公开(公告)号：KR101289559B1

公开(公告)日：2013-07-25

申请号：KR1020087022157

申请日：2007-01-16

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 스즈키겐지 ,  귀도엠마누엘피 ,  루싱크게리트제이 ,  하라마사미치 ,  구로이와다이스케 ,  이시자카다다히로

IPC: C23C16/448 ,  C23C16/455

CPC classification number: C23C16/4481

Abstract: 본 발명에서는 막 전구체의 노출 표면적을 증대시켜 증착률을 증대시키기 위해, 전도도가 높은 증기 이송 시스템(40)에 결합되는 전도도가 높은 멀티 트레이 막 전구체 증발 시스템(1)을 설명한다. 멀티 트레이 막 전구체 증발 시스템(50)은 하나 이상의 트레이(340)를 포함한다. 각 트레이는 예컨대 고체 분말 형태 또는 고체 태블릿 형태의 막 전구체(350)를 지지하고 유지하도록 구성되어 있다. 또한, 각 트레이는 막 전구체가 가열되고 있는 동안에 막 전구체 위에 있어서 캐리어 가스의 유동 전도도를 높이도록 구성되어 있다. 예컨대, 캐리어 가스는 막 전구체를 지나 안쪽으로 유동하고, 적층 가능한 트레이의 안쪽에 있는 유동 채널(318)을 통해 그리고 고상 전구체 증발 시스템에 있는 출구(322)를 통해 수직 상향 유동한다.

公开(公告)号：KR1020080102184A

公开(公告)日：2008-11-24

申请号：KR1020087022157

申请日：2007-01-16

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 스즈키겐지 ,  귀도엠마누엘피 ,  루싱크게리트제이 ,  하라마사미치 ,  구로이와다이스케 ,  이시자카다다히로

IPC: C23C16/448 ,  C23C16/455

CPC classification number: C23C16/4481

Abstract: A high conductance, multi-tray film precursor evaporation system (1) coupled with a high conductance vapor delivery system (40) is described for increasing deposition rate by increasing exposed surface area of film precursor. The multi-tray film precursor evaporation system (50) includes one or more trays (340). Each tray is configured to support and retain film precursor (350) in, for example, solid powder form or solid tablet form. Additionally, each tray is configured to provide for a high conductance flow of carrier gas over the film precursor while the film precursor is heated. For example, the carrier gas flows inward over the film precursor, and vertically upward through a flow channel (318) within the stackable trays and through an outlet (322) in the solid precursor evaporation system.

Abstract translation: 描述了与高电导蒸气输送系统（40）耦合的高电导多托盘膜前体蒸发系统（1），以通过增加膜前体的暴露表面积来提高沉积速率。 多托盘膜前体蒸发系统（50）包括一个或多个托盘（340）。 每个托盘构造成支撑并保持例如固体粉末形式或固体片剂形式的膜前体（350）。 此外，每个托盘构造成在膜前体被加热的同时提供载气在膜前体上的高电导流。 例如，载气在膜前体向内流动，并且垂直向上流过可堆叠托盘内的流动通道（318）并通过固体前驱物蒸发系统中的出口（322）。