公开(公告)号：KR100993234B1

公开(公告)日：2010-11-10

申请号：KR1020070070112

申请日：2007-07-12

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 야마모토다로 ,  고스기히토시 ,  야마다요시아키 ,  사이가야스히토

IPC: H01L21/08

CPC classification number: G03F7/38 ,  G03F7/168 ,  G03F7/70341 ,  G03F7/70991 ,  Y10S438/908

Abstract: 고굴절율 액체 순환 시스템(9)은 액침 노광부(30)에서 이용된 고굴절율 액체를 회수하는 제1 회수부(4a)와, 제1 회수부(4a)에 의해 회수된 고굴절율 액체를 세정액으로서 이용하도록 후세정 유닛(POCLN)에 공급하는 제1 공급부(4b)와, 후세정 유닛(POCLN)에서 이용된 고굴절율 액체를 회수하는 제2 회수부(4c)와, 제2 회수부(4c)에 의해 회수된 고굴절율 액체를 액침 노광부(30)에 공급하는 제2 공급부(4d)를 구비하고, 고굴절율 액체를 액침 노광부(30)와 후세정 유닛(POCLN) 사이에서 순환시킨다.

Abstract translation: 用于高折射率液体的循环系统包括：第一收集部分，被配置为收集在浸没曝光部分中使用的高折射率液体; 第一供给部，其构造成将收集在第一收集部中的高折射率液体供给到作为清洗液的清洗部; 第二收集部，其构造成收集在所述清洗部中使用的高折射率液体; 以及第二供给部，被配置为将在第二收集部中收集的高折射率液体供给到浸没曝光部，其中高折射率液体在浸没曝光部和清洁部之间循环。

公开(公告)号：KR1020080008237A

公开(公告)日：2008-01-23

申请号：KR1020070070112

申请日：2007-07-12

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 야마모토다로 ,  고스기히토시 ,  야마다요시아키 ,  사이가야스히토

IPC: H01L21/08

CPC classification number: G03F7/38 ,  G03F7/168 ,  G03F7/70341 ,  G03F7/70991 ,  Y10S438/908

Abstract: A high index liquid circulating system in a pattern forming apparatus is provided to reduce the amount of a high refractive index liquid and a cleaning liquid by simplifying a structure thereof. A first collection unit is formed to collect a high refractive index liquid used in an immersion light exposure unit(30). A first supply unit is formed to supply the high refractive index liquid of the first collection unit to a cleaning unit as a cleaning liquid. A second collection unit is formed to collect the high refractive index liquid used in the cleaning unit. A second supply unit is formed to supply the high refractive index liquid collected in the second collection unit to the immersion light exposure unit. In the circulating process of the high refractive index liquid between the immersion light exposure unit and the cleaning unit, the high refractive index liquid is collected from the immersion light exposure unit to the first collection unit. The first supply unit supplies the high refractive index liquid to the cleaning unit. The second collection unit collects the high refractive index liquid from the cleaning unit. The second supply unit supplies the high refractive index liquid to the immersion light exposure unit.

Abstract translation: 提供了图案形成装置中的高折射率液体循环系统，以通过简化其结构来减少高折射率液体和清洁液体的量。 形成第一收集单元以收集在浸没曝光单元（30）中使用的高折射率液体。 第一供给单元被形成为将第一收集单元的高折射率液体作为清洁液体提供给清洁单元。 形成第二收集单元以收集在清洁单元中使用的高折射率液体。 第二供给单元被形成为将收集在第二收集单元中的高折射率液体供给到浸没曝光单元。 在浸渍曝光单元和清洁单元之间的高折射率液体的循环过程中，将高折射率液体从浸没曝光单元收集到第一收集单元。 第一供应单元将高折射率液体供应到清洁单元。 第二收集单元从清洁单元收集高折射率液体。 第二供应单元将高折射率液体供应到浸没曝光单元。