-
公开(公告)号：KR101663640B1
公开(公告)日：2016-10-07
申请号：KR1020150121952
申请日：2015-08-28
Applicant: 국방과학연구소
IPC: H01L23/00 , H01L23/495 , H01L21/447
Abstract: 본발명은다이본딩용기판및 이를사용한반도체칩의다이본딩방법에관한것이다. 본발명의일 실시예에따른다이본딩용기판은반도체칩(100)과상기반도체칩(100)을고정하는패키지(200)의사이에개재되어, 상기반도체칩(100)의접합면적을조절하기위한다이본딩용기판(300)에있어서, 상기반도체칩(100)의접합면적의중심점을기준으로형성된복수의원주상에배치되는복수개의홀(310)을포함한다. 본발명에따르면, 반도체칩과패키지사이에삽입되는다수의홀을가진다이본딩용기판을사용하여반도체칩에도포되는접착제의확산면적을제어함으로써, 반도체칩과패키지결합체의열팽창계수차이에의해발생하는열응력을저감시킬수 있다.
-
公开(公告)号：KR101297654B1
公开(公告)日：2013-08-21
申请号：KR1020110117266
申请日：2011-11-11
Applicant: 국방과학연구소
IPC: G01H13/00
Abstract: 본 발명은 평행판 전극 타입 공진형 센서의 온도 보상 방법 및 시스템에 관한 것으로, 평행판 전극 타입 공진형 센서의 온도 및 공진 제어루프 시스템은, 분리형 평행판 전극 타입의 액추에이터로 구현한 센서 진동축 구동 전극, 감지 전극 및 입력되는 물리량에 비례하는 공진 주파수 변화량을 출력하는 질량체를 포함하는 공진형 센서; 감지 전극으로부터 출력된 변위신호를 전압신호로 변환하여 출력하는 센서 변위 검출부; 센서 변위 검출부의 출력을 입력받아 공진 신호의 진폭 및 위상을 제어하는 공진 제어부; 온도센서 출력에 비례하는 온도 제어용 DC 전압을 제공하는 온도 제어부; 및 온도 제어부 및 공진 제어부 출력 전압을 인가받아 공진형센서의 센서 진동축 구동 전극으로 인가하는 센서 구동 입력부를 포함하고, 평행판 전극 타입의 액추에이터를 이용하여 공진형 센서의 공진자인 DETF 전기적 강성을 조정하고 이에 따른 공진 주파수 변화로 온도에 따른 공진 주파수 변화를 보상하게 된다.
-
公开(公告)号：KR1020170055461A
公开(公告)日：2017-05-19
申请号：KR1020170057557
申请日：2017-05-08
Applicant: 국방과학연구소
Abstract: 본발명은반구형공진기박막증착방법및 증착장치에관한것으로, 반구와스템을구비하는반구형공진기; 및상기반구및 스템으로부터이격형성되어상기반구형공진기의내부영역에박막을증착시키는타겟을포함하고, 상기타겟은, 상기반구및 스템과의사이에적어도일부가위치하는것을특징으로하는반구형공진기박막증착장치와이를이용한증착방법이개시된다.
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020170034703A
公开(公告)日：2017-03-29
申请号：KR1020150133351
申请日：2015-09-21
Applicant: 국방과학연구소
Abstract: 본발명은반구형공진기박막증착방법및 증착장치에관한것으로, 반구와스템을구비하는반구형공진기; 및상기반구및 스템으로부터이격형성되어상기반구형공진기의내부영역에박막을증착시키는타겟을포함하고, 상기타겟은, 상기반구및 스템과의사이에적어도일부가위치하는것을특징으로하는반구형공진기박막증착장치와이를이용한증착방법이개시된다.
Abstract translation: 本发明涉及一种半球形空腔膜沉积方法和沉积装置，具有半球和杆半球形共振器; 并从半球分开形成和杆包括目标为对半球形腔的内部区域沉积薄膜，所述靶是半球形共振器的膜沉积，其特征在于，至少位于所述半球之间的间隙的部分，并且所述阀杆 公开了一种装置和使用该装置的沉积方法。
-
公开(公告)号：KR1020130052059A
公开(公告)日：2013-05-22
申请号：KR1020110117266
申请日：2011-11-11
Applicant: 국방과학연구소
IPC: G01H13/00
Abstract: PURPOSE: A temperature compensating method and a temperature and resonance control loop system of a parallel plate electrode type resonance sensor are provided to maintain constant amplitude and a resonant frequency by using a single mass structure, ambient electrodes, and a feedback control system. CONSTITUTION: A temperature and resonance control loop system of a parallel plate electrode type resonance sensor(240) comprises a sensor displacement detecting unit(250), a resonance control unit(280), a temperature control unit(270), and a sensor driving input unit(200). The resonance sensor includes a sensor vibrating shaft driving electrode, a sensing electrode, a mass outputting the changed amount of a resonance frequency proportional to the input physical quantity. The sensor displacement detecting unit converts displacement signals output from the sensing electrode into voltage signals. The resonance control unit receives the output of the sensor displacement detecting unit, thereby controlling the amplitude and a phase of the resonance signals. The temperature control unit provides a DC voltage for controlling temperature proportional to the output of the temperature sensor. The sensor driving input unit receives the output voltage of the temperature control unit and the resonance control unit, thereby applying the sensor vibrating shaft driving electrode of the resonance sensor. [Reference numerals] (200) Sensor driving input unit; (210) Driving electrode; (220) Weight; (230) Sensing electrode; (240) Resonance sensor; (250) Sensor displacement detecting unit; (260) Frequency counter; (270) Temperature control unit; (280) Resonance control unit
Abstract translation: 目的：提供平行板电极型谐振传感器的温度补偿方法和温度和谐振控制环路系统，通过使用单个质量结构，环境电极和反馈控制系统来保持恒定幅度和谐振频率。 构成：并联板式谐振传感器（240）的温度和谐振控制回路系统包括传感器位移检测单元（250），谐振控制单元（280），温度控制单元（270）和传感器驱动 输入单元（200）。 谐振传感器包括传感器振动轴驱动电极，感测电极，输出与输入物理量成比例的共振频率的改变量的质量。 传感器位移检测单元将从感测电极输出的位移信号转换为电压信号。 谐振控制单元接收传感器位移检测单元的输出，从而控制谐振信号的振幅和相位。 温度控制单元提供用于控制与温度传感器的输出成比例的温度的直流电压。 传感器驱动输入单元接收温度控制单元和谐振控制单元的输出电压，从而施加谐振传感器的传感器振动轴驱动电极。 （附图标记）（200）传感器驱动输入单元; （210）驱动电极; （220）重量; （230）感应电极; （240）谐振传感器; （250）传感器位移检测单元; （260）频率计数器 （270）温度控制单元; （280）共振控制单元
-
公开(公告)号：KR1020120077545A
公开(公告)日：2012-07-10
申请号：KR1020100139540
申请日：2010-12-30
Applicant: 국방과학연구소
IPC: G01H13/00
CPC classification number: G01H13/00
Abstract: PURPOSE: A method for measuring a resonance type sensor strong to disturbance and a resonance control loop system are provided to stably measure input physical amount because the influence of disturbance is reduce by automatically tracing a resonance point and maintaining constant amplitude. CONSTITUTION: A resonance control loop system comprises a sensor displacement detecting unit(300), a resonance point tracer(400), an amplitude control loop(500), and a sensor driving input unit(100). The sensor displacement detecting unit detects displacement signals by reading a frequency changing amount of a weight body vibrating by an input physical quantity from a detection electrode. The resonance tracer generates phase lock signals based on the changed displacement signals. The amplitude control loop generates amplitude control signals of vibration based on the changed displacement signals. The sensor driving input unit generates a driving voltage for driving the weight body based on the phase lock signals and amplitude control signals.
Abstract translation: 目的：提供一种用于测量强干扰的谐振型传感器和谐振控制回路系统的方法，以稳定地测量输入物理量，因为通过自动跟踪谐振点并保持恒定幅度来减小干扰的影响。 构成：谐振控制回路系统包括传感器位移检测单元（300），谐振点示踪器（400），振幅控制回路（500）和传感器驱动输入单元（100）。 传感器位移检测单元通过从检测电极读入输入物理量振动的体重体的频率变化量来检测位移信号。 谐振示踪器基于改变的位移信号产生锁相信号。 幅度控制环路基于改变的位移信号产生振动的振幅控制信号。 传感器驱动输入单元基于锁相信号和振幅控制信号产生用于驱动配重体的驱动电压。
-
-
-
-
-
-
Search Results
8
records
(took 0.021 seconds)
