公开(公告)号：KR1020140010118A

公开(公告)日：2014-01-23

申请号：KR1020137025636

申请日：2012-02-16

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 아라키신이치로 ,  마츠다가츠히코 ,  오카다기미노리 ,  이토다이치 ,  나카지마스스무 ,  호리우치노부히로

IPC: G06F11/30 ,  G06F11/32 ,  G06F11/34

CPC classification number: G05B19/41875 ,  G05B19/4184 ,  G05B2219/31435 ,  G05B2219/31462 ,  G05B2219/45031 ,  G06F11/321 ,  Y02P90/14 ,  Y02P90/18

Abstract: 컴퓨터(2A)는 성막 장치(20A)에 관한 정보를 처리한다. 컴퓨터(2A)는, 성막 장치(20A)에 이상이 발생한 경우에, 발생한 이상에 관한 이상 정보를 표시한다. 컴퓨터(2A)는, 발생한 이상에 대처했을 때의 대처 정보를 접수한다. 컴퓨터(2A)는, 접수한 대처 정보를, 발생한 이상을 특정하기 위한 이상 특정 정보에 대응지어 기억한다. 컴퓨터(2A)는 기억한 이상 특정 정보 및 대처 정보를, 서버 컴퓨터(1)로 출력한다. 성막 장치(20B)에 이상이 발생한 경우, 컴퓨터(2B)는 이상 특정 정보에 대응하는 대처 정보를 서버 컴퓨터(1)로부터 수신하여, 표시한다.

公开(公告)号：KR100843781B1

公开(公告)日：2008-07-03

申请号：KR1020040023434

申请日：2004-04-06

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 마츠다가츠히코

IPC: G06F21/20 ,  G06Q50/04

CPC classification number: G06F21/6218

Abstract: 본 발명의 목적은 원격으로 장치의 보수·진단을 행하는 데 이용하는 보수·진단 데이터 축적 서버, 보수·진단 데이터의 축적·취득 시스템, 축적·제공 시스템에 있어서, 원격으로 행하지 않는 보수·진단하는 경우와 마찬가지의 보안의 유지를 도모하는 것이다.
장치에 관한 보수·진단 데이터를 축적하여, 제 1 네트워크를 경유해서 제 1 방화벽을 거쳐서 전송되는 데이터 액세스 요구를 검지하고, 검지된 데이터 액세스 요구에 근거하여, 제 1 방화벽보다 보안 레벨이 높은 제 2 방화벽을 거쳐서 제 2 네트워크를 경유하여 장치에 사용자 인증을 요구해서, 사용자 인증의 결과를 제 2 네트워크를 경유하여 제 2 방화벽을 거쳐서 취득하며, 데이터 액세스 요구에 근거하여 축적된 보수·진단 데이터를 제 1 방화벽을 거쳐서 제 1 네트워크에 출력한다.

公开(公告)号：KR1020040087892A

公开(公告)日：2004-10-15

申请号：KR1020040023434

申请日：2004-04-06

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 마츠다가츠히코

IPC: G06F21/20 ,  G06Q50/04

CPC classification number: G06F21/6218

Abstract: PURPOSE: A repair/diagnosis data accumulating server, a repair/diagnosis data accumulating/obtaining system, and a repair/diagnosis data accumulating/offering system in a remote place are provided to repair/diagnosis various kinds of devices in the remote place, and plan maintenance of security when the system is not used in the remote place. CONSTITUTION: The system includes an equipment group-A(10), an equipment group-B(11), intranet(21), firewalls(22,24), the repair/diagnosis data accumulating server(23), the Internet(25), and clients(26,27). The server collects/accumulates the repair/diagnosis data for semiconductor manufacturing devices(1-3,5-7) through the intranet. In case that data access is requested from an Internet side, the server receives a result by requesting user certification to a group management server(4) or the semiconductor manufacturing devices through the intranet. In the case that the result is normal, the repair/diagnosis data is output to the Internet side. The clients receive the repair/diagnosis data from the server through the Internet and analyze the received data.

Abstract translation: 目的：提供修复/诊断数据累积服务器，修复/诊断数据累积/获取系统以及远程位置的修复/诊断数据累积/提供系统，以修复/诊断偏远地区的各种设备， 当系统不在远程的地方使用时，计划维护安全。 规定：系统包括设备组A（10），设备组B（11），内部网（21），防火墙（22,24），修复/诊断数据累加服务器（23），因特网（25 ）和客户（26,27）。 服务器通过内部网络收集/积累半导体制造设备（1-3,5-7）的修复/诊断数据。 在从互联网请求数据访问的情况下，服务器通过向集团管理服务器（4）请求用户认证或通过内联网向半导体制造设备发送结果。 在结果正常的情况下，将修理/诊断数据输出到因特网侧。 客户端通过Internet接收来自服务器的修复/诊断数据，并分析收到的数据。

公开(公告)号：KR101824762B1

公开(公告)日：2018-02-01

申请号：KR1020137025636

申请日：2012-02-16

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 아라키신이치로 ,  마츠다가츠히코 ,  오카다기미노리 ,  이토다이치 ,  나카지마스스무 ,  호리우치노부히로

IPC: G06F11/30 ,  G06F11/32 ,  G06F11/34

CPC classification number: G05B19/41875 ,  G05B19/4184 ,  G05B2219/31435 ,  G05B2219/31462 ,  G05B2219/45031 ,  G06F11/321 ,  Y02P90/14 ,  Y02P90/18

Abstract: 컴퓨터(2A)는성막장치(20A)에관한정보를처리한다. 컴퓨터(2A)는, 성막장치(20A)에이상이발생한경우에, 발생한이상에관한이상정보를표시한다. 컴퓨터(2A)는, 발생한이상에대처했을때의대처정보를접수한다. 컴퓨터(2A)는, 접수한대처정보를, 발생한이상을특정하기위한이상특정정보에대응지어기억한다. 컴퓨터(2A)는기억한이상특정정보및 대처정보를, 서버컴퓨터(1)로출력한다. 성막장치(20B)에이상이발생한경우, 컴퓨터(2B)는이상특정정보에대응하는대처정보를서버컴퓨터(1)로부터수신하여, 표시한다.

Abstract translation: 一种用于处理半导体治疗装置的信息的信息处理装置包括：异常信息显示装置，其显示关于半导体治疗装置中的异常的信息;对策信息接收装置，其接收对策的对策信息;对策信息存储装置，其存储对策信息 与异常识别信息匹配的输出装置;经由通信装置向外部输出对策和异常识别信息的输出装置;显示对策项目候选的对策项目显示装置;对策项目存储装置，其存储从与候补项目匹配的候选中选择的对策项目 异常识别信息，通过通信d发送对策项目和异常识别信息的对策项目发送装置 从外部接收与该异常识别信息对应的对策项目的统计量的对策项目统计接收装置以及显示该统计量的对策项目统计值显示装置。