公开(公告)号：KR1020160113013A

公开(公告)日：2016-09-28

申请号：KR1020160031992

申请日：2016-03-17

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 오바라미츠루 ,  이노우에히사시 ,  시오나가게이시 ,  고바야시마사히로 ,  바바노리오 ,  기쿠치히로시

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/60

CPC classification number: F27B5/04 ,  F16B2/02 ,  F27B17/0016 ,  F27B17/0025 ,  F27D3/0084 ,  F27D2003/0012 ,  F27D2003/0046 ,  H01L21/67109 ,  H01L21/67379 ,  H01L21/67389 ,  H01L21/6773 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/67772 ,  H01L21/67775

Abstract: 본발명은 FOUP 등의기판수납용기로부터기판을취출하여기판반송영역에반입할때에필요한기판수납용기를고정하는클램프메커니컬에있어서, 파티클의비산을저감시킬수 있는클램프장치및 이것을이용한기판반입출장치, 및기판처리장치를제공하는것을목적으로한다. 클램프장치(100)는, 기판수납용기(C)의정면에마련된덮개(68)를개폐할때, 상기기판수납용기에상방으로부터접촉하여상기기판수납용기를미리정해진위치에고정가능한클램프부재(81)와, 상기클램프부재를구동시키는구동기구(86, 87)와, 상기구동기구를덮는케이싱(85)과, 상기케이싱과연통하는흡입구(91)를가지고, 상기케이싱의근린에마련된배기실(90)과, 상기배기실내에마련된팬(94)을갖는다.

Abstract translation: 本发明涉及一种夹持装置，使用该装置的基板输入/输出装置和基板处理装置，以便在从基板喷射基板时减少夹紧机械装置中的颗粒的散射以固定基板容纳容器 容纳容器如前开口统一荚（FOUP）并发送到基底承载区域。 本发明的夹紧装置（100）包括：夹紧构件（81），其构造成从上侧接触基板容纳容器（C），并将盖（68）固定到预定位置 ）设置在基板容纳容器（C）的前表面上; 构造成驱动所述夹紧构件的驱动机构（86,87）; 构造成覆盖所述驱动机构的壳体（85）; 排气室（90），设置在所述壳体附近并且包括构造成与所述壳体连通的吸入口（91） 以及设置在排气室内的风扇（94）。

公开(公告)号：KR1020150104047A

公开(公告)日：2015-09-14

申请号：KR1020150029693

申请日：2015-03-03

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 기쿠치히로시 ,  후지이에이키

IPC: H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67379 ,  H01L21/6773 ,  H01L21/67769 ,  H01L21/68707 ,  H01L21/67715

Abstract: [과제] 본 발명은 경량의 반송 기구에 의해, 기판이 수납된 캐리어를 반송할 수 있는 반송 방법을 제공하는 것이다.
[해결수단] 기판 처리 장치 내에서, 기판을 밀폐 수납 가능하며 상부에 플랜지부가 형성된 수납 용기를, 플랜지 삽입부를 갖는 핸드부를 구비한 반송 기구를 이용하여, 제1 수평 방향으로 적어도 2개 이상 나란히 설치되며 각각이 상기 제1 수평 방향에 수직인 제2 수평 방향으로 수평 이동 가능한 배치대로부터, 상기 배치대로부터 상기 제2 수평 방향측으로 이격되어 설치된 반송 장소로 반송하는 반송 방법으로서, 반송 대상인 상기 수납 용기가 배치된 상기 배치대를, 상기 제2 수평 방향의 상기 반송 장소측으로 정해진 거리 이동시키는 제1 공정과, 상기 플랜지 삽입부 내에 상기 플랜지부가 삽입되도록, 상기 핸드부를, 반송 대상인 상기 수납 용기가 배치된 배치측과 이웃하는 상기 배치대측으로부터 상기 제1 수평 방향으로 슬라이드 이동시키는 제2 � �정과, 상기 핸드부를 통해, 상기 수납 용기를 상기 배치대로부터 상기 반송 장소로 반송하는 제3 공정을 포함하는 반송 방법.

Abstract translation: 本发明的目的是提供一种能够通过轻量输送装置输送容纳基板的载体的输送方法。 传送方法将具有凸缘部分的容纳容器在上部传送成能够从安装部分朝向第二水平方向分离的输送位置气密地容纳基板，所述至少两个安装部分安装在 在基板处理装置中，使用包括具有凸缘插入部的手部的输送装置，能够沿着第一水平方向彼此平行地水平移动到垂直于第一水平方向的第二水平方向。 输送方法包括：将作为输送目标的容纳容器布置的布置部分移动到第二水平方向的输送位置至多固定距离的第一处理; 以使凸缘部插入到凸缘插入部中的方式，使从第一水平方向滑动手部到第一水平方向的第二工序;从与布置有作为传送对象的容纳容器的配置部相邻的配置部滑动第二工序; 以及通过手部将配置容器输送到输送场所的第三过程。

公开(公告)号：KR1020150104035A

公开(公告)日：2015-09-14

申请号：KR1020150027559

申请日：2015-02-26

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 기쿠치히로시 ,  와카모리츠토무

IPC: H01L21/22 ,  H01L21/324 ,  H01L21/67

CPC classification number: F27B17/0025 ,  F27D3/0084 ,  F27D2003/0065 ,  F27D2003/0086 ,  H01L21/67757 ,  H01L21/22 ,  H01L21/324 ,  H01L21/67098

Abstract: 열처리로의 노 입구를 덮개부에 의해 막았을 때의 밀폐성이 우수한 종형 열처리 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
하단부에 노 입구를 구비한 열처리로와,
상기 열처리로의 상기 노 입구에 배치되는 덮개부와,
상기 덮개부를 상기 덮개부의 하면측으로부터 캔틸레버 지지하는 덮개부 개폐 기구와,
상기 덮개부를 상기 노 입구에 배치했을 때에 상기 덮개부를 상기 덮개부의 하면측으로부터 압박하는 보조 수단을 가지며,
상기 보조 수단이 토글 기구를 구비하는 종형 열처리 장치를 제공한다.

Abstract translation: 本发明提供一种当热处理炉的入口被盖部覆盖时具有优异的密封性的立式热处理装置。 该立式热处理装置包括：下部具有入口的热处理炉; 所述盖部设置在所述热处理炉的入口上; 盖部分开闭单元，其将盖部从盖部的下侧支撑到悬臂; 以及辅助单元，当所述盖部布置在所述入口上时，所述辅助单元从所述盖部的下部对所述盖部进行加压。 辅助单元包括肘节工具。

公开(公告)号：KR100543272B1

公开(公告)日：2006-08-01

申请号：KR1019970046700

申请日：1997-09-11

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 다카하시키이치 ,  기쿠치히로시

IPC: B65G25/02

Abstract: 종형(縱型) 열처리 시스템은, 반도체 웨이퍼(W) 및 그 운반 용기인 카세트(C)를 반송하기 위한 반송 장치(9)를 갖는다. 반송 장치(9)는, 상하 방향으로 이동 가능하고, 또한 수평면내에서 회전 가능하도록 배치된 베이스(8)를 갖는다. 베이스(8)상에는, 웨이퍼(W)를 탑재한 상태로 반송하기 위한 웨이퍼 아암(25, 26)이 배치된다. 웨이퍼 아암(25, 26)은 베이스(8)상에서 대기 위치와 진출 위치 사이에서 수평으로 왕복 이동할 수 있다. 또, 베이스(8)상에는 카세트(C)를 탑재한 상태로 반송하기 위한 카세트 아암(27)이 배치된다. 카세트 아암(27)은 베이스(8)상에서 후퇴 위치와 돌출 위치 사이에서 수평으로 왕복 이동할 수 있다. 웨이퍼 아암(25, 26)과 카세트 아암(27)은 서로 마주 보고, 또한 서로 역방향으로 진출 및 후퇴를 실행한다. 웨이퍼 아암(25, 26) 및 카세트 아암(27)이 각각 대기 위치 및 후퇴 위치에 있는 상태에서, 카세트 아암(27)의 카세트 유지부(27b)가 웨이퍼 아암(25, 26)의 바로 윗쪽에 존재한다.

公开(公告)号：KR1019980024544A

公开(公告)日：1998-07-06

申请号：KR1019970046700

申请日：1997-09-11

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 다카하시키이치 ,  기쿠치히로시

IPC: B65G25/02

Abstract: 종형(縱型) 열처리 시스템은, 반도체 웨이퍼(W) 및 그 운반 용기인 카세트(C)를 반송하기 위한 반송 장치(9)를 갖는다. 반송 장치(9)는, 상하 방향으로 이동 가능하고, 또한 수평면내에서 회전 가능하도록 배치된 베이스(8)를 갖는다. 베이스(8)상에는, 웨이퍼(W)를 탑재한 상태로 반송하기 위한 웨이퍼 아암(25, 26)이 배치된다. 웨이퍼 아암(25, 26)은 베이스(8)상에서 대기 위치와 진출 위치 사이에서 수평으로 왕복 이동할 수 있다. 또, 베이스(8)상에는 카세트(C)를 탑재한 상태로 반송하기 위한 카세트 아암(27)이 배치된다. 카세트 아암(27)은 베이스(8)상에서 후퇴 위치와 돌출 위치 사이에서 수평으로 왕복 이동할 수 있다. 웨이퍼 아암(25, 26)과 카세트 아암(27)은 서로 마주 보고, 또한 서로 역방향으로 진출 및 후퇴를 실행한다. 웨이퍼 아암(25, 26) 및 카세트 아암(27)이 각각 대기 위치 및 후퇴 위치에 있는 상태에서, 카세트 아암(27)의 카세트 유지부(27b)가 웨이퍼 아암(25, 26)의 바로 윗쪽에 존재한다.

公开(公告)号：KR102053489B1

公开(公告)日：2019-12-06

申请号：KR1020160031992

申请日：2016-03-17

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 오바라미츠루 ,  이노우에히사시 ,  시오나가게이시 ,  고바야시마사히로 ,  바바노리오 ,  기쿠치히로시

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/60

公开(公告)号：KR101883032B1

公开(公告)日：2018-07-27

申请号：KR1020150011180

申请日：2015-01-23

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 기쿠치히로시

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/677 ,  H01L21/324

CPC classification number: H01L21/67109 ,  B65G1/04 ,  H01L21/6773 ,  H01L21/67769 ,  Y10T29/49826

Abstract: 직경 300 ㎜의웨이퍼에대응한기판열 처리장치와같은정도의풋 프린트를유지하면서, 장치내부에직경 450 ㎜의웨이퍼를수납한운반용기라도충분한수량보관할수 있는기판열 처리장치의제공을목적으로한다. 웨이퍼를복수매수납한복수의운반용기를보관하는제1 보관부및 제2 보관부와, 운반용기를반송하는반송기구부를포함하는반송보관유닛과, 다수매의웨이퍼를다단으로유지한유지구를수납하여, 웨이퍼에열 처리를실시하는열 처리로가마련된열 처리유닛을가지고, 반송보관유닛의제1 보관부의하방에는, 운반용기내의웨이퍼를열 처리유닛의유지구에이송하기위해, 운반용기를배치하는이송부의배치대가마련되며, 제2 보관부는반송기구부의하방에이송부에인접하도록배치되고, 제2 보관부에배치된운반용기의높이방향의위치를변화시키는승강기구부를갖는기판열 처리장치를제공한다.

公开(公告)号：KR101924675B1

公开(公告)日：2018-12-03

申请号：KR1020150027559

申请日：2015-02-26

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 기쿠치히로시 ,  와카모리츠토무

IPC: H01L21/22 ,  H01L21/324 ,  H01L21/67

Abstract: 열처리로의 노 입구를 덮개부에 의해 막았을 때의 밀폐성이 우수한 종형 열처리 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
하단부에 노 입구를 구비한 열처리로와,
상기 열처리로의 상기 노 입구에 배치되는 덮개부와,
상기 덮개부를 상기 덮개부의 하면측으로부터 캔틸레버 지지하는 덮개부 개폐 기구와,
상기 덮개부를 상기 노 입구에 배치했을 때에 상기 덮개부를 상기 덮개부의 하면측으로부터 압박하는 보조 수단을 가지며,
상기 보조 수단이 토글 기구를 구비하는 종형 열처리 장치를 제공한다.

公开(公告)号：KR101879021B1

公开(公告)日：2018-07-16

申请号：KR1020150029693

申请日：2015-03-03

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 기쿠치히로시 ,  후지이에이키

IPC: H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67379 ,  H01L21/6773 ,  H01L21/67769 ,  H01L21/68707

Abstract: [과제] 본발명은경량의반송기구에의해, 기판이수납된캐리어를반송할수 있는반송방법을제공하는것이다. [해결수단] 기판처리장치내에서, 기판을밀폐수납가능하며상부에플랜지부가형성된수납용기를, 플랜지삽입부를갖는핸드부를구비한반송기구를이용하여, 제1 수평방향으로적어도 2개이상나란히설치되며각각이상기제1 수평방향에수직인제2 수평방향으로수평이동가능한배치대로부터, 상기배치대로부터상기제2 수평방향측으로이격되어설치된반송장소로반송하는반송방법으로서, 반송대상인상기수납용기가배치된상기배치대를, 상기제2 수평방향의상기반송장소측으로정해진거리이동시키는제1 공정과, 상기플랜지삽입부내에상기플랜지부가삽입되도록, 상기핸드부를, 반송대상인상기수납용기가배치된배치측과이웃하는상기배치대측으로부터상기제1 수평방향으로슬라이드이동시키는제2 공정과, 상기핸드부를통해, 상기수납용기를상기배치대로부터상기반송장소로반송하는제3 공정을포함하는반송방법.

公开(公告)号：KR1020150089924A

公开(公告)日：2015-08-05

申请号：KR1020140193408

申请日：2014-12-30

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 오야마가츠히코 ,  가네코히로후미 ,  기쿠치히로시 ,  바바노리오

IPC: H01L21/324 ,  H01L21/677 ,  H01L21/683 ,  H01L21/02

CPC classification number: H01L21/6773 ,  H01L21/67769 ,  Y10T29/49826

Abstract: 본발명은직경 300 ㎜의웨이퍼에대응한기판열처리장치와같은정도의풋프린트를유지하면서, 장치내부에직경 450 ㎜의웨이퍼를수납한운반용기라도충분한수량보관할수 있는기판열처리장치를제공하는것을목적으로한다. 웨이퍼를복수매 수납한복수의운반용기를보관하는제1 보관부및 제2 보관부와, 운반용기를반송하는반송기구부를포함하는반송보관유닛과, 다수매의웨이퍼를다단으로유지한유지구를수납하고, 웨이퍼에열처리를실시하는열처리로가설치된열처리유닛을가지며, 반송보관유닛의제1 보관부의하방에는, 운반용기내의웨이퍼를열처리유닛의유지구로이송하기위해서, 운반용기를배치하는이송부의배치대가설치되고, 제2 보관부는반송기구부의하방에배치되며, 제2 보관부의운반용기를배치하는면은, 이송부의배치대의운반용기를배치하는면보다낮아지도록배치되어있는기판열처리장치를제공한다.

Abstract translation: 本发明提供一种基板热处理设备，其能够在设备中存储足够数量的容纳直径为450mm的晶片的运输容器，同时保持与对应于基板热处理设备的基板热处理设备相同的占地面积 晶片直径为300mm。 根据本发明，基板热处理装置包括：重新转移存储单元，包括用于存储容纳多个晶片的多个转移容器的第一和第二存储单元，以及重新传送转移容器的再传输装置单元; 以及热处理单元，用于容纳将多个晶片保持在多级中的保持构件，并且其中安装有热处理炉，对所述晶片进行热处理。 将配置转移容器的转移单元的放置台安装在再转储存单元的第一存储单元的下面，以将转移容器中的晶片转移到热处理单元的保持构件。 此外，第二存储单元设置在再转印器件单元下方，并且设置第二存储单元的转印容器的表面设置在低于设置转印单元的放置台的转印容器的表面 。