公开(公告)号：KR101012076B1

公开(公告)日：2011-02-07

申请号：KR1020080073185

申请日：2008-07-25

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 마츠모토토시유키 ,  미나미토모히데 ,  도키유이치 ,  마하라코지

IPC: H01L21/677

CPC classification number: G01B7/003 ,  H01L21/67259

Abstract: 좁은 반송로를 갖는 장치에 대해서도 반입이 가능한 위치 검출용 웨이퍼를 이용하여 반송 암의 반송처의 위치 조정을 실시한다. 위치 검출용 웨이퍼(S)는, 위치 조정의 목표물과의 사이의 정전 용량을 검출하는 정전 용량 검출 센서(50)를 갖는다. 정전 용량 검출 센서(50)는, 목표물과의 사이에서 정전 용량을 형성하는 복수의 정전 용량 검출 전극(52)과 정전 용량 검출 전극(52)과 통신하여, 정전 용량 검출 전극(52)에 의한 정전 용량의 검출을 제어하는 제어 회로(51)를 갖는다. 정전 용량 검출 전극(52)은, 위치 검출용 웨이퍼(S)의 이면측에 설치되고, 제어 회로(51)는 표면측에 설치되어 있다.

公开(公告)号：KR1020090013690A

公开(公告)日：2009-02-05

申请号：KR1020080073185

申请日：2008-07-25

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 마츠모토토시유키 ,  미나미토모히데 ,  도키유이치 ,  마하라코지

IPC: H01L21/677

CPC classification number: G01B7/003 ,  H01L21/67259 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/68707

Abstract: A position detection jig is provided to perform the position control of the carrier place of the transfer arm. The position detection wafer(S) has the electrostatic capacity detector and sensor(50) for detecting the electrostatic capacity between the target object of the position control. The electrostatic capacity detection sensor have a plurality of electrostatic capacity detection electrodes(52) and a control circuit. The electrostatic capacity is formed between a plurality of electrostatic capacity detection electrodes and the target object. The control circuit communicates with the electrostatic capacity detection electrode and controls the detection of the electrostatic capacity by the electrostatic capacity detection electrode. The electrostatic capacity detection electrode is installed at the backside of the wafer for the position detection. The control circuit is installed at the front surface side of the wafer for the position detection.

Abstract translation: 提供位置检测夹具来执行传送臂的载体位置的位置控制。 位置检测晶片（S）具有用于检测位置控制的目标物体之间的静电电容的静电电容检测器和传感器（50）。 静电电容检测传感器具有多个静电电容检测电极（52）和控制电路。 在多个静电电容检测电极和目标物体之间形成静电电容。 控制电路与静电电容检测电极通信，并通过静电电容检测电极控制静电电容的检测。 静电电容检测电极安装在用于位置检测的晶片的背面。 控制电路安装在用于位置检测的晶片的前表面侧。

公开(公告)号：KR101015192B1

公开(公告)日：2011-02-17

申请号：KR1020080098552

申请日：2008-10-08

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 마츠모토토시유키 ,  미나미토모히데 ,  마하라코지 ,  도키유이치

IPC: H01L21/68

CPC classification number: H01L21/67259 ,  H01L21/68

Abstract: 정전 용량 센서를 갖는 위치 검출용 웨이퍼를 이용하여, 더욱 정확하고 안정되게 반송암의 반송처의 위치를 검출한다. 위치 검출용 웨이퍼(S)는, 반송암(20)이 반송 가능한 웨이퍼 형상으로 형성되고, 위치 검출을 위한 목표물과의 사이의 정전 용량을 검출하여 목표물과의 상대적인 위치를 검출하는 정전 용량 센서(50)를 갖고 있다. 정전 용량 센서(50)는 목표물과의 사이에서 정전 용량을 형성하는 검출 전극(52)을 갖고, 검출 전극(52)은 웨이퍼 형상의 본체의 이면측에 설치되어 있다. 본체에는, 표면측에서 보면 검출 전극(52)을 덮고, 표면측으로부터 검출 전극(52)으로 향하는 전계를 차단하는 가드 전극(100)이 형성되어 있다.

Abstract translation: 通过使用具有静电电容传感器的位置检测用晶片，能够更正确且稳定地检测传送臂的传送目的地的位置。 晶片位置检测（S），输送臂20被输送中的可能的晶片形状形成，其检测所述目标之间和用于位置检测的静电电容的静电电容传感器检测到所述目标的（相对位置50 ）拥有。 电容式传感器50具有检测电极52，以形成本身和所述目标之间的电容，检测电极52被安装在晶片状主体的背面侧。 身体，从覆盖检测电极52的前表面侧，保护电极100以阻止朝向从表面侧的检测电极52的电场而形成。

公开(公告)号：KR1020090046683A

公开(公告)日：2009-05-11

申请号：KR1020080098552

申请日：2008-10-08

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 마츠모토토시유키 ,  미나미토모히데 ,  마하라코지 ,  도키유이치

IPC: H01L21/68

CPC classification number: H01L21/67259 ,  H01L21/68

Abstract: 정전 용량 센서를 갖는 위치 검출용 웨이퍼를 이용하여, 더욱 정확하고 안정되게 반송암의 반송처의 위치를 검출한다. 위치 검출용 웨이퍼(S)는, 반송암(20)이 반송 가능한 웨이퍼 형상으로 형성되고, 위치 검출을 위한 목표물과의 사이의 정전 용량을 검출하여 목표물과의 상대적인 위치를 검출하는 정전 용량 센서(50)를 갖고 있다. 정전 용량 센서(50)는 목표물과의 사이에서 정전 용량을 형성하는 검출 전극(52)을 갖고, 검출 전극(52)은 웨이퍼 형상의 본체의 이면측에 설치되어 있다. 본체에는, 표면측에서 보면 검출 전극(52)을 덮고, 표면측으로부터 검출 전극(52)으로 향하는 전계를 차단하는 가드 전극(100)이 형성되어 있다.