公开(公告)号：KR101400654B1

公开(公告)日：2014-06-27

申请号：KR1020097001604

申请日：2007-07-25

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 야마다요시아끼 ,  야마구찌다다유끼 ,  야마모또유우이찌 ,  사이가야스히또 ,  사와이가즈오

IPC: H01L21/027

CPC classification number: H01L21/31144 ,  H01L21/0274 ,  H01L21/0276

Abstract: 본 발명에서는, 기판 앞면 상의 피가공막에 대해 1회째의 패터닝이 실시되고, 상기 1회째의 패터닝에 의해 형성된 패턴의 치수를 측정한다. 상기 1회째의 패터닝의 치수 측정 결과에 기초하여, 2회째의 패터닝의 조건을 설정한다. 이때, 2회째 패터닝의 조건은, 상기 1회째 패터닝의 치수와 그 목표 치수 사이의 차이가 상기 2회째 패터닝의 치수와 그 목표 치수 사이의 차이와 동등하도록 설정된다. 이후, 상기 설정된 패터닝 조건 하에 상기 2회째의 패터닝을 실시한다.
피가공막, 패터닝, 실제 치수, 목표 치수, 상호관계, 가열 처리, 노광 처리, 현상 처리, 치수 측정부, 제어부

公开(公告)号：KR1020090046801A

公开(公告)日：2009-05-11

申请号：KR1020097001604

申请日：2007-07-25

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 야마다요시아끼 ,  야마구찌다다유끼 ,  야마모또유우이찌 ,  사이가야스히또 ,  사와이가즈오

IPC: H01L21/027

CPC classification number: H01L21/31144 ,  H01L21/0274 ,  H01L21/0276 ,  G03F7/0035 ,  G03F7/2022 ,  G03F7/70466 ,  G03F7/70625

Abstract: 본 발명에서는, 기판 앞면 상의 피가공막에 대해 1회째의 패터닝이 실시되고, 상기 1회째의 패터닝에 의해 형성된 패턴의 치수를 측정한다. 상기 1회째의 패터닝의 치수 측정 결과에 기초하여, 2회째의 패터닝의 조건을 설정한다. 이때, 2회째 패터닝의 조건은, 상기 1회째 패터닝의 치수와 그 목표 치수 사이의 차이가 상기 2회째 패터닝의 치수와 그 목표 치수 사이의 차이와 동등하도록 설정된다. 이후, 상기 설정된 패터닝 조건 하에 상기 2회째의 패터닝을 실시한다.
피가공막, 패터닝, 실제 치수, 목표 치수, 상호관계, 가열 처리, 노광 처리, 현상 처리, 치수 측정부, 제어부