公开(公告)号：KR101751200B1

公开(公告)日：2017-06-26

申请号：KR1020170054842

申请日：2017-04-28

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 이케다타로오 ,  고마츠도모히토 ,  가사이시게루 ,  미야시타히로유키 ,  오사다유키 ,  다니하라아키라 ,  후지노유타카

IPC: H05H1/34 ,  H05H1/46 ,  H01L21/31

CPC classification number: H01J37/3222 ,  H01J37/32201

Abstract: 마이크로파의파워손실이나이상방전을억제하면서균일한플라즈마를형성할수 있는마이크로파방사안테나, 마이크로파플라즈마원및 플라즈마처리장치를제공한다. 마이크로파전송로를따라전송된마이크로파를챔버내에방사하고, 표면파플라즈마를생성하기위한마이크로파방사안테나(45)로서, 도전체로이루어지는안테나본체(121)와, 안테나본체(121)에각각형성된처리가스도입구(124), 가스확산공간(123) 및복수의가스토출구멍(125)과, 안테나본체(121)에가스확산공간(123) 및가스토출구멍(125)과는분리된상태에서, 마이크로파전송로에대응해서복수형성된슬롯(122)과, 안테나본체(121)의마이크로파방사면측에슬롯형성영역을포함하도록환형상으로설치된환형상유전체부재(126)를갖는다.

Abstract translation: 它提供了一个微波功率损耗和微波炉辐射天线，同时抑制异常放电，可以形成均匀的等离子体，微波等离子体源和等离子体处理装置。 辐射沿腔室中的微波传输传输的微波，和一个微波辐射天线45用于产生表面波等离子体，分别形成在由导体制成，天线主体121，入口的天线主体121的工艺气体 124，气体扩散空间123和被分离，以及多个气体喷出孔125和气体扩散空间中的天线主体121，123和气体排出口125，一个微波传输 它具有安装成环形形状，以包括槽形成所述多个狭槽形成122和天线单元121对应于的微波辐射表面侧区域的环形介电元件（126）。

公开(公告)号：KR1020170051400A

公开(公告)日：2017-05-11

申请号：KR1020170054842

申请日：2017-04-28

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 이케다타로오 ,  고마츠도모히토 ,  가사이시게루 ,  미야시타히로유키 ,  오사다유키 ,  다니하라아키라 ,  후지노유타카

IPC: H05H1/34 ,  H05H1/46 ,  H01L21/31

CPC classification number: H01J37/3222 ,  H01J37/32201

Abstract: 마이크로파의파워손실이나이상방전을억제하면서균일한플라즈마를형성할수 있는마이크로파방사안테나, 마이크로파플라즈마원및 플라즈마처리장치를제공한다. 마이크로파전송로를따라전송된마이크로파를챔버내에방사하고, 표면파플라즈마를생성하기위한마이크로파방사안테나(45)로서, 도전체로이루어지는안테나본체(121)와, 안테나본체(121)에각각형성된처리가스도입구(124), 가스확산공간(123) 및복수의가스토출구멍(125)과, 안테나본체(121)에가스확산공간(123) 및가스토출구멍(125)과는분리된상태에서, 마이크로파전송로에대응해서복수형성된슬롯(122)과, 안테나본체(121)의마이크로파방사면측에슬롯형성영역을포함하도록환형상으로설치된환형상유전체부재(126)를갖는다.