公开(公告)号：KR102070471B1

公开(公告)日：2020-01-29

申请号：KR1020147029205

申请日：2013-06-12

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 나가시마노조무 ,  오쿠니시나오히코 ,  오오하시가오루 ,  후지야마다이스케

IPC: H01L21/3065 ,  H01L21/02 ,  H05H1/46 ,  H01J37/32

公开(公告)号：KR1020150024303A

公开(公告)日：2015-03-06

申请号：KR1020147029205

申请日：2013-06-12

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 나가시마노조무 ,  오쿠니시나오히코 ,  오오하시가오루 ,  후지야마다이스케

IPC: H01L21/3065 ,  H01L21/02 ,  H05H1/46 ,  H01J37/32

CPC classification number: H01J37/32091 ,  H01J37/32174 ,  H05H2001/4682 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/02252 ,  H05H1/46

Abstract: 본 발명은 처리 용기 내의 고주파 전극 외의 전기적 부재로부터 급전 라인이나 신호선 등의 선로 상에 들어오는 유해한 고주파 노이즈에 대하여, 충분히 큰 임피던스를 간편하고 안정적으로 부여하여, 플라즈마 프로세스의 재현성·신뢰성을 향상시키는 것을 과제로 한다.
이 필터 유닛[54(IN)]에 있어서는, 코일[104(1), 104(2)]의 내측을 유동 가능하게 관통하는 봉체(114)와, 코일[104(1), 104(2)]의 하단부에 결합 또는 걸어 맞춘 채로 코일축 방향으로 미끄럼 이동 가능하게 봉체(114)에 부착되는 코일 수취 부재(126)와, 상기 이송 나사 기구(132)에 의해, 코일[104(1), 104(2)]의 길이(s) 또는 권선 간격(d)을 조정하기 위한 코일 길이 조정부(134)가 구성되어 있다.