公开(公告)号：KR101861135B1

公开(公告)日：2018-05-25

申请号：KR1020120149585

申请日：2012-12-20

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 마키준노스케 ,  야노미츠테루 ,  나카노세이지 ,  와타나베츠요시 ,  도요다야스노리 ,  에노키다수구루 ,  이이다나루아키 ,  하라다히로키

IPC: H01L21/677 ,  B65G49/07 ,  B25J13/00

CPC classification number: G06F17/00 ,  B25J13/085 ,  H01L21/67288 ,  H01L21/68707

Abstract: 모터의회전구동력에의해피반송부품을탑재한피구동수단을이동시킴으로써피반송부품을반송할경우에, 반송시에발생한이상을검출할수 있는반송장치및 반송방법을제공하는것이다. 피반송부품을피구동수단에탑재하여반송하는반송장치로서, 모터의회전구동력에의해구동측풀리를회전시킴으로써, 상기구동측풀리에걸쳐진벨트를이동시키고, 상기벨트에연결된피구동수단을소정의방향으로이동시키는구동수단과, 피구동수단의반송상태를감시하는반송감시수단을가지고, 상기반송감시수단은, 피구동수단을이동시키는데필요한상기모터의토크값을검출하고, 검출한토크값에기초하여상기토크값의시간에대한토크미분값을산출하고, 산출한토크미분값을이용하여반송상태를구분하는것을특징으로하는반송장치에의해상기의과제가달성된다.

公开(公告)号：KR101695197B1

公开(公告)日：2017-01-11

申请号：KR1020110105075

申请日：2011-10-14

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 가지와라히데키 ,  마키준노스케 ,  에노키다수구루

IPC: H01L21/677 ,  B65G49/07

CPC classification number: H01L21/67265 ,  H01L21/67742

Abstract: 보지부재의형상에이상이있는지의여부를확실하고용이하게검출하는것이다. 보지부재인포크(3A)를전진시켰을때에상기포크(3A)가그 앞을통과하도록, 포크(3A)의진행방향에대하여측방에라인센서(4)를설치한다. 그리고, 포크(3A)를라인센서(4)에대하여진퇴시켰을때, 상기포크(3A)의상하방향의위치와포크(3A)의진퇴방향의위치를대응시킨데이터를취득한다. 이취득된데이터에기초하여, 상기진퇴방향의위치에대하여상하방향의위치를 2 차미분한값을연산하고, 이값에기초하여보지부재의형상의이상의유무를판정한다.

Abstract translation: 公开了一种用于检查基板输送装置的基板保持部件的变形的检查装置。 基板保持构件相对于输送基座在前后方向上移动，以穿过由光学检测单元形成的检测光的光路。 基于光检测单元的检测信号来检测基板保持部件的相对于前后方向的方向的位置。 基于表示表示基板保持部件的位置相对于前后方向的变化的第一参数与表示基板保持部件的位置的变化的第二参数之间的关系的相关数据 相对于横向于前后方向的方向，判断基板保持部件是否发生变形。

公开(公告)号：KR1020170091512A

公开(公告)日：2017-08-09

申请号：KR1020170010521

申请日：2017-01-23

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 마키준노스케 ,  모리히로토시

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/687 ,  H01L21/67 ,  B65G49/06 ,  B65G47/91 ,  B65G43/08

Abstract: 본발명은기판을유지하고승강함으로써배치부에대해상기기판의전달을행하는유지부를구비하는기판반송장치의이상을정밀도높게검출할수 있는기술을제공하는것을목적으로한다. 기판유지부가제1 높이위치와제2 높이위치사이를승강하는도중에배치부에대해상기기판의전달이행해지도록상기기판유지부를승강시키는승강기구와, 상기흡인구멍에접속되고, 상기기판유지부에상기기판이유지된상태와, 상기기판유지부에상기기판이유지되어있지않은상태가전환됨으로써압력이변화하는흡인로와, 상기제1 높이위치와상기제2 높이위치사이를상기기판유지부가승강하는동안에있어서의상기흡인로의압력의시계열데이터를취득하기위한압력센서와, 상기시계열데이터에기초하여, 상기기판의전달이행해진전달높이위치의정보를취득하는검출부를구비하도록장치를구성한다.

Abstract translation: 本发明是提供一种能够保持基板，并用比检测具有由起重用执行基板的载置部的输送的保持基板搬送装置的更高的精度的技术。 提升机构，用于在所述基板保持部升高到所述第一高度位置和所述第二高度位置之间时升高和降低所述基板保持部，使得所述基板被转移到所述放置部; 基板保持部在第一高度位置和第二高度位置之间在保持基板的状态和基板未保持在基板保持部中的状态之间移动， 和用于获取压力到吸入，基于所述时间序列数据的时间序列数据，从而构成一个单元具有用于在基板的输送的检测单元的压力传感器获取在期间所执行的输送高度位置的信息。

公开(公告)号：KR1020160122083A

公开(公告)日：2016-10-21

申请号：KR1020160044734

申请日：2016-04-12

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 마키준노스케

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/68 ,  H01L21/677 ,  H01L21/027 ,  G03F7/20

CPC classification number: H01L21/67259 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027 ,  H01L21/67715 ,  H01L21/682

Abstract: 본발명의과제는, 스루풋의저하및 제조비용의상승을방지할수 있도록기판반송기구의문제를검출할수 있는기술을제공하는것이다. 제1 기판반송기구가제1 적재부로부터기판을수취하였을때의제1 기판의위치어긋남량이역치를초과하고있는지여부를판단하는스텝과, 제1 기판의위치어긋남량의시계열데이터와제2 기판반송기구가제1 기판반송기구에의해기판의위치가맞도록전달되는제2 적재부로부터기판을수취하였을때의제2 기판의위치어긋남량의시계열데이터를취득하는스텝과, 제1 기판의위치어긋남량이역치를초과하고있다고판단하였을때에, 상기제1 기판의위치어긋남량의시계열데이터와상기제2 기판의위치어긋남량의시계열데이터사이에상관관계가있는지여부를판단하고, 상관관계의유무의판단결과를통지하는스텝이실행되도록구성된제어부를기판처리장치에설치한다.

公开(公告)号：KR1020170113179A

公开(公告)日：2017-10-12

申请号：KR1020170036038

申请日：2017-03-22

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 사카모토나오토 ,  마키준노스케 ,  가지와라히데키 ,  모리히로토시 ,  이시마루가즈토시 ,  오가타마사히코

IPC: H01L21/67 ,  B65G49/07 ,  H01L21/683

Abstract: 기판을흡인하여반송하는기판반송장치에있어서, 기판의반송의이상의검출을정밀도높게행하는것이다. 기판을흡인하여보유지지하기위한흡인구멍을구비하는기판보유지지부와, 상기기판보유지지부를이동시키는이동기구와, 상기흡인구멍에연통하는흡인로의압력을검출하는압력검출부와, 상기압력검출부의압력검출값의미분값에기초하여반송의이상을검출하는제어부를구비하도록기판반송장치를구성한다. 이와같이미분값을취득함으로써, 흡인로의압력의변화를정밀도높게파악할수 있기때문에, 기판의반송의이상을정밀도높게검출할수 있다.

Abstract translation: 在用于吸附和传送基板的基板传送设备中，检测基板的异常传送是高度准确的。 基板保持部，其具有用于吸引保持基板的吸入孔;移动机构，其用于移动基板保持部;压力检测部，其用于检测与吸入孔连通的吸入通路的压力; 以及控制部分，用于基于压力检测值的微分值来检测运输中的异常。 通过这样取得微分值，能够高精度地把握吸引路径上的压力变化，能够高精度地检测基板的输送异常。

公开(公告)号：KR1020130074751A

公开(公告)日：2013-07-04

申请号：KR1020120149585

申请日：2012-12-20

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 마키준노스케 ,  야노미츠테루 ,  나카노세이지 ,  와타나베츠요시 ,  도요다야스노리 ,  에노키다수구루 ,  이이다나루아키 ,  하라다히로키

IPC: H01L21/677 ,  B65G49/07 ,  B25J13/00

CPC classification number: G06F17/00 ,  B25J13/085 ,  H01L21/67288 ,  H01L21/68707

Abstract: PURPOSE: A transfer device and a transfer method are provided to detect errors in a transfer process by moving a driven unit mounting a transferred component by the rotary power of a motor. CONSTITUTION: A driving unit (30) moves a driven unit (20) connected to a belt in a preset direction. The driving unit includes a driven side pulley which rotates by corresponding to the movement of the belt. A transfer monitoring unit (40) detects the transfer state of the driven unit. An I/F unit (50) outputs the transfer state detected by the transfer monitoring unit. A control unit (10) controls the driving unit based on a transfer condition inputted through the I/F unit. [Reference numerals] (10) Control unit; (100,110) Transfer device; (20) Driven unit; (21) Transfer arm; (30) Driving unit; (31x) X axis driving unit; (31y) Y axis driving unit; (31z) Z axis driving unit; (31θ) Rotation driving unit of a θ direction; (40) Transfer monitoring unit; (41) Transfer state detection unit; (42) Transfer state analysis unit; (50) I/F unit; (51) Input unit; (52) Output unit; (53) Display unit

Abstract translation: 目的：提供一种传送装置和传送方法，用于通过利用电动机的旋转动力移动安装传送部件的从动部件来检测传送过程中的错误。 构成：驱动单元（30）沿着预设方向移动连接到皮带的从动单元（20）。 驱动单元包括由带子的运动而旋转的从动侧皮带轮。 传送监视单元（40）检测从动单元的传送状态。 I / F单元（50）输出由传送监视单元检测的传送状态。 控制单元（10）基于通过I / F单元输入的传送条件来控制驱动单元。 （附图标记）（10）控制单元; （100,110）传输设备; （20）驱动单元; （21）转臂 （30）驾驶单位; （31x）X轴驱动单元; （31y）Y轴驱动单元; （31z）Z轴驱动单元; （31＆thgr）旋转驱动单元 方向; （40）转运监控单位; （41）传送状态检测单元; （42）转移状态分析单位; （50）I / F单位; （51）输入单元; （52）输出单元; （53）显示单元

公开(公告)号：KR1020120042658A

公开(公告)日：2012-05-03

申请号：KR1020110105075

申请日：2011-10-14

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 가지와라히데키 ,  마키준노스케 ,  에노키다수구루

IPC: H01L21/677 ,  B65G49/07

CPC classification number: H01L21/67265 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/681 ,  H01L21/68707 ,  Y10S414/141

Abstract: PURPOSE: A shape determination apparatus of a retention member, a method thereof, a substrate process apparatus, and a storage medium are provided to install a line sensor on a carrier base, thereby easily performing a fork shape examination process without transferring the carrier base to an examination position. CONSTITUTION: A optical detection part detects deformation of forks(3A,3B). A line sensor(4) is installed on a carrier base(31). The line sensor is comprised of a light emission part(41), and a light receiving part(42). A motor(M) of a driving device is connected to an encoder(E). A pulse value of the encoder is outputted to a controller(5). The controller comprises a data process part which is comprised of a CPU(Central Processing Unit), a memory, and a program.

Abstract translation: 目的：提供一种保持构件的形状确定装置，其方法，基板处理装置和存储介质，以将线传感器安装在载体基座上，从而容易地执行叉形检查过程而不将载体基底转移到 考试职位。 构成：光学检测部检测叉（3A，3B）的变形。 线传感器（4）安装在载体基座（31）上。 线传感器由发光部（41）和受光部（42）构成。 驱动装置的马达（M）连接到编码器（E）。 编码器的脉冲值被输出到控制器（5）。 控制器包括由CPU（中央处理单元），存储器和程序组成的数据处理部分。