用于制造半导体激光器的方法

    公开(公告)号:CN101752788B

    公开(公告)日:2012-04-11

    申请号:CN200910254054.X

    申请日:2009-12-15

    CPC classification number: H01S5/34333 B82Y20/00 H01S5/22

    Abstract: 本发明公开了一种用于制造半导体激光器的方法,所述方法包括以下步骤:形成具有与脊形条对应的条形掩模部分的掩模层,所述掩模层将形成在基于氮化物的III-V族化合物半导体层上;利用掩模层将基于氮化物的III-V族化合物半导体层蚀刻至预定深度以形成脊形条;形成抗蚀剂层以覆盖掩模层和基于氮化物的III-V族化合物半导体层;回蚀抗蚀剂层直到暴露掩模层的条形掩模部分为止;通过蚀刻来移除掩模层的暴露的掩模部分以暴露脊形条的上表面;在抗蚀剂层和暴露的脊形条上形成金属膜以在脊形条上形成电极;移除抗蚀剂层连同其上形成的金属膜;以及通过蚀刻来移除掩模层。

    半导体激光器及其制造方法、光拾波器和光盘驱动装置

    公开(公告)号:CN101714745A

    公开(公告)日:2010-05-26

    申请号:CN200910178946.6

    申请日:2009-09-30

    Abstract: 本发明公开了具有端面窗结构的半导体激光器及其制造方法、光拾波器和光盘驱动装置,所述制造方法包括如下步骤:在包括第一区域和周期性平行布置在第一区域之间的第二区域的氮化物基III-V族化合物半导体基板上形成由绝缘膜构成的掩模;以及在未被掩模覆盖的区域中生长氮化物基III-V族化合物半导体层。每两个邻近的第二区域之间的第一区域具有两个以上的关于第一区域的中心线对称的激光器条纹形成位置。至少在端面窗结构的形成位置附近,将所述掩模形成在各个激光器条纹形成位置一侧或两侧,并使所述掩模关于中心线对称。氮化物基III-V族化合物半导体层包括至少含有铟和镓的活性层。本发明能够容易地形成端面窗结构,并能抑制波导损失、光吸收和局部发热。

    半导体激光器及其制造方法

    公开(公告)号:CN101425659A

    公开(公告)日:2009-05-06

    申请号:CN200810135184.7

    申请日:2008-08-13

    Abstract: 本发明公开了半导体激光器及其制造方法、光头、光盘装置、半导体装置及其制造方法及氮化物型III-V族化合物半导体层的生长方法,其中,通过在基板上生长包括含有至少包含In和Ga的氮化物型III-V族化合物半导体的活性层的氮化物型III-V族化合物半导体层来制造具有端面窗结构的半导体激光器。该半导体激光器的制造方法包括步骤:至少在形成端面窗结构的位置附近的基板上形成包括绝缘膜的掩模;以及在基板上没有被掩模覆盖的部分上生长包括活性层的氮化物型III-V族化合物半导体层。通过本发明,可以非常容易地生长至少包含In和Ga并且具有带隙能量在至少一个方向上改变的部分的氮化物型III-V族化合物半导体层。

    半导体激光器及其制造方法、光拾波器和光盘驱动装置

    公开(公告)号:CN101714745B

    公开(公告)日:2012-02-08

    申请号:CN200910178946.6

    申请日:2009-09-30

    Abstract: 本发明公开了具有端面窗结构的半导体激光器及其制造方法、光拾波器和光盘驱动装置,所述制造方法包括如下步骤:在包括第一区域和周期性平行布置在第一区域之间的第二区域的氮化物基III-V族化合物半导体基板上形成由绝缘膜构成的掩模;以及在未被掩模覆盖的区域中生长氮化物基III-V族化合物半导体层。每两个邻近的第二区域之间的第一区域具有两个以上的关于第一区域的中心线对称的激光器条纹形成位置。至少在端面窗结构的形成位置附近,将所述掩模形成在各个激光器条纹形成位置一侧或两侧,并使所述掩模关于中心线对称。氮化物基III-V族化合物半导体层包括至少含有铟和镓的活性层。本发明能够容易地形成端面窗结构,并能抑制波导损失、光吸收和局部发热。

    用于制造半导体激光器的方法

    公开(公告)号:CN101752788A

    公开(公告)日:2010-06-23

    申请号:CN200910254054.X

    申请日:2009-12-15

    CPC classification number: H01S5/34333 B82Y20/00 H01S5/22

    Abstract: 本发明公开了一种用于制造半导体激光器的方法,所述方法包括以下步骤:形成具有与脊形条对应的条形掩模部分的掩模层,所述掩模层将形成在基于氮化物的III-V族化合物半导体层上;利用掩模层将基于氮化物的III-V族化合物半导体层蚀刻至预定深度以形成脊形条;形成抗蚀剂层以覆盖掩模层和基于氮化物的III-V族化合物半导体层;回蚀抗蚀剂层直到暴露掩模层的条形掩模部分为止;通过蚀刻来移除掩模层的暴露的掩模部分以暴露脊形条的上表面;在抗蚀剂层和暴露的脊形条上形成金属膜以在脊形条上形成电极;移除抗蚀剂层连同其上形成的金属膜;以及通过蚀刻来移除掩模层。

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