藤浩司 ,  外崎宏

IPC: H01L21/304

CPC classification number: B24B37/345 ,  H01L21/67219 ,  H01L21/67745 ,  H01L21/67751 ,  H01L21/67766 ,  H01L21/68707

Abstract: 本发明的抛光装置，配备多个研磨单元(30A～30D)，该研磨单元设置使该研磨单元的顶环(301A～301D)在研磨面上的研磨位置与研磨对象物的交接位置之间移动的移动机构，并设置在包含前述研磨对象物的交接位置在内的多个搬运位置(TP1～TP7)之间将研磨对象物搬运的直动式搬运机构(5，6)，在作为前述研磨对象物的交接位置的前述直动式搬运机构的搬运位置(TP2，TP3，TP6，TP7)上，设置在该直动式搬运机构(5，6)和顶环(301A～301D之间交接研磨对象物的交接机(33，34，37，38)。

公开(公告)号：CN1565049A

公开(公告)日：2005-01-12

申请号：CN03801220.0

申请日：2003-04-09

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 若林聪 ,  户川哲二 ,  小菅隆一 ,  阿藤浩司 ,  外崎宏

IPC: H01L21/304

CPC classification number: B24B37/345 ,  H01L21/67219 ,  H01L21/67745 ,  H01L21/67751 ,  H01L21/67766 ,  H01L21/68707

Abstract: 本发明的抛光装置，配备多个研磨单元(30A～30D)，该研磨单元设置使该研磨单元的顶环(301A～301D)在研磨面上的研磨位置与研磨对象物的交接位置之间移动的移动机构，并设置在包含前述研磨对象物的交接位置在内的多个搬运位置(TP1～TP7)之间将研磨对象物搬运的直动式搬运机构(5，6)，在作为前述研磨对象物的交接位置的前述直动式搬运机构的搬运位置(TP2，TP3，TP6，TP7)上，设置在该直动式搬运机构(5，6)和顶环(301A～301D)之间交接研磨对象物的交接机(33，34，37，38)。

公开(公告)号：CN100501930C

公开(公告)日：2009-06-17

申请号：CN03805564.3

申请日：2003-03-05

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 阿藤浩司 ,  户川哲二

IPC: H01L21/304 ,  F26B5/04 ,  F26B5/08

CPC classification number: H01L21/67034 ,  F26B5/04 ,  F26B25/063 ,  H01L21/02052 ,  H01L21/3105 ,  H01L21/31695

Abstract: 脱水干燥方法脱水和干燥衬底。在不旋转的情况下脱水和干燥衬底(15)同时衬底(15)容纳在用来在用于执行一些处理的装置间承载衬底(15)的载体(10)中。

公开(公告)号：CN1639849A

公开(公告)日：2005-07-13

申请号：CN03805564.3

申请日：2003-03-05

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 阿藤浩司 ,  户川哲二

IPC: H01L21/304 ,  F26B5/04 ,  F26B5/08

CPC classification number: H01L21/67034 ,  F26B5/04 ,  F26B25/063 ,  H01L21/02052 ,  H01L21/3105 ,  H01L21/31695

Abstract: 脱水干燥方法脱水和干燥衬底。在不旋转的情况下脱水和干燥衬底(15)同时衬底(15)容纳在用来在用于执行一些处理的装置间承载衬底(15)的载体(10)中。