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公开(公告)号：KR102055277B1
公开(公告)日：2019-12-12
申请号：KR1020180107091
申请日：2018-09-07
Applicant: 국방과학연구소
IPC: H01F41/084 , H01F41/077 , H01F27/28
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公开(公告)号：KR1020170116819A
公开(公告)日：2017-10-20
申请号：KR1020160044925
申请日：2016-04-12
Applicant: 국방과학연구소
CPC classification number: B81B7/008 , B81B7/0006 , B81B7/0083 , B81B2201/0264 , B81C1/00015 , G01L9/12
Abstract: 본발명은, 온도민감도를최소화하는 MEMS 압력센서및 그제조방법에관한것으로서, 본발명의실시예에따른 MEMS 압력센서는, 압저항기를가지는 MEMS 압력센서에있어서, 비아홀이형성된글래스기판과; 상기글래스기판상에형성된실리콘기판과; 상기실리콘기판에형성된홈에채워진압저항기와; 상기실리콘기판의노출면및 상기압저항기상에형성되는절연막과; 상기절연막상에형성되고, 온도가증가함에따라저항값이감소하는온도보상저항기와; 상기온도보상저항기와상기압저항기를연결하는미세금속배선을포함할수 있다.
Abstract translation: 本发明中，MEMS压力传感器，其根据本发明的实施方式最小化了温度敏感性，并且因为它涉及一种用于制备，在具有MEMS压力传感器的MEMS压力传感器包括压力电阻，通孔的玻璃基板形成，且; 在玻璃基板上形成的硅基板; 一个压敏电阻器，填充在硅衬底中形成的沟槽中; 绝缘层，形成在硅衬底的暴露表面和耐压电阻器上; 温度补偿电阻器形成在绝缘膜上，其电阻值随温度升高而降低; 以及连接温度补偿电阻和上部耐压电阻的精密金属布线。
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公开(公告)号：KR101548239B1
公开(公告)日：2015-08-28
申请号：KR1020140040967
申请日：2014-04-07
Applicant: 국방과학연구소
CPC classification number: G01P15/18
Abstract: 본 발명은 3축 가속도계를 이용한 자전거용 케이던스센서와 속도계에 관한 것으로, 자전거에 구비된 크랭크와, 크랭크에 구비된 크랭크암에 부착된 가속도계모듈을 포함하며, 외부의 왜란(예: 전봇대위의 전압선 및 지중매설 전압선)에 의한 오작동을 원천적으로 막을 수 있어 크랭크 회전수와 자전거 속도의 오차가 최소화되는 효과가 있는 3축 가속도계를 이용한 자전거용 케이던스센서와 속도계를 제공한다.
Abstract translation: 本发明涉及一种使用三轴加速度计的自行车踏频传感器和速度指示器。 本发明包括设置在自行车上的曲柄，安装在设置在曲柄上的曲柄臂上的加速度计模块。 本发明可以从根本上防止由于外部干扰（例如：电杆和地下压力线上的压力线）引起的故障，并且可以最小化曲柄转速和自行车速度的误差。
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公开(公告)号：KR1020080098257A
公开(公告)日：2008-11-07
申请号：KR1020070043709
申请日：2007-05-04
Applicant: 국방과학연구소
IPC: G02B6/12
Abstract: An integrated optical device and method of fabricating a spatial filter is provided to shorten working time by forming groove under the substrate and improve the polarization extinction property of the optical condenser by forming amorphous region and micro-rack on the groove. An integrated optical device includes a substrate, a waveguide formed on the upper side of substrate in the longitudinal direction. A spatial filter formed under the lower-part of substrate. The spatial filter is groove formed under the lower-part of the substrate and amorphous region and micro-rack(701) are formed on partial surface of the groove. A groove is formed in 1/4, 1/2 spot, 3/4 of substrate in the longitudinal direction. The width of groove is the maximum 500um and Depth is the maximum 70% of the substrate thickness.
Abstract translation: 提供了一种集成的光学器件和空间滤光片的制造方法，通过在衬底下形成凹槽来缩短工作时间，并通过在槽上形成非晶区域和微型齿条来提高光学冷凝器的偏振消光性能。 集成光学器件包括基板，在纵向方向上形成在基板的上侧上的波导。 在底部下部形成的空间滤光片。 空间滤波器是形成在基底的下部的凹槽，非晶区域和微型齿条（701）形成在凹槽的部分表面上。 在纵向方向上的1/4，1/2点，3/4基底上形成凹槽。 槽的宽度最大为500um，深度为衬底厚度的最大值的70％。
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公开(公告)号：KR100766413B1
公开(公告)日：2007-10-12
申请号：KR1020060043152
申请日：2006-05-12
Applicant: 국방과학연구소
Abstract: A method for fabricating an integrated optical device is provided to prevent reduction of an electric optical effect by grinding an upper plane of a lithium niobate substrate, and removing a pollution region and a substrate lattice defect. A method for fabricating an integrated optical device includes steps of: forming a mask key(114) on a bottom plane of a substrate; forming a quantum exchange diffusion prevention film on the substrate, and defining a region to be formed as an optical waveguide(106) by using the mask key(114); forming the optical waveguide(106) on the substrate, which is defined by the diffusion prevention film, by quantum exchange; removing the diffusion prevention film; grinding an upper plane of the substrate, and removing a lattice defect generated in the optical waveguide region; and forming an electrode around the optical waveguide(106) of the upper plane of the substrate by using the mask key(114).
Abstract translation: 提供了一种用于制造集成光学器件的方法，用于通过研磨铌酸锂衬底的上平面以及去除污染区域和衬底晶格缺陷来防止电光效应的降低。 一种用于制造集成光学器件的方法包括以下步骤：在衬底的底面上形成掩模键（114）; 在衬底上形成量子交换扩散防止膜，并通过使用掩模键（114）限定要形成为光波导（106）的区域; 通过量子交换在由扩散防止膜限定的基板上形成光波导（106）; 去除扩散防止膜; 研磨衬底的上平面，并去除在光波导区域中产生的晶格缺陷; 以及通过使用掩模键（114）在基板的上平面的光波导（106）周围形成电极。
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Patent Agency Ranking
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公开(公告)号：KR1020130119093A
公开(公告)日：2013-10-31
申请号：KR1020120041983
申请日：2012-04-23
Applicant: 국방과학연구소
CPC classification number: B32B17/06 , B81C2203/031 , C03C17/30 , C03C23/007 , C03C27/00
Abstract: PURPOSE: A method for reducing warpage of an anodically bonded silicone and glass substrate complex is provided to reinforce the glass substrate for the silicone and glass substrate complex to reduce the tension of the sensor structure formed on the silicone substrate of the silicone and glass substrate complex, thereby suppressing an offset voltage. CONSTITUTION: A method for reducing warpage of an anodically bonded silicone and glass substrate complex comprises the following steps. A silicone and glass substrate complex(10) is manufactured by overlapping a silicone substrate(11) and a glass substrate(12) and applying DC voltage on the substrate holder positioned at the upper and lower part of the substrates. The warped state of the silicone and glass substrate complex is determined. The thickness of the glass substrate part is increased by additionally attaching glass substrates(15) for reinforcement on the surface of the glass substrate of the silicone and glass substrate complex. A reinforcing process is performed by an optical contact method or an anodic bonding process.
Abstract translation: 目的：提供一种减少阳极结合的硅氧烷和玻璃基底复合物的翘曲的方法，以加强硅树脂和玻璃基底复合物的玻璃基底，以减少在硅树脂和玻璃基底复合物的硅树脂基底上形成的传感器结构的张力 ，从而抑制偏移电压。 构成：减少阳离子硅酮和玻璃基底复合物翘曲的方法包括以下步骤。 通过将有机硅基板（11）和玻璃基板（12）重叠并在位于基板的上部和下部的基板保持器上施加DC电压来制造硅树脂和玻璃基板复合体（10）。 测定有机硅和玻璃基底复合物的翘曲状态。 通过在硅树脂和玻璃基板复合体的玻璃基板的表面附加附加附着的用于加强的玻璃基板（15）来增加玻璃基板部分的厚度。 通过光学接触方法或阳极接合方法进行增强处理。
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公开(公告)号：KR100900898B1
公开(公告)日：2009-06-03
申请号：KR1020070043709
申请日：2007-05-04
Applicant: 국방과학연구소
IPC: G02B6/12
Abstract: 본 발명은 높은 편광 소광 특성을 지니는 집적 광학 소자 및 이에 사용되는 공간 필터의 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명은 기판의 상면에 길이 방향으로 도파로가 형성되고, 상기 기판의 하면에 그루브가 형성되며, 이 그루브를 이루는 적어도 일부의 표면에 비정질 영역 및 마이크로 크랙이 형성된 것을 특징으로 하는 집적 광학 소자를 제공한다. 또한, 본 발명은 집적 광학 소자 기판의 일 면에 그루브를 형성하는 단계와, 상기 그루브를 이루는 적어도 일부의 표면을 레이저 조사에 의해 비정질화시키고 이 비정질화된 표면에 마이크로 크랙을 형성하는 단계를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 집적 광학 소자용 공간 필터의 제조 방법을 제공한다.
집적 광학 소자, 공간 필터, 비정질화, 마이크로 크랙, 편광 소광-
公开(公告)号：KR1020170055461A
公开(公告)日：2017-05-19
申请号：KR1020170057557
申请日：2017-05-08
Applicant: 국방과학연구소
Abstract: 본발명은반구형공진기박막증착방법및 증착장치에관한것으로, 반구와스템을구비하는반구형공진기; 및상기반구및 스템으로부터이격형성되어상기반구형공진기의내부영역에박막을증착시키는타겟을포함하고, 상기타겟은, 상기반구및 스템과의사이에적어도일부가위치하는것을특징으로하는반구형공진기박막증착장치와이를이용한증착방법이개시된다.
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公开(公告)号：KR1020170034703A
公开(公告)日：2017-03-29
申请号：KR1020150133351
申请日：2015-09-21
Applicant: 국방과학연구소
Abstract: 본발명은반구형공진기박막증착방법및 증착장치에관한것으로, 반구와스템을구비하는반구형공진기; 및상기반구및 스템으로부터이격형성되어상기반구형공진기의내부영역에박막을증착시키는타겟을포함하고, 상기타겟은, 상기반구및 스템과의사이에적어도일부가위치하는것을특징으로하는반구형공진기박막증착장치와이를이용한증착방법이개시된다.
Abstract translation: 本发明涉及一种半球形空腔膜沉积方法和沉积装置，具有半球和杆半球形共振器; 并从半球分开形成和杆包括目标为对半球形腔的内部区域沉积薄膜，所述靶是半球形共振器的膜沉积，其特征在于，至少位于所述半球之间的间隙的部分，并且所述阀杆 公开了一种装置和使用该装置的沉积方法。
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