公开(公告)号：KR1020140067915A

公开(公告)日：2014-06-05

申请号：KR1020130142181

申请日：2013-11-21

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 이케가와히로아키 ,  가미니시마사히코 ,  다카하시고스케 ,  사사키유 ,  오가와준

IPC: H01L21/687 ,  C23C16/40 ,  C23C16/455 ,  C23C16/52

CPC classification number: C23C16/52 ,  C23C16/40 ,  C23C16/45531 ,  C23C16/45551 ,  H01L21/68764 ,  H01L21/68771

Abstract: A film deposition method includes steps where a separation gas supplying part and a first gas supplying part supply a separation gas and a first reaction gas, and a rotary table rotates to a first angle; the second gas supplying part and the first gas supplying part supplies the separation gas and the first reaction gas, a second gas supplying part supplies a second reaction gas, and the rotary table rotates to a second angle; the separation gas supplying part and the first gas supplying part supply the separation gas and the first reaction gas, and the rotary table rotates to a third angle; and the separation gas supplying part and the first gas supplying part supply the separation gas and the first reaction gas, the second gas supplying part supplies a third reaction gas, and the rotary table rotates to a fourth angle.

Abstract translation: 成膜方法包括分离气体供给部和第一气体供给部供给分离气体和第一反应气体的步骤，旋转台旋转到第一角度; 第二气体供给部和第一气体供给部供给分离气体和第一反应气体，第二气体供给部供给第二反应气体，旋转台旋转至第二角度; 分离气体供给部和第一气体供给部供给分离气体和第一反应气体，旋转台旋转到第三角度; 分离气体供给部和第一气体供给部供给分离气体和第一反应气体，第二气体供给部供给第三反应气体，旋转台旋转至第四角度。

公开(公告)号：KR1020160059968A

公开(公告)日：2016-05-27

申请号：KR1020150160348

申请日：2015-11-16

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 와무라유 ,  하야세후미아키 ,  가미니시마사히코 ,  다카하시고스케 ,  사사키히로코 ,  사사키유

IPC: H01L21/205 ,  H01L21/02 ,  H01L21/67 ,  H01L21/683

CPC classification number: C23C16/45591 ,  C23C16/45578

Abstract: 유체를공급하기위한노즐이며, 내부에관로가형성되고, 상기관로의길이방향을따라복수의유체토출구멍이형성된유체토출면을갖는관상부와, 상기관로내에상기길이방향을따라연장되어설치되고, 상기관로를, 상기유체토출면을포함하는제1 영역과상기유체토출면을포함하지않는제2 영역으로구획하고, 상기길이방향에있어서상기복수의유체토출구멍보다도적은수의분산구멍이형성된구획판과, 상기제2 영역에연통하는유체도입로를갖는다.

Abstract translation: 设有用于供给流体的喷嘴。 喷嘴具有管状部分，其形成在管中，并且具有沿着管的长度方向形成的流体喷射孔的流体喷射表面，沿管道的长度方向延伸的分隔板，将管 进入包括流体喷射表面的第一区域和除了流体喷射表面之外的第二区域，并且具有分散孔。 分散孔的数量小于流体注入孔的数量。 因此，喷嘴可以防止原料气体的自分解并供应。

公开(公告)号：KR101917414B1

公开(公告)日：2018-11-09

申请号：KR1020150160348

申请日：2015-11-16

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 와무라유 ,  하야세후미아키 ,  가미니시마사히코 ,  다카하시고스케 ,  사사키히로코 ,  사사키유

IPC: H01L21/205 ,  H01L21/02 ,  H01L21/67 ,  H01L21/683

CPC classification number: C23C16/45591 ,  C23C16/45578

Abstract: 유체를공급하기위한노즐이며, 내부에관로가형성되고, 상기관로의길이방향을따라복수의유체토출구멍이형성된유체토출면을갖는관상부와, 상기관로내에상기길이방향을따라연장되어설치되고, 상기관로를, 상기유체토출면을포함하는제1 영역과상기유체토출면을포함하지않는제2 영역으로구획하고, 상기길이방향에있어서상기복수의유체토출구멍보다도적은수의분산구멍이형성된구획판과, 상기제2 영역에연통하는유체도입로를갖는다.

公开(公告)号：KR101658270B1

公开(公告)日：2016-09-22

申请号：KR1020130142181

申请日：2013-11-21

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 이케가와히로아키 ,  가미니시마사히코 ,  다카하시고스케 ,  사사키유 ,  오가와준

IPC: H01L21/687 ,  C23C16/40 ,  C23C16/455 ,  C23C16/52

CPC classification number: C23C16/52 ,  C23C16/40 ,  C23C16/45531 ,  C23C16/45551

Abstract: 분리가스공급부및 제1 가스공급부로부터분리가스및 제1 반응가스를공급하면서, 회전테이블을제1 각도까지회전시키고, 상기분리가스공급부및 상기제1 가스공급부로부터상기분리가스및 상기제1 반응가스를공급하면서, 제2 가스공급부로부터제2 반응가스를공급하고, 또한, 상기회전테이블을제2 각도까지회전시키고, 상기분리가스공급부및 상기제1 가스공급부로부터상기분리가스및 상기제1 반응가스를공급하면서, 상기회전테이블을제3 각도까지회전시키고, 상기분리가스공급부및 상기제1 가스공급부로부터상기분리가스및 상기제1 반응가스를공급하면서, 상기제2 가스공급부로부터제3 반응가스를공급하고, 또한, 상기회전테이블을제4 각도까지회전시키는, 성막방법.