公开(公告)号：KR1020140142152A

公开(公告)日：2014-12-11

申请号：KR1020140063599

申请日：2014-05-27

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 사다테츠야 ,  니시야마준 ,  곤타유 ,  오시마기요미 ,  사이토히로미 ,  다케이슈이치

IPC: G01N21/88 ,  G01N21/35 ,  H05B33/10

CPC classification number: G01N21/8806 ,  G01N21/8903 ,  G01N21/9501

Abstract: 본 발명은 유기 발광 다이오드에 있어서 기판 상에 적층하여 형성되는 각 유기층의 결함을 적절하게 검사하는 것을 목적으로 한다.
결함 검사 장치(165)는, 유리 기판(G) 상의 유기층에 대하여, 파장이 0.7 ㎛∼2.5 ㎛인 근적외광을 조사하는 조명부(220)와, 조명부(220)로부터 근적외광이 조사된 상기 유기층을 촬상하는 촬상부(230)와, 내부에 조명부(220)와 촬상부(230)를 수용하고, 상기 유기층의 검사를 행하기 위한 처리 용기(200)를 갖는다. 처리 용기(200)의 내부는, 대기보다 산소 농도가 낮고, 또한 대기보다 노점 온도가 낮은 분위기로 유지되어 있다.

Abstract translation: 本发明涉及适当检查在有机发光二极管中形成为层叠在基板上的各有机层的缺陷。 缺陷检查装置（165）包括利用波长为0.7〜2.5mm的近红外光照射玻璃基板（G）上的有机层的照明单元（220） 对来自照明单元（220）的近红外光照射的有机层进行成像的成像单元（230）; 以及容纳照明单元（220）和成像单元（230）的处理容器（200），并检查有机层。 在处理容器（200）中，氧浓度低于大气，露点温度低于大气。

公开(公告)号：KR1020140113399A

公开(公告)日：2014-09-24

申请号：KR1020140028390

申请日：2014-03-11

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 시마무라아키노리 ,  하야시테루유키 ,  콘타유 ,  사다테츠야 ,  니시야마준 ,  사이토히로미 ,  오타츠카사 ,  타나베세이이치

IPC: H01L51/56 ,  H01L51/00 ,  B05D3/04

CPC classification number: H01L51/56 ,  B05D3/0493 ,  H01L51/0003 ,  H01L51/0026

Abstract: Provided are a drying apparatus and a drying method, capable of efficiently removing solvents from an organic material layer coated on a substrate for a short time and performing a uniform dry process on the surface of the substrate. The drying apparatus (100) includes a processing container (1) for vacuum exhaust, a holding stand (3) which is a support member to support the substrate (S) in the processing container (1), a gas spraying device (5) which sprays gas to the organic material layer on the substrate (S) supported by the holding stand (3), and a control unit (6). In addition, the drying apparatus (100) includes pressure controlling apparatus for controlling the pressure in the processing container (1). Also, a plurality of nozzles (51) independently controls the spray amount of the gas and the type of the gas.

Abstract translation: 提供一种干燥装置和干燥方法，能够在短时间内有效地除去涂布在基板上的有机材料层中的溶剂，并在基板表面上进行均匀的干法处理。 干燥装置（100）包括用于真空排气的处理容器（1），作为将处理容器（1）中的基板（S）支撑的支撑构件的保持架（3），气体喷射装置（5） 其将气体喷射到由保持架（3）支撑的基板（S）上的有机材料层和控制单元（6）。 此外，干燥装置（100）包括用于控制处理容器（1）中的压力的​​压力控制装置。 此外，多个喷嘴（51）独立地控制气体的喷射量和气体的类型。

公开(公告)号：KR101994874B1

公开(公告)日：2019-07-01

申请号：KR1020140028389

申请日：2014-03-11

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 시마무라아키노리 ,  하야시테루유키 ,  콘타유 ,  사다테츠야 ,  니시야마준 ,  사이토히로미 ,  오타츠카사 ,  타나베세이이치

IPC: H01L51/56 ,  H01L51/00 ,  H01L21/67

公开(公告)号：KR1020170042470A

公开(公告)日：2017-04-19

申请号：KR1020160124004

申请日：2016-09-27

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 사다데츠야 ,  사타케준 ,  우에다도시히코 ,  니시야마준

IPC: H01L51/56 ,  H01L51/00 ,  H01L21/66

Abstract: 본발명은기판에서유기재료가도포된도포영역의건조상태를조기에검출할수 있는검사장치, 감압건조장치및 감압건조장치의제어방법을제공하는것을목적으로한다. 실시형태의일양태에따른검사장치는, 촬상부와, 건조상태검출부를구비한다. 촬상부는, 기판에서유기재료가도포된도포영역을촬상한다. 건조상태검출부는, 촬상부에의해촬상된도포영역의색농도에기초하여도포영역의건조상태를검출한다.

Abstract translation: 本发明的一个目的是提供一种用于该测试装置，减压干燥装置提供的控制方法，并减压装置，可检测与在早期阶段施加在基板上的有机材料涂敷的区域的干燥状态进行干燥。 根据实施例的一个方面的检查设备包括图像拾取部分和干燥状态检测部分。 图像拾取部分在基板上拾取涂覆有有机材料的涂覆区域。 干燥状态检测单元基于由图像拾取单元捕获的涂覆区域的颜色密度来检测涂覆区域的干燥状态。

公开(公告)号：KR101754260B1

公开(公告)日：2017-07-06

申请号：KR1020140028390

申请日：2014-03-11

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 시마무라아키노리 ,  하야시테루유키 ,  콘타유 ,  사다테츠야 ,  니시야마준 ,  사이토히로미 ,  오타츠카사 ,  타나베세이이치

IPC: H01L51/56 ,  H01L51/00 ,  B05D3/04

Abstract: 기판상에도포된유기재료막중의용매를효율좋게, 단시간에제거할수 있고, 또한기판의면내에서균일한건조처리가가능한건조장치및 건조처리방법을제공한다. 건조장치(100)는진공배기가능한처리용기(1)와, 처리용기(1) 내에서기판(S)을지지하는지지부재로서의재치대(3)와, 재치대(3)에지지되는기판(S) 상의유기재료막을향해가스를분사하는가스분사장치(5)와, 제어부(6)를구비하고있다. 또한건조장치(100)는, 처리용기(1) 내의압력을조절하는압력제어기구를구비하고있다. 복수의노즐(51)은가스의분사유량, 가스의종류를, 노즐(51)마다독립하여조절할수 있도록구성되어있다.

Abstract translation: 本发明提供一种干燥装置和干燥方法，其能够在短时间内有效地除去涂布在基板上的有机材料膜中的溶剂，并且能够在基板的平面内进行均匀的干燥处理。 干燥装置100具有：能够进行真空排气的处理容器1;作为用于将基板S支承在处理容器1内的支承部件的载置台3;基板（未图示） 用于向基板S上的有机材料膜注入气体的气体注入装置5以及控制部6。 此外，干燥装置100具备用于控制处理容器1内的压力的压力控制机构。 多个喷嘴51构成为能够针对各喷嘴51独立地调整气体的流量和气体的种类。

公开(公告)号：KR1020140113398A

公开(公告)日：2014-09-24

申请号：KR1020140028389

申请日：2014-03-11

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 시마무라아키노리 ,  하야시테루유키 ,  콘타유 ,  사다테츠야 ,  니시야마준 ,  사이토히로미 ,  오타츠카사 ,  타나베세이이치

IPC: H01L51/56 ,  H01L51/00 ,  H01L21/67

CPC classification number: H01L51/56 ,  H01L21/67098 ,  H01L51/0003 ,  H01L51/0026

Abstract: Provided is a drying apparatus capable of removing solvent from an organic material film coated on a substrate with good efficiency, in a short period of time, and while refreshing a member used for capturing the solvent. The drying apparatus (100) includes a processing receptacle (1) able to perform evacuation, a placing bed (3) for supporting a substrate (S) in the processing receptacle (1) as a supporting member, and a solvent capturing unit (5) installed to face the substrate (S) supported by the placing bed (3) for capturing volatile solvent from the organic material film. In addition, the solvent capturing unit (5) includes a temperature control device (7) which serves as a solvent release device for releasing the captured solvent. The solvent capturing unit (5) includes at least one sheet of a capturing plate (50) facing the substrate (S) placed on the placing bed (3) to be disposed in parallel to a surface of the substrate (S). The solvent capturing unit (5) has multiple through-holes (50a) formed therein.

Abstract translation: 提供一种干燥装置，其能够在短时间内以高效率的方式从涂布在基板上的有机材料膜除去溶剂，同时刷新用于捕获溶剂的部件。 干燥装置（100）包括能够进行排气的处理容器（1），用于将作为支撑部件的处理容器（1）中的基板（S）支撑的放置台（3）和溶剂捕捉部 ）安装成面对由放置床（3）支撑的用于从有机材料膜捕获挥发性溶剂的基板（S）。 此外，溶剂捕获单元（5）包括用作释放捕获的溶剂的溶剂释放装置的温度控制装置（7）。 溶剂捕获单元（5）包括至少一个面对放置在放置床（3）上以与基底（S）的表面平行设置的基底（S）的捕获板（50）的片材。 溶剂捕捉单元（5）具有形成在其中的多个通孔（50a）。