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公开(公告)号：KR1020170113179A
公开(公告)日：2017-10-12
申请号：KR1020170036038
申请日：2017-03-22
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/67 , B65G49/07 , H01L21/683
Abstract: 기판을흡인하여반송하는기판반송장치에있어서, 기판의반송의이상의검출을정밀도높게행하는것이다. 기판을흡인하여보유지지하기위한흡인구멍을구비하는기판보유지지부와, 상기기판보유지지부를이동시키는이동기구와, 상기흡인구멍에연통하는흡인로의압력을검출하는압력검출부와, 상기압력검출부의압력검출값의미분값에기초하여반송의이상을검출하는제어부를구비하도록기판반송장치를구성한다. 이와같이미분값을취득함으로써, 흡인로의압력의변화를정밀도높게파악할수 있기때문에, 기판의반송의이상을정밀도높게검출할수 있다.
Abstract translation: 在用于吸附和传送基板的基板传送设备中，检测基板的异常传送是高度准确的。 基板保持部，其具有用于吸引保持基板的吸入孔;移动机构，其用于移动基板保持部;压力检测部，其用于检测与吸入孔连通的吸入通路的压力; 以及控制部分，用于基于压力检测值的微分值来检测运输中的异常。 通过这样取得微分值，能够高精度地把握吸引路径上的压力变化，能够高精度地检测基板的输送异常。
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公开(公告)号：KR101805951B1
公开(公告)日：2017-12-06
申请号：KR1020130012459
申请日：2013-02-04
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/677 , H01L21/02
CPC classification number: H01L21/677 , H01L21/67178 , H01L21/67184 , H01L21/67259 , H01L21/67288 , H01L21/673 , H01L21/67742
Abstract: 모듈또는각 모듈에기판의반송을행하는기판반송기구중 어느하나에문제점이발생한경우에, 기판에불량의처리가계속해서행해지는것을막을수 있는기술을제공하는것. 기판반송기구의기판유지부가기판을수취하는복수의수취처모듈과, 상기기판유지부에유지된기판의유지위치와, 그기판유지부에있어서미리설정된기판의기준위치의어긋남량을검출하기위한센서부와, 각수취처모듈로부터의기판의수취시에검출된상기어긋남량을상기수취처모듈마다시계열로기억하는기억부와, 상기기억부에기억되는각 수취처모듈의상기어긋남량의시계열데이터에기초하여각 수취처모듈중 어느하나또는상기기판반송기구에문제점이있다는것을추정하는추정부를구비하도록장치를구성한다. 그에의해조기에대처할수 있다.
Abstract translation: 本发明提供一种技术，当在向各模块输送基板的模块或基板输送机构中的任意一个发生故障时，能够防止基板中的缺陷的连续处理。 根据由所述基板保持部的多个接收用于在基板搬送机构接收的基板处理模块和基片保持部保持的基板的基板保持部，以检测所述基板的所述基准位置的保持位置和位移预先设定 传感器单元，并且每个所述接收处理模块的位移的时间序列数据robuteoui每个接收处理模块存储在接收在存储单元中的基板与所述存储单元，其存储检测到的按时间顺序对每个所述接收处理模块的位移量 以及估计部分，用于基于接收到的数据来估计接收器模块中的任何一个或基板传输机构中存在问题。 通过这样做，你可以尽早应对。
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公开(公告)号：KR1020170091512A
公开(公告)日：2017-08-09
申请号：KR1020170010521
申请日：2017-01-23
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/677 , H01L21/687 , H01L21/67 , B65G49/06 , B65G47/91 , B65G43/08
Abstract: 본발명은기판을유지하고승강함으로써배치부에대해상기기판의전달을행하는유지부를구비하는기판반송장치의이상을정밀도높게검출할수 있는기술을제공하는것을목적으로한다. 기판유지부가제1 높이위치와제2 높이위치사이를승강하는도중에배치부에대해상기기판의전달이행해지도록상기기판유지부를승강시키는승강기구와, 상기흡인구멍에접속되고, 상기기판유지부에상기기판이유지된상태와, 상기기판유지부에상기기판이유지되어있지않은상태가전환됨으로써압력이변화하는흡인로와, 상기제1 높이위치와상기제2 높이위치사이를상기기판유지부가승강하는동안에있어서의상기흡인로의압력의시계열데이터를취득하기위한압력센서와, 상기시계열데이터에기초하여, 상기기판의전달이행해진전달높이위치의정보를취득하는검출부를구비하도록장치를구성한다.
Abstract translation: 本发明是提供一种能够保持基板，并用比检测具有由起重用执行基板的载置部的输送的保持基板搬送装置的更高的精度的技术。 提升机构，用于在所述基板保持部升高到所述第一高度位置和所述第二高度位置之间时升高和降低所述基板保持部，使得所述基板被转移到所述放置部; 基板保持部在第一高度位置和第二高度位置之间在保持基板的状态和基板未保持在基板保持部中的状态之间移动， 和用于获取压力到吸入，基于所述时间序列数据的时间序列数据，从而构成一个单元具有用于在基板的输送的检测单元的压力传感器获取在期间所执行的输送高度位置的信息。
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公开(公告)号：KR1020130091269A
公开(公告)日：2013-08-16
申请号：KR1020130012459
申请日：2013-02-04
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/677 , H01L21/02
CPC classification number: H01L21/677 , H01L21/67178 , H01L21/67184 , H01L21/67259 , H01L21/67288 , H01L21/673 , H01L21/67742
Abstract: PURPOSE: A substrate processing apparatus, a substrate processing method, and a storage medium are provided to early detect the defects of a module by including a memory unit and a display unit. CONSTITUTION: A device for detecting the peripheral position of a substrate forms a sensor unit. The device for detecting the peripheral position of the substrate includes four detecting units (4A-4D). An optical source (41A-41D) includes a light emitting diode. The optical source is formed on a base (31). A plurality of light receiving devices are linearly arranged on a light receiving unit.
Abstract translation: 目的：提供基板处理装置，基板处理方法和存储介质，以通过包括存储单元和显示单元来早期检测模块的缺陷。 构成：用于检测基板的周边位置的装置形成传感器单元。 用于检测基板的周边位置的装置包括四个检测单元（4A-4D）。 光源（41A-41D）包括发光二极管。 光源形成在基座（31）上。 多个光接收装置线性地布置在光接收单元上。
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