公开(公告)号：KR1020170113179A

公开(公告)日：2017-10-12

申请号：KR1020170036038

申请日：2017-03-22

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 사카모토나오토 ,  마키준노스케 ,  가지와라히데키 ,  모리히로토시 ,  이시마루가즈토시 ,  오가타마사히코

IPC: H01L21/67 ,  B65G49/07 ,  H01L21/683

Abstract: 기판을흡인하여반송하는기판반송장치에있어서, 기판의반송의이상의검출을정밀도높게행하는것이다. 기판을흡인하여보유지지하기위한흡인구멍을구비하는기판보유지지부와, 상기기판보유지지부를이동시키는이동기구와, 상기흡인구멍에연통하는흡인로의압력을검출하는압력검출부와, 상기압력검출부의압력검출값의미분값에기초하여반송의이상을검출하는제어부를구비하도록기판반송장치를구성한다. 이와같이미분값을취득함으로써, 흡인로의압력의변화를정밀도높게파악할수 있기때문에, 기판의반송의이상을정밀도높게검출할수 있다.

Abstract translation: 在用于吸附和传送基板的基板传送设备中，检测基板的异常传送是高度准确的。 基板保持部，其具有用于吸引保持基板的吸入孔;移动机构，其用于移动基板保持部;压力检测部，其用于检测与吸入孔连通的吸入通路的压力; 以及控制部分，用于基于压力检测值的微分值来检测运输中的异常。 通过这样取得微分值，能够高精度地把握吸引路径上的压力变化，能够高精度地检测基板的输送异常。