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公开(公告)号：KR102077123B1
公开(公告)日：2020-02-13
申请号：KR1020180005782
申请日：2018-01-16
Applicant: 국민대학교산학협력단
Inventor： 최성진 , 김동명 , 김대환 , 이용우 , 윤진수 , 최봉식 , 이희성 , 한정민 , 박진희 , 김예민
IPC: H01L29/786 , H01L51/00 , H01L21/02 , H01L29/66
公开(公告)号：KR101978564B1
公开(公告)日：2019-05-15
申请号：KR1020170101273
申请日：2017-08-09
Inventor： 최성진 , 김동명 , 김대환 , 윤진수 , 최봉식 , 전민수 , 이용우 , 한정민 , 이지은 , 김예민 , 박진희
IPC: H01L41/27 , G01L1/00 , B33Y80/00 , C09D183/04
公开(公告)号：KR102015570B1
公开(公告)日：2019-08-28
申请号：KR1020180005784
Inventor： 최성진 , 최봉식 , 윤진수 , 이용우 , 박진희 , 김예민 , 김동명 , 김대환
IPC: H01L29/786 , H01L21/02 , H01L51/00
