公开(公告)号：KR1020150114429A

公开(公告)日：2015-10-12

申请号：KR1020150045239

申请日：2015-03-31

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 사이키다이스케 ,  미조타쇼고 ,  야부타다카시 ,  노나카준 ,  나가마츠다츠야 ,  다나카고지 ,  마에조노도미야스

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/67 ,  H01L21/324

CPC classification number: B08B3/14 ,  B01D36/04 ,  B01D37/04 ,  B24B57/02 ,  C11D11/0047 ,  H01L21/67017

Abstract: 기판의액처리에이용되는처리액을열화시키는일없이청정(파티클제거)하는것. 본발명에서는, 기판(3)을처리액으로액처리하는기판액처리장치(1) 및기판액처리방법및 기판액처리프로그램을기록한컴퓨터판독가능한기록매체(12)에있어서, 제1 약액공급부(17)로부터처리액저류부(14)에제1 약액을공급하는제1 약액공급공정(S1, S6, S12)을행하고, 그후, 제1 약액을약액청정부(51)에서청정하는제1 약액청정공정(S2, S7, S13)을행하며, 그후, 제2 약액공급부(18)로부터처리액저류부(14)에제2 약액을공급하는제2 약액공급공정(S3, S8, S14)을행하고, 그후, 제1 약액과제2 약액을혼합시킨처리액을처리액공급부(38)로부터기판액처리부(10)에공급하는처리액공급공정(S5, S11, S17)을행하는것으로하였다.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于净化（除去颗粒）而不劣化用于液体处理基材的处理液的方法。 在用处理液进行基板（3）的液体处理的基板液体处理装置（1），基板液体处理方法以及记录有基板液体处理程序的计算机可读记录介质的方法中， 本发明包括：将第一液体从第一液体供应单元（17）供应到处理液体存储单元（14）的第一液体供应过程（S1，S6，S12）; 在液体净化单元（51）中净化第一液体的第一液体净化处理（S2，S7，S13）; 从第二液体供应单元（18）向处理液体储存单元（14）供应第二液体的第二液体供应过程（S3，S8，S14）; 以及处理液供给处理（S5，S11，S17），其将处理液供给单元（38）从处理液供给单元（38）供给到基板液处理单元（10）中的第一液体和第二液体的混合物的处理液 ）。