公开(公告)号：KR1020150071655A

公开(公告)日：2015-06-26

申请号：KR1020140181418

申请日：2014-12-16

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 다카하시마사노리 ,  히다츠요시 ,  다케모토노보루 ,  야쿠시지히데아키 ,  린치아흥 ,  하라다아키토시

IPC: H01L21/02

CPC classification number: H01J37/32834 ,  H01J37/32844 ,  H01J37/32871 ,  Y02C20/30 ,  Y02P70/605

Abstract: 본발명은, 배기효율을유지하면서, 파티클이처리용기내에진입하는것을방지할수 있는입자역류방지부재를제공하는것을과제로한다. 처리용기와배기장치를연통시키는배기관의내부에배치되는입자역류방지부재로서, 제1 판형부재와, 개구부를가지며, 제1 판형부재에대하여제1 간극을두고배기장치측에배치되는제2 판형부재를가지며, 개구부는, 평면에서볼 때제1 판형부재에의해덮여있는입자역류방지부재가제공된다.

Abstract translation: 本发明的目的是提供一种能够防止颗粒进入处理容器同时保持排气效率的颗粒防回流部件。 作为布置在排气管中以将处理容器连接到排气装置的颗粒防回流构件，设置有包括第一平面构件和第二平面构件的颗粒防回流构件，该第一平面构件和第二平面构件包括开口部并布置在 所述排气装置相对于所述第一平面构件具有第一间隙。 开口部分由平面的第一平面构件覆盖。