公开(公告)号：KR102011538B1

公开(公告)日：2019-08-16

申请号：KR1020147022062

申请日：2013-01-17

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 이나마스도시후미 ,  오가사와라유키오 ,  다시로게이

IPC: H01L21/027 ,  B05C5/02 ,  B05C11/10

公开(公告)号：KR101723243B1

公开(公告)日：2017-04-04

申请号：KR1020110076885

申请日：2011-08-02

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 다시로게이

IPC: B05C5/00 ,  B05C11/10 ,  G02F1/13

Abstract: 노즐의프라이밍처리에있어서, 롤러에의한약액의권취거리및 권취량을적게하여, 롤러의세정도용이하게하는방법을제공하는것이다. 프라이밍롤러(23)의길이방향의바로위를따라서, 노즐(10)의슬릿형상토출구를대치시킨상태에있어서, 상기노즐로부터상기롤러에약액(R)을토출시켜서, 상기노즐과롤러의갭간에약액이개재되는착액스텝이실행된다. 이후에, 상기프라이밍롤러(23) 위에토출된약액(R)을일시적으로노즐측에흡인하는색 백스텝이실행된다. 상기색 백스텝의실행에의해, 롤러에의한약액의권취거리를단축할수 있으므로, 1개의롤러에있어서프라이밍처리에이용할수 있는횟수를증대시킬수 있다.

Abstract translation: 本发明提供了一种方法，用于在喷嘴的灌注过程中减小辊的化学溶液的缠绕距离和缠绕量，以允许清洁辊。 在喷嘴10的狭缝状排出口沿着预备辊23的前端方向移位的状态下，药液R从喷嘴排出到喷嘴与滚筒之间的间隙， 执行插入药液的液浸工序。 之后，暂时执行彩色后退以将喷射到引动辊23上的药液R吸到喷嘴侧。 通过执行彩色后退步骤，可以缩短辊的化学液体的卷绕距离，从而可以增加一个辊子可以用于灌注处理的次数。

公开(公告)号：KR101827579B1

公开(公告)日：2018-03-22

申请号：KR1020120021100

申请日：2012-02-29

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 오쯔카요시타카 ,  다시로게이 ,  우에하라다케시 ,  와카모토유키히로

IPC: G03F7/16 ,  H01L21/027

Abstract: 매엽처리되는기판간의처리시간간격을단축하고, 생산효율을향상한다. 제어수단(10)은, 노즐(11)의토출구(11a)로부터프라이밍롤러(35)에소정량의처리액(R)을토출시키고, 프라이밍처리부(36)에의해상기프라이밍롤러를회전시키는한편, 펌프(22)에, 흡입관(21)을통하여처리액공급원(20)으로부터처리액을흡입시킨다.

Abstract translation: 处理片材处理的基板之间的处理时间间隔缩短，生产效率提高。 控制装置10从喷嘴11的排出口11a向加注辊35排出少量的加工液R，通过加注处理部36使加注辊旋转， （22）通过吸管（21）从处理液供给源（20）吸入处理液。

公开(公告)号：KR1020120104935A

公开(公告)日：2012-09-24

申请号：KR1020120021100

申请日：2012-02-29

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 오쯔카요시타카 ,  다시로게이 ,  우에하라다케시 ,  와카모토유키히로

IPC: G03F7/16 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/162 ,  B05C5/0237 ,  B05C5/0245 ,  B05C5/0254 ,  B05C11/1002 ,  B05D1/26 ,  G03F7/168 ,  H01L21/0274

Abstract: PURPOSE: A substrate treating apparatus and a treating liquid supplying method are provided to shorten a treating cycle between substrates which are treated by the sheet. CONSTITUTION: A substrate treating apparatus includes a priming part, a pump, a treating liquid supplying source part, a first valve(V1), a second valve(V2), and a controlling unit(10). The priming part cleans treating liquid at the outlet(11a) of a nozzle(11). The pump supplies charged treating liquid to the nozzle. The treating liquid supplying source part supplies the treating liquid to the pump. The first valve opens and closes the flow path of the treating liquid by being installed at a treating liquid supplying pipe. The second valve opens and closes the flow path of the treating liquid by being installed at a drawing-in pipe(21). [Reference numerals] (10) Controlling part; (13) Nozzle elevating part; (8) Transferring part

Abstract translation: 目的：提供一种基板处理装置和处理液供给方法，以缩短由片材处理的基板之间的处理循环。 构成：基板处理装置包括起动部，泵，处理液供给源部，第一阀（V1），第二阀（V2）和控制单元（10）。 起动部分清洗喷嘴（11）的出口（11a）处的处理液。 泵向喷嘴提供带电的处理液。 处理液供给源部将处理液供给到泵。 第一阀通过安装在处理液供给管上而打开和关闭处理液的流路。 第二阀通过安装在引入管（21）处而打开和关闭处理液的流路。 （附图标记）（10）控制部; （13）喷嘴升降部 （8）转移零件

公开(公告)号：KR1020100131374A

公开(公告)日：2010-12-15

申请号：KR1020100052694

申请日：2010-06-04

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 와까모또유끼히로 ,  다시로게이 ,  우에다에이이찌

IPC: H01L21/027 ,  B05C5/02

CPC classification number: H01L21/0274 ,  B05C5/0204 ,  B05C5/0208 ,  G03F7/2041

Abstract: PURPOSE: A priming processing method and a priming processing device for forming the film of a processing solution are provided to prevent particle while reducing washing solution by operating a cleaning apparatus and a drying unit to wash/dry over the outer circumference of a priming roller. CONSTITUTION: The top of a priming roller(14) is parallel with the injection part of a slit nozzle(72) while having a certain gap between them. A certain amount of resist is discharged on the slit nozzle through a resist supply unit. The film of a coating solution on the outer circumference of a priming roller is dried to form a first dry film. A part of discharged coating solution is wound on the outer circumference of the priming roller. The film of the solution or the dry film which is attached on the outer circumference of the priming roller is removed through washing.

Abstract translation: 目的：提供一种用于形成处理溶液膜的起动处理方法和起动处理装置，以通过操作清洁装置和干燥单元来清洗/干燥在起动辊的外圆周上来减少洗涤液的颗粒。 构成：起动辊（14）的顶部与狭缝喷嘴（72）的注射部分平行，同时在它们之间具有一定的间隙。 一定量的抗蚀剂通过抗蚀剂供给单元在狭缝喷嘴上排出。 将底漆辊的外周上的涂布溶液的膜干燥以形成第一干膜。 排出的涂布溶液的一部分缠绕在起动辊的外周。 通过洗涤除去附着在起动辊的外周上的溶液或干膜。

公开(公告)号：KR101518522B1

公开(公告)日：2015-05-07

申请号：KR1020100052694

申请日：2010-06-04

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 와까모또유끼히로 ,  다시로게이 ,  우에다에이이찌

IPC: H01L21/027 ,  B05C5/02

Abstract: 본 발명의 과제는 프라이밍 처리의 신뢰성을 보장하면서 세정액의 사용량을 한층 삭감하는 것이다.
슬릿 노즐(72)의 토출구를 프라이밍 롤러(14)의 정상부에 대해 평행하게 대향시키고, 프라이밍 롤러(14)를 정지시킨 채로, 슬릿 노즐(72)에 일정량의 레지스트액(R)을 토출시킨다. 다음에, 프라이밍 롤러(14)의 회전을 개시하여, 프라이밍 롤러(14)의 외주면 상에 레지스트액(R)을 권취한다. 계속해서, 프라이밍 롤러(14)의 회전 속도를 한번에 올려, 슬릿 노즐(72)측과 프라이밍 롤러(14)측으로 나뉘도록 레지스트액(R)의 액막을 분리하고, 분리한 후에도 프라이밍 롤러(14)의 회전을 그대로 계속시켜, 레지스트 액막(RM
1 )을 자연 건조시킨다.

Abstract translation: 本发明的目的在于进一步减少所使用的清洁液的量，同时确保起动加工的可靠性。

公开(公告)号：KR1020140124369A

公开(公告)日：2014-10-24

申请号：KR1020147022062

申请日：2013-01-17

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 이나마스도시후미 ,  오가사와라유키오 ,  다시로게이

IPC: H01L21/027 ,  B05C5/02 ,  B05C11/10

CPC classification number: B05C11/00 ,  B05B15/52 ,  B05B15/531 ,  B05B15/55 ,  B05C5/0254 ,  B08B1/006 ,  B41J2/16517 ,  B41J2/16535 ,  H01L21/67051 ,  H01L21/0274

Abstract: 슬릿 노즐의 토출구 및 노즐 측면에 부착된 처리액을 불식하기 위한 와이핑 패드(49)이며, 상기 토출구의 길이 방향으로 교차하여, 상기 토출구와 상기 노즐 측면에 접촉 가능하게 설치된 스크레이핑 변(49d1)과, 노즐 길이 방향을 따른 이동 방향에 있어서 상기 스크레이핑 변(49d1)보다 전방측에, 상기 스크레이핑 변(49d1)에 의해 긁어내어져 처리액을 배출하기 위한 도출로(49a)를 구비하고, 상기 도출로(49a)는 패드 상면(49g)측에서 상기 이동 방향을 따라서 형성된 V자 홈이며, 상기 V자 홈은, 그 후단부 테두리부에 상기 스크레이핑 변(49d1)이 형성되고, 상기 스크레이핑 변(49d1)보다 전방을 향해 홈 폭과 깊이가 점차 커지도록 형성되어 있다.

公开(公告)号：KR1020120015424A

公开(公告)日：2012-02-21

申请号：KR1020110076885

申请日：2011-08-02

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 다시로게이

IPC: B05C5/00 ,  B05C11/10 ,  G02F1/13

CPC classification number: B05C5/00 ,  B05C11/00 ,  B05C11/10 ,  G02F1/00 ,  G02F1/13

Abstract: PURPOSE: A liquid treating apparatus and a nozzle priming method are provided to easily clean a priming roller and to shorten the coating distance and the coating amount of treating liquid on the priming roller. CONSTITUTION: A nozzle(10) discharges treating liquid through an outlet. A relative moving unit relatively moves a substrate with respect to the nozzle. A priming roller(23) is used for the liquid treatment of the substrate arranged at a part of a liquid treating apparatus. A nozzle moving unit positions the outlet of the nozzle on the upper side of the priming roller. A decompressing unit is arranged in the middle of a treating liquid supplying path, which supplies treating liquid, and temporarily sucks the treating liquid from the nozzle.

Abstract translation: 目的：提供液体处理装置和喷嘴启动方法，以便容易地清洁起动辊并缩短涂布距离以及起动辊上处理液的涂布量。 构成：喷嘴（10）通过出口排出处理液。 相对移动单元相对于喷嘴相对移动基板。 底漆辊（23）用于液体处理布置在液体处理装置的一部分的基板。 喷嘴移动单元将喷嘴的出口定位在起动辊的上侧。 在处理液供给路径的中间配置减压单元，供给处理液，并从喷嘴临时吸取处理液。