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    결함 검사 장치 및 결함 검사 방법
    3.
    发明公开
    결함 검사 장치 및 결함 검사 방법 审中-实审
    缺陷检查装置和缺陷检查方法

    公开(公告)号：KR1020140142152A

    公开(公告)日：2014-12-11

    申请号：KR1020140063599

    申请日：2014-05-27

    Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

    Inventor： 사다테츠야 ,  니시야마준 ,  곤타유 ,  오시마기요미 ,  사이토히로미 ,  다케이슈이치

    IPC: G01N21/88 ,  G01N21/35 ,  H05B33/10

    CPC classification number: G01N21/8806 ,  G01N21/8903 ,  G01N21/9501

    Abstract: 본 발명은 유기 발광 다이오드에 있어서 기판 상에 적층하여 형성되는 각 유기층의 결함을 적절하게 검사하는 것을 목적으로 한다.
    결함 검사 장치(165)는, 유리 기판(G) 상의 유기층에 대하여, 파장이 0.7 ㎛∼2.5 ㎛인 근적외광을 조사하는 조명부(220)와, 조명부(220)로부터 근적외광이 조사된 상기 유기층을 촬상하는 촬상부(230)와, 내부에 조명부(220)와 촬상부(230)를 수용하고, 상기 유기층의 검사를 행하기 위한 처리 용기(200)를 갖는다. 처리 용기(200)의 내부는, 대기보다 산소 농도가 낮고, 또한 대기보다 노점 온도가 낮은 분위기로 유지되어 있다.

    Abstract translation: 本发明涉及适当检查在有机发光二极管中形成为层叠在基板上的各有机层的缺陷。 缺陷检查装置（165）包括利用波长为0.7〜2.5mm的近红外光照射玻璃基板（G）上的有机层的照明单元（220） 对来自照明单元（220）的近红外光照射的有机层进行成像的成像单元（230）; 以及容纳照明单元（220）和成像单元（230）的处理容器（200），并检查有机层。 在处理容器（200）中，氧浓度低于大气，露点温度低于大气。

    기판 가열 장치
    6.
    发明授权
    기판 가열 장치 有权
    基板加热装置

    公开(公告)号：KR101838793B1

    公开(公告)日：2018-03-14

    申请号：KR1020160038454

    申请日：2016-03-30

    Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

    Inventor： 아마다신야 ,  오시마기요미 ,  시마무라아키노리 ,  하야시데루유키 ,  오이카와준지

    IPC: H01L51/56 ,  H01L51/00 ,  H01L21/67

    Abstract: [과제] 각기판을안정적으로균일하게가열할수 있는기판가열장치를제공한다. [해결수단] 기판가열장치(10)는, 내부에가열가스가존재하는수용실(11)과, 유리기판(G)을가열하는복수의가열유닛(12)을구비하고, 복수의가열유닛(12)은수용실(11)의내부에있어서서로평행하고또한이격되며, 그리고상하방향에관해서중첩되도록배치되며, 각가열유닛(12)은, 유리기판(G)을수용하는가열실(18)과, 당해가열실(18)의내부에가열된가스를도입하는유닛팬(19)을갖는다.

    Abstract translation: 发明内容本发明提供一种能够稳定且均匀地加热各基板的基板加热装置。 基板加热装置（10）包括存在加热气体的容纳室（11）和用于加热玻璃基板（G）的多个加热单元（12） 12在收纳室11的内部彼此平行且隔开地配置，在上下方向上重叠，各加热部12具有收纳玻璃基板G的加热室18， 以及用于将加热后的气体导入加热室18的单元风扇19。

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