고밀도 탄소나노튜브 네트워크 박막 트랜지스터 및 나노메시 공정
    9.
    发明公开
    고밀도 탄소나노튜브 네트워크 박막 트랜지스터 및 나노메시 공정 无效
    高密度碳纳米管网络薄膜晶体管和纳米网格工艺

    公开(公告)号:KR1020170041324A

    公开(公告)日:2017-04-17

    申请号:KR1020150140427

    申请日:2015-10-06

    Abstract: 본발명은고밀도탄소나노튜브네트워크박막트랜지스터및 나노메시공정에관한것이다. 본발명의일 양상인탄소나노튜브박막트랜지스터는, 기판; 상기기판상부에형성되며, 탄소나노튜브네트워크박막으로이루어진채널층; 상기채널층상부에형성되는소오스/드레인전극; 상기소오스/드레인전극상부에형성되는절연층; 및상기절연층상부에형성되는게이트전극을포함하고, 상기탄소나노튜브네트워크박막의적어도일부가구멍이뚫려있는메쉬(mesh) 구조일수 있다.

    Abstract translation: 本发明涉及高密度碳纳米管网络薄膜晶体管和纳米网格工艺。 本发明的一个方面是一种碳纳米管薄膜晶体管,包括:衬底; 形成在所述基板上的沟道层,所述沟道层包括碳纳米管网络薄膜; 形成在沟道层上的源极/漏极电极; 形成在源极/漏极上的绝缘层; 以及形成在绝缘层上的栅电极,碳纳​​米管网络薄膜可以具有网状结构,其中碳纳米管网状薄膜的至少一部分被穿孔。

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