公开(公告)号：KR1020160113013A

公开(公告)日：2016-09-28

申请号：KR1020160031992

申请日：2016-03-17

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 오바라미츠루 ,  이노우에히사시 ,  시오나가게이시 ,  고바야시마사히로 ,  바바노리오 ,  기쿠치히로시

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/60

CPC classification number: F27B5/04 ,  F16B2/02 ,  F27B17/0016 ,  F27B17/0025 ,  F27D3/0084 ,  F27D2003/0012 ,  F27D2003/0046 ,  H01L21/67109 ,  H01L21/67379 ,  H01L21/67389 ,  H01L21/6773 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/67772 ,  H01L21/67775

Abstract: 본발명은 FOUP 등의기판수납용기로부터기판을취출하여기판반송영역에반입할때에필요한기판수납용기를고정하는클램프메커니컬에있어서, 파티클의비산을저감시킬수 있는클램프장치및 이것을이용한기판반입출장치, 및기판처리장치를제공하는것을목적으로한다. 클램프장치(100)는, 기판수납용기(C)의정면에마련된덮개(68)를개폐할때, 상기기판수납용기에상방으로부터접촉하여상기기판수납용기를미리정해진위치에고정가능한클램프부재(81)와, 상기클램프부재를구동시키는구동기구(86, 87)와, 상기구동기구를덮는케이싱(85)과, 상기케이싱과연통하는흡입구(91)를가지고, 상기케이싱의근린에마련된배기실(90)과, 상기배기실내에마련된팬(94)을갖는다.

Abstract translation: 本发明涉及一种夹持装置，使用该装置的基板输入/输出装置和基板处理装置，以便在从基板喷射基板时减少夹紧机械装置中的颗粒的散射以固定基板容纳容器 容纳容器如前开口统一荚（FOUP）并发送到基底承载区域。 本发明的夹紧装置（100）包括：夹紧构件（81），其构造成从上侧接触基板容纳容器（C），并将盖（68）固定到预定位置 ）设置在基板容纳容器（C）的前表面上; 构造成驱动所述夹紧构件的驱动机构（86,87）; 构造成覆盖所述驱动机构的壳体（85）; 排气室（90），设置在所述壳体附近并且包括构造成与所述壳体连通的吸入口（91） 以及设置在排气室内的风扇（94）。

公开(公告)号：KR102053489B1

公开(公告)日：2019-12-06

申请号：KR1020160031992

申请日：2016-03-17

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 오바라미츠루 ,  이노우에히사시 ,  시오나가게이시 ,  고바야시마사히로 ,  바바노리오 ,  기쿠치히로시

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/60