公开(公告)号：KR1020140142152A

公开(公告)日：2014-12-11

申请号：KR1020140063599

申请日：2014-05-27

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 사다테츠야 ,  니시야마준 ,  곤타유 ,  오시마기요미 ,  사이토히로미 ,  다케이슈이치

IPC: G01N21/88 ,  G01N21/35 ,  H05B33/10

CPC classification number: G01N21/8806 ,  G01N21/8903 ,  G01N21/9501

Abstract: 본 발명은 유기 발광 다이오드에 있어서 기판 상에 적층하여 형성되는 각 유기층의 결함을 적절하게 검사하는 것을 목적으로 한다.
결함 검사 장치(165)는, 유리 기판(G) 상의 유기층에 대하여, 파장이 0.7 ㎛∼2.5 ㎛인 근적외광을 조사하는 조명부(220)와, 조명부(220)로부터 근적외광이 조사된 상기 유기층을 촬상하는 촬상부(230)와, 내부에 조명부(220)와 촬상부(230)를 수용하고, 상기 유기층의 검사를 행하기 위한 처리 용기(200)를 갖는다. 처리 용기(200)의 내부는, 대기보다 산소 농도가 낮고, 또한 대기보다 노점 온도가 낮은 분위기로 유지되어 있다.

Abstract translation: 本发明涉及适当检查在有机发光二极管中形成为层叠在基板上的各有机层的缺陷。 缺陷检查装置（165）包括利用波长为0.7〜2.5mm的近红外光照射玻璃基板（G）上的有机层的照明单元（220） 对来自照明单元（220）的近红外光照射的有机层进行成像的成像单元（230）; 以及容纳照明单元（220）和成像单元（230）的处理容器（200），并检查有机层。 在处理容器（200）中，氧浓度低于大气，露点温度低于大气。