公开(公告)号：KR1020150123721A

公开(公告)日：2015-11-04

申请号：KR1020150055647

申请日：2015-04-21

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 고이즈미가츠유키 ,  기타가와다이 ,  다카하시도모유키

IPC: H01L21/683

CPC classification number: H01J37/32715 ,  H01J37/32697 ,  H01L21/6831

Abstract: [과제] 정전척을제공한다. [해결수단] 일실시형태의정전척은, 피처리체를배치하기위한원형의배치영역을갖는다. 배치영역은, 바닥면및 이바닥면으로부터돌출된복수의돌출부를갖고있다. 복수의돌출부는, 배치영역의중심에대하여동심형으로또한등간격으로설정된복수의원 상에서등간격으로설정된복수의위치에형성되어있다. 이들복수의위치중 임의의 2개의인접하는원 상에설정된복수의위치는, 상기중심으로부터뻗는동일한직선상에위치하지않도록설정되어있다.

Abstract translation: 提供静电卡盘。 根据本发明的一个实施例，静电卡盘具有用于布置待加工物体的圆形布置区域。 布置区域包括：地板表面; 以及从地板表面突出的多个突起单元。 突起单元形成为以相对于布置区域的中心同心的多个圆周上以恒定间隔设置的多个位置，并以恒定的间隔设置。 设置在两个位置之间彼此相邻的两个随机圆上的位置被设置为防止位置定位在从中心延伸的相同的线上。

公开(公告)号：KR1020140128955A

公开(公告)日：2014-11-06

申请号：KR1020147018738

申请日：2013-02-06

Applicant: 스미토모 오사카 세멘토 가부시키가이샤 ,  도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 사사키야스하루 ,  오오하시가오루 ,  다카하시도모유키 ,  아오토다다시 ,  고사카이마모루 ,  마에타신이치 ,  미우라유키오 ,  사토다카시 ,  후루우치게이

IPC: H01L21/683 ,  B23Q3/15 ,  H02N13/00

CPC classification number: H01L21/6833 ,  B23Q3/15 ,  H01L21/67109 ,  H01L21/6831

Abstract: 상면을 판 형상 시료를 재치하는 재치면으로 함과 함께 정전 흡착용 내부 전극을 내장한 정전 척부와, 정전 척부를 냉각하는 냉각 베이스부를 구비하고, 정전 척부와 냉각 베이스부는 접착층을 통하여 접착 일체화되며, 정전 척부 및 냉각 베이스부에 형성된 냉각용 가스 구멍에, 절연애자와, 절연애자의 외주부에 동축적으로 설치된 절연애자로 이루어지는 2중관 구조의 절연애자를, 냉각용 가스 구멍측의 접착층의 노출면을 덮도록 설치하였다.

公开(公告)号：KR101902349B1

公开(公告)日：2018-09-28

申请号：KR1020147018738

申请日：2013-02-06

Applicant: 스미토모 오사카 세멘토 가부시키가이샤 ,  도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 사사키야스하루 ,  오오하시가오루 ,  다카하시도모유키 ,  아오토다다시 ,  고사카이마모루 ,  마에타신이치 ,  미우라유키오 ,  사토다카시 ,  후루우치게이

IPC: H01L21/683 ,  B23Q3/15 ,  H02N13/00

CPC classification number: H01L21/6833 ,  B23Q3/15 ,  H01L21/67109 ,  H01L21/6831

Abstract: 상면을판 형상시료를재치하는재치면으로함과함께정전흡착용내부전극을내장한정전척부와, 정전척부를냉각하는냉각베이스부를구비하고, 정전척부와냉각베이스부는접착층을통하여접착일체화되며, 정전척부및 냉각베이스부에형성된냉각용가스구멍에, 절연애자와, 절연애자의외주부에동축적으로설치된절연애자로이루어지는 2중관구조의절연애자를, 냉각용가스구멍측의접착층의노출면을덮도록설치하였다.

公开(公告)号：KR1020160078332A

公开(公告)日：2016-07-04

申请号：KR1020167007979

申请日：2014-10-16

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 고이즈미가츠유키 ,  센자키시게루 ,  다카하시도모유키 ,  기타가와다이

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/683 ,  H01L21/324 ,  H01L21/66

CPC classification number: H01L21/67103 ,  H01L21/67248 ,  H01L21/6831 ,  H01L21/6833 ,  H01L21/324 ,  H01L21/67098 ,  H01L22/12

Abstract: 기판을탑재하는정전척을세분화한복수의영역의각각에대응하여적어도 1세트씩마련된복수세트의히터및 사이리스터와, 상기복수세트의사이리스터로부터히터에전류를공급하는하나의전원과, 상기하나의전원으로부터상기복수의히터에전력을공급하는전원라인에마련되고, 그전원에인가되는고주파전력을제거하는적어도 1세트의필터를갖는온도제어기구가제공된다.