公开(公告)号：KR1020180000685A

公开(公告)日：2018-01-03

申请号：KR1020170077730

申请日：2017-06-20

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 나가시마노조무 ,  오쿠니시나오히코 ,  기쿠치에이치로

IPC: H01J37/32 ,  H03H7/38

CPC classification number: H03H7/0115 ,  G06F17/5063

Abstract: 본발명은필터를설계하는방법을제공한다. 일실시형태의방법에서는, 축방향에따라서서로동일한복수의피치를제공하는권선을갖는기준코일, 및상기기준코일과병렬접속된콘덴서를갖는분포정수형의기준필터의공진주파수와차단해야할 고주파와의사이의차이가큰 경우에, 상기차이를감소시키기위해서기준코일을직렬접속된제 1 코일요소와제 2 코일요소로분할하는상기기준코일중의분할위치, 및제 1 코일요소와제 2 코일요소와의사이의분할거리가결정된다.

Abstract translation: 本发明提供了一种设计滤波器的方法。 在该方法的一个实施例中，轴基于具有绕组提供多个间距彼此根据线圈的方向的，与高频之间做从分布式整数的具有基准线圈和并联连接的电容器中的参考滤波器的谐振频率分离 为了减小该差异，将参考线圈中的划分位置划分为串联连接的第一线圈元件和第二线圈元件以及参考线圈中的第一线圈元件和第二线圈元件之间的划分位置 划分的距离确定。

公开(公告)号：KR1020150024303A

公开(公告)日：2015-03-06

申请号：KR1020147029205

申请日：2013-06-12

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 나가시마노조무 ,  오쿠니시나오히코 ,  오오하시가오루 ,  후지야마다이스케

IPC: H01L21/3065 ,  H01L21/02 ,  H05H1/46 ,  H01J37/32

CPC classification number: H01J37/32091 ,  H01J37/32174 ,  H05H2001/4682 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/02252 ,  H05H1/46

Abstract: 본 발명은 처리 용기 내의 고주파 전극 외의 전기적 부재로부터 급전 라인이나 신호선 등의 선로 상에 들어오는 유해한 고주파 노이즈에 대하여, 충분히 큰 임피던스를 간편하고 안정적으로 부여하여, 플라즈마 프로세스의 재현성·신뢰성을 향상시키는 것을 과제로 한다.
이 필터 유닛[54(IN)]에 있어서는, 코일[104(1), 104(2)]의 내측을 유동 가능하게 관통하는 봉체(114)와, 코일[104(1), 104(2)]의 하단부에 결합 또는 걸어 맞춘 채로 코일축 방향으로 미끄럼 이동 가능하게 봉체(114)에 부착되는 코일 수취 부재(126)와, 상기 이송 나사 기구(132)에 의해, 코일[104(1), 104(2)]의 길이(s) 또는 권선 간격(d)을 조정하기 위한 코일 길이 조정부(134)가 구성되어 있다.

公开(公告)号：KR102070471B1

公开(公告)日：2020-01-29

申请号：KR1020147029205

申请日：2013-06-12

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 나가시마노조무 ,  오쿠니시나오히코 ,  오오하시가오루 ,  후지야마다이스케

IPC: H01L21/3065 ,  H01L21/02 ,  H05H1/46 ,  H01J37/32

公开(公告)号：KR1020150106366A

公开(公告)日：2015-09-21

申请号：KR1020150033098

申请日：2015-03-10

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 오쿠니시나오히코 ,  나가시마노조무

IPC: H01L21/02 ,  H05H1/46

CPC classification number: H01J37/32284 ,  H01J37/32082 ,  H01J37/32155 ,  H01J37/32174 ,  H01J37/32192 ,  H01J37/32256 ,  H01L21/67069 ,  H01L21/67248 ,  H01L21/6831 ,  H01R13/719 ,  H03H1/0007 ,  H01L21/0234 ,  H01L21/02252 ,  H05H1/46

Abstract: 처리 용기 내의 고주파 전극 이외의 전기적 부재로부터 급전 라인 또는 신호선 등의 선로 상으로 들어오는 고주파의 노이즈를 분포 정수 선로의 다중 병렬 공진 특성을 이용하여 차단하는 경우에, 고주파 노이즈에 대한 임피던스 기능 또는 내전압 특성을 저하시키지 않고, 공진 주파수를 임의로 시프트하여 조정 또는 최적화하는 것이다. 이 필터 유닛에서는, 양 공심 코일(104(1), 104(2)) 각 권선 갭에 빗살 부재(114)의 빗살(M)이 삽입되어 있다. 예를 들면, 코일 중앙부의 유효 구간(A) 내에는 표준의 두께(ms)보다 작은 두께(m-)를 가지는 제 1 빗살(M-)이 주로 배치되고, 그 양측 내지 양 단부의 비유효 구간(B) 내에는 표준의 두께(ms)와 동일하거나 또는 그보다 큰 두께(m+)를 가지는 제 2 빗살(M+)이 배치된다.

Abstract translation: 当通过使用分布式的多个并联谐振特性阻止来自处理室内的高频电极之外的电气部件到诸如馈线或信号线等的线路的高频噪声， 恒定线路，通过任意地移动谐振频率来调节或优化谐振频率，而不降低相对于高频噪声的电阻电阻特性或阻抗函数。 在过滤器单元中，将梳齿构件（114）的组合件（M）插入每个空心线圈（104（1），104（2））的每个绕组间隙中。 例如，厚度（m-）小于标准厚度（ms）的第一组合（M-）主要设置在线圈中心的有效部分（A）的内部，并且具有第二组合（M +），其具有 大于或等于标准厚度（ms）的厚度（m +）设置在两端的无效部分（B）的两侧。