公开(公告)号：KR1020170137719A

公开(公告)日：2017-12-13

申请号：KR1020177026316

申请日：2016-04-07

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 마츠모토가즈야 ,  야마모토다카시

IPC: H01L21/687 ,  H01L21/683 ,  H01L21/67 ,  H05H1/46

CPC classification number: H01J37/32715 ,  H01J37/321 ,  H01J37/3211 ,  H01J37/3244 ,  H01J37/32724 ,  H01J37/32733 ,  H01J37/32816 ,  H01J37/32834 ,  H01J2237/334 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/67069 ,  H01L21/683 ,  H01L21/6833 ,  H01L43/12 ,  H01R39/28 ,  H01R39/381

Abstract: 일실시형태의슬립링은, 회전축선둘레에서회전가능한도전성의회전자와, 회전자와동축에설치된도전성의고정자와, 회전자와고정자사이에배치되는도전성의구체이며, 회전자와고정자사이의전기적패스를형성한다, 상기구체와, 회전자및 고정자중 한쪽과구체사이에있어서설치되고, 회전축선에대하여둘레방향으로연장된도전성의코일스프링이며, 회전자및 고정자중 한쪽과구체에접촉하는상기코일스프링을포함한다.

Abstract translation: 一个实施例的滑环包括可围绕旋转轴线旋转的导电反向旋转电子，与转子同轴设置的导电定子以及设置在转子和定子之间的导电球， 导电螺旋弹簧，其设置在所述球体与所述转子和所述定子中的一个之间，并且相对于所述旋转轴线沿圆周方向延伸，所述导电螺旋弹簧设置在所述转子和所述定子中的一个之间， 还有一个螺旋弹簧。