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公开(公告)号:KR102077123B1
公开(公告)日:2020-02-13
申请号:KR1020180005782
申请日:2018-01-16
Applicant: 국민대학교산학협력단
Inventor: 최성진 , 김동명 , 김대환 , 이용우 , 윤진수 , 최봉식 , 이희성 , 한정민 , 박진희 , 김예민
IPC: H01L29/786 , H01L51/00 , H01L21/02 , H01L29/66