公开(公告)号：KR1020150030654A

公开(公告)日：2015-03-20

申请号：KR1020147034335

申请日：2013-05-30

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 이와사키켄야 ,  후사노히로아키 ,  히로오카다카아키 ,  나가오다케시 ,  나카야마히로유키

IPC: G03F7/00

CPC classification number: B29C59/16 ,  B29C35/0888 ,  B29C59/002 ,  B29C2035/0827 ,  B29L2031/772 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G03F7/0002

Abstract: 판형의 템플릿 본체부와, 상기 템플릿 본체부의 표면에 형성된 미리 정해진 형상의 패턴부를 갖는 템플릿과, 상기 템플릿을 유지하는 템플릿 유지 기구와, 광 경화성 수지로 이루어지는 수지층이 형성된 기판을, 상기 템플릿의 상기 패턴부와 상기 수지층이 접촉한 상태로 유지할 수 있는 기판 유지 기구와, 상기 광 경화성 수지를 경화시키는 파장 영역의 광을 조사하기 위한 광 조사 기구를 구비한 인프린트 장치로서, 상기 템플릿은, 상기 템플릿 본체부의 측면으로부터 상기 광이 입사될 수 있고, 상기 광 조사 기구는, 상기 광을, 상기 템플릿 본체부의 측면으로부터 입사시키고 상기 템플릿 본체부를 투과시켜 상기 수지층에 조사한다.