公开(公告)号：KR101824762B1

公开(公告)日：2018-02-01

申请号：KR1020137025636

申请日：2012-02-16

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 아라키신이치로 ,  마츠다가츠히코 ,  오카다기미노리 ,  이토다이치 ,  나카지마스스무 ,  호리우치노부히로

IPC: G06F11/30 ,  G06F11/32 ,  G06F11/34

CPC classification number: G05B19/41875 ,  G05B19/4184 ,  G05B2219/31435 ,  G05B2219/31462 ,  G05B2219/45031 ,  G06F11/321 ,  Y02P90/14 ,  Y02P90/18

Abstract: 컴퓨터(2A)는성막장치(20A)에관한정보를처리한다. 컴퓨터(2A)는, 성막장치(20A)에이상이발생한경우에, 발생한이상에관한이상정보를표시한다. 컴퓨터(2A)는, 발생한이상에대처했을때의대처정보를접수한다. 컴퓨터(2A)는, 접수한대처정보를, 발생한이상을특정하기위한이상특정정보에대응지어기억한다. 컴퓨터(2A)는기억한이상특정정보및 대처정보를, 서버컴퓨터(1)로출력한다. 성막장치(20B)에이상이발생한경우, 컴퓨터(2B)는이상특정정보에대응하는대처정보를서버컴퓨터(1)로부터수신하여, 표시한다.

Abstract translation: 一种用于处理半导体治疗装置的信息的信息处理装置包括：异常信息显示装置，其显示关于半导体治疗装置中的异常的信息;对策信息接收装置，其接收对策的对策信息;对策信息存储装置，其存储对策信息 与异常识别信息匹配的输出装置;经由通信装置向外部输出对策和异常识别信息的输出装置;显示对策项目候选的对策项目显示装置;对策项目存储装置，其存储从与候补项目匹配的候选中选择的对策项目 异常识别信息，通过通信d发送对策项目和异常识别信息的对策项目发送装置 从外部接收与该异常识别信息对应的对策项目的统计量的对策项目统计接收装置以及显示该统计量的对策项目统计值显示装置。

公开(公告)号：KR1020140010118A

公开(公告)日：2014-01-23

申请号：KR1020137025636

申请日：2012-02-16

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 아라키신이치로 ,  마츠다가츠히코 ,  오카다기미노리 ,  이토다이치 ,  나카지마스스무 ,  호리우치노부히로

IPC: G06F11/30 ,  G06F11/32 ,  G06F11/34

CPC classification number: G05B19/41875 ,  G05B19/4184 ,  G05B2219/31435 ,  G05B2219/31462 ,  G05B2219/45031 ,  G06F11/321 ,  Y02P90/14 ,  Y02P90/18

Abstract: 컴퓨터(2A)는 성막 장치(20A)에 관한 정보를 처리한다. 컴퓨터(2A)는, 성막 장치(20A)에 이상이 발생한 경우에, 발생한 이상에 관한 이상 정보를 표시한다. 컴퓨터(2A)는, 발생한 이상에 대처했을 때의 대처 정보를 접수한다. 컴퓨터(2A)는, 접수한 대처 정보를, 발생한 이상을 특정하기 위한 이상 특정 정보에 대응지어 기억한다. 컴퓨터(2A)는 기억한 이상 특정 정보 및 대처 정보를, 서버 컴퓨터(1)로 출력한다. 성막 장치(20B)에 이상이 발생한 경우, 컴퓨터(2B)는 이상 특정 정보에 대응하는 대처 정보를 서버 컴퓨터(1)로부터 수신하여, 표시한다.