公开(公告)号：KR100814582B1

公开(公告)日：2008-03-17

申请号：KR1020037013401

申请日：2002-03-20

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 사이또유끼마사

IPC: H01L21/324

CPC classification number: H01L21/67109 ,  C23C16/4412 ,  C23C16/52

Abstract: 처리로(2)로부터의 배기를 행하는 배기계(15) 내의 배기 압력을 대기압과의 차압으로서 검출하는 차압계(23)와, 대기압을 절대압으로 검출하는 기압계(31)에 의해 배기 압력을 절대압으로서 검출한다. 검출된 절대 배기 압력에 의거하여, 압력 가변 밸브(25)의 개방도를 조절하고, 이에 의해 처리로(2) 내의 압력을 조정한다.
배기관, 이젝터 부재, 밸브 본체, 덮개체, 기압계

Abstract translation: 和一个差压计23，用于检测排气压力的过程中从到2进行排气的排气系统15中的大气压力之间的压力差，并且通过气压计31，用于检测绝对压力的大气压力的排气压力被检测为绝对压力 。 基于检测到的绝对排气压力，调节压力可变阀（25）的开度，从而调节处理炉（2）中的压力。

公开(公告)号：KR1020050031058A

公开(公告)日：2005-04-01

申请号：KR1020047004687

申请日：2002-09-27

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 사이또다까노리 ,  마끼야도시유끼 ,  오사나이히사에이 ,  다끼자와쯔요시 ,  시마즈도모히사 ,  하세베가즈히데 ,  야마모또히로유끼 ,  사이또유끼마사 ,  야마가겐이찌

IPC: H01L21/205

CPC classification number: H01L21/67109 ,  H01L21/67098

Abstract: A thermal treatment apparatus, characterized by comprising a heating furnace body having an opening part provided at the upper end thereof, a heating means installed on the inner wall of the heating furnace body, a reaction container formed of a single tube stored inside the heating furnace body, an exhaust pipe connection part formed at the upper part of the reaction container, and a first temperature control means installed on the peripheral surface of the exhaust pipe connection part.

Abstract translation: 一种热处理装置，其特征在于，包括：加热炉体，其具有设置在其上端的开口部;加热装置，其安装在所述加热炉体的内壁;反应容器，由容纳在所述加热炉内的单管形成的反应容器 形成在反应容器的上部的排气管连接部以及安装在排气管连接部的周面的第一温度控制装置。

公开(公告)号：KR1020040028736A

公开(公告)日：2004-04-03

申请号：KR1020037013401

申请日：2002-03-20

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 사이또유끼마사

IPC: H01L21/324

CPC classification number: H01L21/67109 ,  C23C16/4412 ,  C23C16/52

Abstract: 처리로(2)로부터의 배기를 행하는 배기계(15) 내의 배기 압력을 대기압과의 차압으로서 검출하는 차압계(23)와, 대기압을 절대압으로 검출하는 기압계(31)에 의해 배기 압력을 절대압으로서 검출한다. 검출된 절대 배기 압력에 의거하여, 압력 가변 밸브(25)의 개방도를 조절하고, 이에 의해 처리로(2) 내의 압력을 조정한다.