公开(公告)号：KR101226518B1

公开(公告)日：2013-01-25

申请号：KR1020117006888

申请日：2009-09-18

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 이쿠타히로유키 ,  에즈라토모히코 ,  가마다토요히로

IPC: C23C14/24 ,  C23C14/54

CPC classification number: C23C14/24 ,  C23C14/12 ,  C23C14/541 ,  C23C14/544 ,  C23C14/56

Abstract: 증착 장치(10)는, 재료 용기(110a)와 캐리어 가스 도입관(110b)을 갖고, 재료 용기(110a)에 수납된 성막 재료를 기화시켜, 캐리어 가스 도입관(110b)으로부터 도입된 제1 캐리어 가스에 의해 성막 재료의 기화 분자를 반송시키는 복수의 증착원 유닛(100)과, 복수의 증착원 유닛(100)에 연결되어, 각 증착원 유닛을 반송한 성막 재료의 기화 분자를 반송시키는 연결관(200)과, 연결관(200)에 연결되어, 제2 캐리어 가스를 연결관(200)에 직접 도입하는 바이패스관(300)과, 연결관(200)에 연결된 취출(吹出) 기구(400)를 내장하여, 제1 및 제2 캐리어 가스를 이용하여 반송시킨 성막 재료의 기화 분자를 취출 기구(400)로부터 취출시켜 내부에서 기판을 성막하는 처리 용기(Ch)를 갖는다.

公开(公告)号：KR1020100002078A

公开(公告)日：2010-01-06

申请号：KR1020090022100

申请日：2009-03-16

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 이쿠타히로유키 ,  스도우켄지 ,  후키아게노리아키 ,  에즈라토모히코 ,  가마다토요히로

IPC: C23C14/24 ,  C23C14/12 ,  H05B33/10 ,  H05B33/14

Abstract: PURPOSE: A deposition source, a film forming apparatus, and a film forming method are provided to manufacture a liquid crystal display and form an organic film. CONSTITUTION: A deposition source comprises a material container(200), a heating member(105), a pressing member(115) and an elastic member. The container contains materials. The heating member heats the material accepted in the material container. The pressing member has a flat board in which a plurality of through-holes are formed. A pressing surface of the flat board presses the material accepted in the material container. The pressing member passes the material particles vaporized with the heating of the upper heating member through the through-holes. The elastic member releases the pressure of the pressing member on the material.

Abstract translation: 目的：提供沉积源，成膜装置和成膜方法来制造液晶显示器并形成有机膜。 构成：沉积源包括材料容器（200），加热构件（105），按压构件（115）和弹性构件。 容器包含材料。 加热构件加热材料容器中接受的材料。 按压构件具有形成有多个通孔的平板。 平板的按压面压迫容纳在材料容器中的材料。 按压构件使通过上述加热构件的加热而蒸发的材料粒子通过贯通孔。 弹性构件释放材料上的按压构件的压力。

公开(公告)号：KR101149450B1

公开(公告)日：2012-05-25

申请号：KR1020090022100

申请日：2009-03-16

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 이쿠타히로유키 ,  스도우켄지 ,  후키아게노리아키 ,  에즈라토모히코 ,  가마다토요히로

IPC: C23C14/24 ,  C23C14/12 ,  H05B33/10 ,  H05B33/14

Abstract: (과제) 재료 용기 내의 재료의 충전 밀도를 높인다.
(해결 수단) 증착원(100)은, 유기 재료(ma)를 수납하는 재료 용기(110)와, 재료 용기(110)에 수납된 유기 재료(ma)를 가열하는 히터(105)와, 복수의 관통공이 형성된 평판(115a)을 갖고, 평판(115a)의 압압면(pressing surface; 115a1)에 의해 재료 용기(110)에 수납된 유기 재료(ma)를 압압하면서, 히터(105)의 가열에 의해 기화한 유기 분자를 복수의 관통공에 통과시키는 압압 부재(115)와, 탄성력을 이용하여 압압 부재(115)에 의한 유기 재료(ma)로의 누름력을 완화하는 벨로우즈(120; bellows)를 구비한다.
증착원, 재료 용기, 관통공, 압압 부재

公开(公告)号：KR1020110047254A

公开(公告)日：2011-05-06

申请号：KR1020117006888

申请日：2009-09-18

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 이쿠타히로유키 ,  에즈라토모히코 ,  가마다토요히로

IPC: C23C14/24 ,  C23C14/54

CPC classification number: C23C14/24 ,  C23C14/12 ,  C23C14/541 ,  C23C14/544 ,  C23C14/56

Abstract: 증착 장치(10)는, 재료 용기(110a)와 캐리어 가스 도입관(110b)을 갖고, 재료 용기(110a)에 수납된 성막 재료를 기화시켜, 캐리어 가스 도입관(110b)으로부터 도입된 제1 캐리어 가스에 의해 성막 재료의 기화 분자를 반송시키는 복수의 증착원 유닛(100)과, 복수의 증착원 유닛(100)에 연결되어, 각 증착원 유닛을 반송한 성막 재료의 기화 분자를 반송시키는 연결관(200)과, 연결관(200)에 연결되어, 제2 캐리어 가스를 연결관(200)에 직접 도입하는 바이패스관(300)과, 연결관(200)에 연결된 취출(吹出) 기구(400)를 내장하여, 제1 및 제2 캐리어 가스를 이용하여 반송시킨 성막 재료의 기화 분자를 취출 기구(400)로부터 취출시켜 내부에서 기판을 성막하는 처리 용기(Ch)를 갖는다.

Abstract translation: 蒸镀装置10具有材料容器110a和运载气体导入管110b，构成为使收容在材料容器110a内的成膜材料蒸发而形成第一载体 多个蒸发源单元（100），用于通过气体输送成膜材料的蒸发分子;多个蒸发源单元（100），连接到蒸发源单元 连接到连接管200并将第二载气直接引入到连接管200的旁路管300和连接到连接管200的吹送机构400， 以及处理腔室Ch，用于吸取通过使用来自取出机构400的第一和第二载气输送的成膜材料的气化分子，并在内部形成膜。