公开(公告)号：KR101012076B1

公开(公告)日：2011-02-07

申请号：KR1020080073185

申请日：2008-07-25

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 마츠모토토시유키 ,  미나미토모히데 ,  도키유이치 ,  마하라코지

IPC: H01L21/677

CPC classification number: G01B7/003 ,  H01L21/67259

Abstract: 좁은 반송로를 갖는 장치에 대해서도 반입이 가능한 위치 검출용 웨이퍼를 이용하여 반송 암의 반송처의 위치 조정을 실시한다. 위치 검출용 웨이퍼(S)는, 위치 조정의 목표물과의 사이의 정전 용량을 검출하는 정전 용량 검출 센서(50)를 갖는다. 정전 용량 검출 센서(50)는, 목표물과의 사이에서 정전 용량을 형성하는 복수의 정전 용량 검출 전극(52)과 정전 용량 검출 전극(52)과 통신하여, 정전 용량 검출 전극(52)에 의한 정전 용량의 검출을 제어하는 제어 회로(51)를 갖는다. 정전 용량 검출 전극(52)은, 위치 검출용 웨이퍼(S)의 이면측에 설치되고, 제어 회로(51)는 표면측에 설치되어 있다.

公开(公告)号：KR1020090056936A

公开(公告)日：2009-06-03

申请号：KR1020087031948

申请日：2007-07-02

Applicant: 더 리츠메이칸 트러스트 ,  도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 미야노타카야 ,  마츠모토토시유키 ,  이케우치나오키 ,  모리야츠요시

IPC: H05H1/00 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/00

CPC classification number: H05H1/0006 ,  H01J37/32935 ,  H01J2237/0206

Abstract: A plasma abnormal discharge diagnosis system includes: a data acquisition unit (21) for acquiring time series data fluctuating depending on a plasma state; a translation error calculation unit (24) for calculating a deterministic value serving as an index indicating whether the time series data in the plasma is deterministic or probabilistic according to the time series data acquired by the data acquisition unit (21); an abnormal discharge judging unit (26) for judging that the plasma is in an abnormal discharge state when the value indicating the deterministic feature calculated by a determinism deriving means is not greater than a predetermined threshold value. The deterministic value may be, for example, a translation error or permutation entropy. When the permutation entropy is used as a value indicating the deterministic feature, a permutation entropy calculation unit is provided.

Abstract translation: 等离子体异常放电诊断系统包括：数据获取单元，用于获取根据等离子体状态波动的时间序列数据; 用于根据由数据获取单元（21）获取的时间序列数据计算用作表示等离子体中的时间序列数据是确定性或概率的指标的确定性值的平移误差计算单元（24）; 当由确定性导出装置计算的表示确定性特征的值不大于预定阈值时，判断等离子体处于异常放电状态的异常放电判断单元（26）。 确定性值可以是例如平移误差或置换熵。 当排列熵用作表示确定性特征的值时，提供置换熵计算单元。

公开(公告)号：KR1020090013690A

公开(公告)日：2009-02-05

申请号：KR1020080073185

申请日：2008-07-25

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 마츠모토토시유키 ,  미나미토모히데 ,  도키유이치 ,  마하라코지

IPC: H01L21/677

CPC classification number: G01B7/003 ,  H01L21/67259 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/68707

Abstract: A position detection jig is provided to perform the position control of the carrier place of the transfer arm. The position detection wafer(S) has the electrostatic capacity detector and sensor(50) for detecting the electrostatic capacity between the target object of the position control. The electrostatic capacity detection sensor have a plurality of electrostatic capacity detection electrodes(52) and a control circuit. The electrostatic capacity is formed between a plurality of electrostatic capacity detection electrodes and the target object. The control circuit communicates with the electrostatic capacity detection electrode and controls the detection of the electrostatic capacity by the electrostatic capacity detection electrode. The electrostatic capacity detection electrode is installed at the backside of the wafer for the position detection. The control circuit is installed at the front surface side of the wafer for the position detection.

Abstract translation: 提供位置检测夹具来执行传送臂的载体位置的位置控制。 位置检测晶片（S）具有用于检测位置控制的目标物体之间的静电电容的静电电容检测器和传感器（50）。 静电电容检测传感器具有多个静电电容检测电极（52）和控制电路。 在多个静电电容检测电极和目标物体之间形成静电电容。 控制电路与静电电容检测电极通信，并通过静电电容检测电极控制静电电容的检测。 静电电容检测电极安装在用于位置检测的晶片的背面。 控制电路安装在用于位置检测的晶片的前表面侧。

公开(公告)号：KR101015192B1

公开(公告)日：2011-02-17

申请号：KR1020080098552

申请日：2008-10-08

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 마츠모토토시유키 ,  미나미토모히데 ,  마하라코지 ,  도키유이치

IPC: H01L21/68

CPC classification number: H01L21/67259 ,  H01L21/68

Abstract: 정전 용량 센서를 갖는 위치 검출용 웨이퍼를 이용하여, 더욱 정확하고 안정되게 반송암의 반송처의 위치를 검출한다. 위치 검출용 웨이퍼(S)는, 반송암(20)이 반송 가능한 웨이퍼 형상으로 형성되고, 위치 검출을 위한 목표물과의 사이의 정전 용량을 검출하여 목표물과의 상대적인 위치를 검출하는 정전 용량 센서(50)를 갖고 있다. 정전 용량 센서(50)는 목표물과의 사이에서 정전 용량을 형성하는 검출 전극(52)을 갖고, 검출 전극(52)은 웨이퍼 형상의 본체의 이면측에 설치되어 있다. 본체에는, 표면측에서 보면 검출 전극(52)을 덮고, 표면측으로부터 검출 전극(52)으로 향하는 전계를 차단하는 가드 전극(100)이 형성되어 있다.

Abstract translation: 通过使用具有静电电容传感器的位置检测用晶片，能够更正确且稳定地检测传送臂的传送目的地的位置。 晶片位置检测（S），输送臂20被输送中的可能的晶片形状形成，其检测所述目标之间和用于位置检测的静电电容的静电电容传感器检测到所述目标的（相对位置50 ）拥有。 电容式传感器50具有检测电极52，以形成本身和所述目标之间的电容，检测电极52被安装在晶片状主体的背面侧。 身体，从覆盖检测电极52的前表面侧，保护电极100以阻止朝向从表面侧的检测电极52的电场而形成。

公开(公告)号：KR100990845B1

公开(公告)日：2010-10-29

申请号：KR1020087031948

申请日：2007-07-02

Applicant: 더 리츠메이칸 트러스트 ,  도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 미야노타카야 ,  마츠모토토시유키 ,  이케우치나오키 ,  모리야츠요시

IPC: H05H1/00 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/00

CPC classification number: H05H1/0006 ,  H01J37/32935 ,  H01J2237/0206

Abstract: 플라즈마의 상태에 수반하여 변동하는 시계열 데이터를 취득하는 데이터 취득부(21)와, 데이터 취득부(21)에서 취득한 시계열 데이터로부터, 플라즈마에 있어서의 시계열 데이터가 결정론적인지 확률론적인지의 지표가 되는 결정론성을 나타내는 값을 산출하는 병진 오차(translation error) 연산부(24)와, 상기 플라즈마 발생 중에, 상기 결정론성 도출 수단에서 산출된 결정론성을 나타내는 값이, 소정의 문턱값 이하인 경우에, 상기 플라즈마가 이상(abnormal) 방전 상태라고 판정하는 이상 방전 판정부(26)를 구비한다. 결정론성을 나타내는 값은, 예를 들면, 병진 오차 또는 순열 엔트로피를 이용할 수 있다. 결정론성을 나타내는 값으로서 순열 엔트로피를 이용하는 경우는, 순열 엔트로피 연산부를 구비한다.
병진 오차, 순열, 엔트로피, 플라즈마, 방전

公开(公告)号：KR1020090046683A

公开(公告)日：2009-05-11

申请号：KR1020080098552

申请日：2008-10-08

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 마츠모토토시유키 ,  미나미토모히데 ,  마하라코지 ,  도키유이치

IPC: H01L21/68

CPC classification number: H01L21/67259 ,  H01L21/68

Abstract: 정전 용량 센서를 갖는 위치 검출용 웨이퍼를 이용하여, 더욱 정확하고 안정되게 반송암의 반송처의 위치를 검출한다. 위치 검출용 웨이퍼(S)는, 반송암(20)이 반송 가능한 웨이퍼 형상으로 형성되고, 위치 검출을 위한 목표물과의 사이의 정전 용량을 검출하여 목표물과의 상대적인 위치를 검출하는 정전 용량 센서(50)를 갖고 있다. 정전 용량 센서(50)는 목표물과의 사이에서 정전 용량을 형성하는 검출 전극(52)을 갖고, 검출 전극(52)은 웨이퍼 형상의 본체의 이면측에 설치되어 있다. 본체에는, 표면측에서 보면 검출 전극(52)을 덮고, 표면측으로부터 검출 전극(52)으로 향하는 전계를 차단하는 가드 전극(100)이 형성되어 있다.