利用支撑构件形成麦克风的过程

    公开(公告)号:CN101351401A

    公开(公告)日:2009-01-21

    申请号:CN200680049998.8

    申请日:2006-12-21

    CPC classification number: B81C1/00944 B81B2201/0257 H04R19/005

    Abstract: 一种形成麦克风的方法形成背板,并在湿蚀刻可去除牺牲层的至少一部分上形成柔性膜。该方法添加湿蚀刻抗蚀材料,其中将湿蚀刻抗蚀材料的一部分定位在所述膜和所述背板之间以支撑所述膜。湿蚀刻抗蚀材料中的一些不定位在所述膜和背板之间。该方法然后在把先前提到的添加动作期间添加的任何湿蚀刻抗蚀材料去除之前去除牺牲材料。然后,在去除牺牲材料的至少一部分之后,湿蚀刻抗蚀材料大致全部被去除。

    用于电容式传声器隔膜的支撑设备

    公开(公告)号:CN101371614A

    公开(公告)日:2009-02-18

    申请号:CN200780002789.2

    申请日:2007-01-22

    CPC classification number: H04R19/04 H04R19/005

    Abstract: 一种传声器,该传声器包括由基板支撑的隔膜组件。所述隔膜组件包括至少一个托架、隔膜、以及至少一个弹簧,所述弹簧将所述隔膜联接至所述至少一个托架使得所述隔膜与所述至少一个托架隔开。在所述基板和所述至少一个托架之间的绝缘体(或分离的绝缘体)使所述隔膜和所述基板电绝缘。

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